1. 摘要
Sm;@MI<@/ fGoJP[ae 共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作原理。
0[E\h L}rYh`bUP[
(C0Wty 8J:=@X^} 2. 建模任务
r+;k(HMY}[ OAf}\ 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
aNP\Q23D ]A%~bQ7
k~)@D| ? nf1O8FwRb 3. 聚焦区域的探测场
Wg,7k9I 2S-f5&o
oxL)Jx\c9A wHh6y? g\ 4. 来自测试对象的直接反射
t1wzSG nDyA][
HvmE'O8
g'cVsO)S aJ}hlM> _|T{2LvwT 5. 待测目标成的像
|K9*><P?)2 2_}oOt?qiM
b[<L
l%K
@WNqD*)1 n|Ts:>`V 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移
r+k&W bo1J'pU
cbl>:ev1h bM.$D-?dF* 7. 走进VirtualLab Fusion
<KfR)7I$0a e+)y6Q=
+s^nT{B@\ ;e.8EL 8. VirtualLab Fusion中的工作流程
&XCP@@T [5ncBY*A7 O p1TsRm5L 使用界面构造光栅结构
%a
FZbLK - 使用界面配置光栅结构[用例]
#+i:s92], 复杂
系统中的光栅建模
6lT< l zT -
光学系统中光栅的建模–实例讨论[用例]
Jg)( F|>o 正确设置通道以进行多通道
仿真 $0vWC#.A] - 曲面和光栅区域的通道配置[用例]
g/}d> 6 •使用
参数运行检查影响/更改
hQ(^;QcSu - 参数运行文档的使用[用例]
mG$N%`aG .)=*Yr M
iJj!-a:z. ?8/r= 9. VirtualLab Fusion 技术
]#W7-Q;] Pm%5c\ef
;u[:J