1. 摘要
uyxYCc oD V6[e 共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作原理。
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FX[-'O 2. 建模任务
UMR ?q0J -p&u= 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
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\jtA8o%n zo(#tQ-'m 3. 聚焦区域的探测场
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h9)fXW ~2"hh$ 4. 来自测试对象的直接反射
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{vbYj 5. 待测目标成的像
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I_<XL< +gX,r$bX 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移
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=EP`,zqn$9 </{Zb. 7. 走进VirtualLab Fusion
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^m w]u"5\ dT|f<E/P 8. VirtualLab Fusion中的工作流程
/h0bBP ZwS:Te9- Tu#;Y."T 使用界面构造光栅结构
iYStl - 使用界面配置光栅结构[用例]
-`~qmRpqY 复杂
系统中的光栅建模
B`B=bn+4 -
光学系统中光栅的建模–实例讨论[用例]
z%YNZ^d 正确设置通道以进行多通道
仿真 [Cl0Kw.LD - 曲面和光栅区域的通道配置[用例]
etr-\Cp •使用
参数运行检查影响/更改
ep"[;$Eb - 参数运行文档的使用[用例]
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#{8IFA mVZh_R=a 9. VirtualLab Fusion 技术
ST*h{:u&A N-M.O:p
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