1. 摘要
X[VQ 1 R (6Jvub"I 共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作原理。
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BKN]DxJ6 pPh$Jvo] 2. 建模任务
&4]%&mX)- 7m1*Q@D 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
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Z#9{1sHEP 7bTs+C_;7 3. 聚焦区域的探测场
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8R)*8bb p_[k^@$ 4. 来自测试对象的直接反射
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"` X^"95Ic 5. 待测目标成的像
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F+9|D >&p_G0- 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移
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w!%Bc] b>G!K)MS3 7. 走进VirtualLab Fusion
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m/CA .{~ygHQ`f 8. VirtualLab Fusion中的工作流程
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vY :*Sl\:_X) 使用界面构造光栅结构
!Il<'+ ^ - 使用界面配置光栅结构[用例]
)4 "G1R`3 复杂
系统中的光栅建模
Gh|q[s*k -
光学系统中光栅的建模–实例讨论[用例]
~G,n> 正确设置通道以进行多通道
仿真 lZ'NLbK - 曲面和光栅区域的通道配置[用例]
I9TOBn|6 •使用
参数运行检查影响/更改
pvkru-i] - 参数运行文档的使用[用例]
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JoIffI?{(D iwrS>Sm 9. VirtualLab Fusion 技术
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