1. 摘要
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C 共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作原理。
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$5GvF1 GC66n1- X 2. 建模任务
}r]WB)_w s#`%c({U| 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
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daaUC VXQS~#dQj 3. 聚焦区域的探测场
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]}W 4. 来自测试对象的直接反射
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2]eh[fRQ Z%Y=Lx >ly= O 5. 待测目标成的像
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H|0B*i@81 nuw90=qj!] 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移
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_8\Uukm &|%z!x6 f 7. 走进VirtualLab Fusion
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h<xo*r b6bmvHD 8. VirtualLab Fusion中的工作流程
ll1?I8}5| hOfd<k\A NTXT0: 使用界面构造光栅结构
HGWwGd - 使用界面配置光栅结构[用例]
zN].W\("\ 复杂
系统中的光栅建模
tFwQ / -
光学系统中光栅的建模–实例讨论[用例]
ex'd^y 正确设置通道以进行多通道
仿真 @MtF^y - 曲面和光栅区域的通道配置[用例]
L]9!-E •使用
参数运行检查影响/更改
5Ag]1k{ - 参数运行文档的使用[用例]
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dT/Cn v= q*DR~Ov 9. VirtualLab Fusion 技术
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