1. 摘要
w3FEX$`_ Bej k^V~ 共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作原理。
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4k)0OQeW6 =}%Q}aPp 2. 建模任务
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l;xp P\%aJ'f~ 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
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7X8n|NZRH7 "4L_BJZ 3. 聚焦区域的探测场
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.>NPgdI km29]V=} 4. 来自测试对象的直接反射
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`V{'GF&[ gp-rTdN ]Y3s5#n 5. 待测目标成的像
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A\v]ZN4
hw1J <Pl* Ebp=du 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移
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~:N 1[ mW1T4rR' 7. 走进VirtualLab Fusion
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0}q*s! WQv`%%G2> 8. VirtualLab Fusion中的工作流程
O+=C8 R) J/z ivvm.7{ 使用界面构造光栅结构
_+d*ljP)l3 - 使用界面配置光栅结构[用例]
[s F/sa3 复杂
系统中的光栅建模
Z`>m -
光学系统中光栅的建模–实例讨论[用例]
c3J12+~; 正确设置通道以进行多通道
仿真 ]JlM/ - 曲面和光栅区域的通道配置[用例]
zd3^k< •使用
参数运行检查影响/更改
|H;+9( - 参数运行文档的使用[用例]
Q1P=A:*]9 ?pV!`vp^{
uE'Kk8 R T/)<RT9 9. VirtualLab Fusion 技术
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