1. 摘要
.-gm"lB 2n\i0?RD 共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作原理。
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ln_EL?V ./z"P]$ 2. 建模任务
6'X.[0M Sxx.>gP"61 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
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dh7)N}2 nY.Umj 3. 聚焦区域的探测场
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|Cxip&e> }tg:DG 4. 来自测试对象的直接反射
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N*c?Er@8U {mq$W 5. 待测目标成的像
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&bRxy`ZH }<x!95 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移
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8aIq#v NU6Kh7 7. 走进VirtualLab Fusion
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x%Y a*T 1Tk\n 8. VirtualLab Fusion中的工作流程
)}g4Rvr %W|Zj QI^ UEdl"FwM4 使用界面构造光栅结构
HZ`G)1&) - 使用界面配置光栅结构[用例]
@R Yb-d 复杂
系统中的光栅建模
cbHn\m)J, -
光学系统中光栅的建模–实例讨论[用例]
?tM]. \ 正确设置通道以进行多通道
仿真 SwmPP-n - 曲面和光栅区域的通道配置[用例]
X;[zfEB •使用
参数运行检查影响/更改
#p:jKAc3 - 参数运行文档的使用[用例]
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h[v3G<C ~r I3y4O^? 9. VirtualLab Fusion 技术
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