1. 摘要
Appz1q $6x:aG*F 共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作原理。
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`]I5WTt*X NCpn^m)Q} 2. 建模任务
9h0,L/;\ [<1+Q =; 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
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tJF~Xv2L! Z.OrHg1 3. 聚焦区域的探测场
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vrO$8* sy Bst>9V&R 4. 来自测试对象的直接反射
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]Sx=y< `}Zbfe~ r@ *A 5. 待测目标成的像
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:]d 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移
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9nAK6$/ SJ_cwYwI$ 7. 走进VirtualLab Fusion
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v7u}nx Bo(l !G 8. VirtualLab Fusion中的工作流程
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]p.f*] RKb3=}
*C 使用界面构造光栅结构
*(.^$Iq4 - 使用界面配置光栅结构[用例]
!fjU?_[S 复杂
系统中的光栅建模
BcO2* 3 -
光学系统中光栅的建模–实例讨论[用例]
YHtI% 正确设置通道以进行多通道
仿真 QjbPBk Q - 曲面和光栅区域的通道配置[用例]
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t •使用
参数运行检查影响/更改
fx"+ZR - 参数运行文档的使用[用例]
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AH 9. VirtualLab Fusion 技术
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