1. 摘要
nfDPM\FFD o-O/M S 共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作原理。
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'*3+'> ']vX 2. 建模任务
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]d4"L;3 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
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t 3. 聚焦区域的探测场
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4. 来自测试对象的直接反射
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objdQU` 5. 待测目标成的像
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lHGv:TN s{q2C}=$?D 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移
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I'@ }Yjm| 5%>U.X?i 7. 走进VirtualLab Fusion
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2hpx%H &1[5b8H;+ 8. VirtualLab Fusion中的工作流程
7CIje=u.q J`mp8?;% 8D n]`}ok 使用界面构造光栅结构
8@qahEgQ - 使用界面配置光栅结构[用例]
1_p'0lFe 复杂
系统中的光栅建模
+.R-a+y3 -
光学系统中光栅的建模–实例讨论[用例]
Ka{Iue Ss 正确设置通道以进行多通道
仿真 Yj"UD:p - 曲面和光栅区域的通道配置[用例]
{ &qBr&kg •使用
参数运行检查影响/更改
_N]yI0k( - 参数运行文档的使用[用例]
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ld?M,Qd OS9v.pz 9. VirtualLab Fusion 技术
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