1. 摘要
+s`cXTlFrk >nvK{6xR: 共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作原理。
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.V_5q:tu QpoC-4F 2. 建模任务
K g.O2F77 7'{Vh{. 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
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7,alZ"%W :1gpbfW 3. 聚焦区域的探测场
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-G_3B(]` ]EQ*! 4. 来自测试对象的直接反射
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U^)`_\/;?
% hH> % `@:TS)6X0 2!b##`UjA7 5. 待测目标成的像
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^1_[UG g\IwV+iDf 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移
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&=:3/;c m] -cRf)9 7. 走进VirtualLab Fusion
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GWWaH+F[h <nN# K{AH 8. VirtualLab Fusion中的工作流程
tAY{+N]f _bgv +/ Ra
H1aS( 使用界面构造光栅结构
[U"/A1p - 使用界面配置光栅结构[用例]
0plX"NU 复杂
系统中的光栅建模
[9MbNJt 8~ -
光学系统中光栅的建模–实例讨论[用例]
7~k=t!gTY 正确设置通道以进行多通道
仿真 &" J; - 曲面和光栅区域的通道配置[用例]
@^ m0>H •使用
参数运行检查影响/更改
Mk+G(4p - 参数运行文档的使用[用例]
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QH,(iX6RY @tD (<*f+ 9. VirtualLab Fusion 技术
k{UeY[,jb x#R6Ez7
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