1. 摘要
gZEi]/8_ IQ!\w- 共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作原理。
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~Aq5XI%i k6kM'e3V 2. 建模任务
.@"q$\ (n1Bh~R^ 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
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I.pv+] q\rC5gk> 3. 聚焦区域的探测场
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kC>P* v?c 0[+? 4. 来自测试对象的直接反射
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yIb,,!y9{ `]v[5E +x]9+D& 5. 待测目标成的像
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zKFp5H1!%+ 9e U[*S 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移
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lZ&]|*> dJ:MjQG`W 7. 走进VirtualLab Fusion
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z^nvMTC Gq#~vr 8. VirtualLab Fusion中的工作流程
39 Y(!q 8wH.et25k Zs2-u^3& 使用界面构造光栅结构
i{^Z1;Yl - 使用界面配置光栅结构[用例]
<P%}|@ 复杂
系统中的光栅建模
>%Ee#m -
光学系统中光栅的建模–实例讨论[用例]
QFPfIb/ 正确设置通道以进行多通道
仿真 B`$L' - 曲面和光栅区域的通道配置[用例]
U"f??y%) •使用
参数运行检查影响/更改
3E^M?N2oc - 参数运行文档的使用[用例]
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HS 9. VirtualLab Fusion 技术
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