1. 摘要
2nJYS2mT7 8cB=}XgYS 共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作原理。
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3|jn,?K)N xS-w\vbLV 2. 建模任务
]LMiMj Nz}|%.GP" 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
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>=bt Cy]" 3. 聚焦区域的探测场
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B5D3_iX] EkDws`@ 4. 来自测试对象的直接反射
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* 5. 待测目标成的像
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_xa}B,H | h 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移
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'9f6ZAnYpQ A{G5Plrh 7. 走进VirtualLab Fusion
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;O Q#@|D 4F}g( 8. VirtualLab Fusion中的工作流程
M?QQr~a CX1L(Y[ F">Nrj-bs 使用界面构造光栅结构
qn5yD!1 - 使用界面配置光栅结构[用例]
M-{b 复杂
系统中的光栅建模
Z83q- -
光学系统中光栅的建模–实例讨论[用例]
1'(_>S5CG 正确设置通道以进行多通道
仿真 `i"$*4#< - 曲面和光栅区域的通道配置[用例]
38Bnf •使用
参数运行检查影响/更改
<\B],M1=s= - 参数运行文档的使用[用例]
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Gw{Gt]liq Bu*W1w\ 9. VirtualLab Fusion 技术
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