1. 摘要
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=A#:d 共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作原理。
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r[^O 7 D><^ 7nr% 2. 建模任务
82V;J 8T? ILiOEwHS7F 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
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$VP\Ac,! EMxMJ= 3. 聚焦区域的探测场
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EY.m,@{ =s*4y$%I 4. 来自测试对象的直接反射
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{lUaN0O: [ \%a7ji# ZN&9qw* 5. 待测目标成的像
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hSN38wy 3hEbM'L 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移
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3qDbfO[ )c 79&S 7. 走进VirtualLab Fusion
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.$Yp~ I47sq z7 8. VirtualLab Fusion中的工作流程
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; S@ 使用界面构造光栅结构
OHnsfXO_V - 使用界面配置光栅结构[用例]
,g3n/'rP% 复杂
系统中的光栅建模
S!^I<#d K -
光学系统中光栅的建模–实例讨论[用例]
W[e2J&G 正确设置通道以进行多通道
仿真 a]6dhQ` - 曲面和光栅区域的通道配置[用例]
?%D nIl> •使用
参数运行检查影响/更改
rd24R-6 - 参数运行文档的使用[用例]
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[By|3bI 2^Z"4t4 9. VirtualLab Fusion 技术
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