1. 摘要
Qx77%L4 hu-6V="^9 共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作原理。
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VC `qj24ehc 2. 建模任务
fMRMQR=6B f_tC:T4a 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
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=' #yG(h 7.C~ OrGR 3. 聚焦区域的探测场
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-<aN$O -{S:sK.o 4. 来自测试对象的直接反射
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xtRHb''FX *`bAu * ^es/xt 5. 待测目标成的像
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]jwF[D PkxhR;4 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移
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[V.#w|n y4N=v{EbL 7. 走进VirtualLab Fusion
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H6]z9 8 c*`=o(S 8. VirtualLab Fusion中的工作流程
53X5&Bwh SpiI9)gp 1A-ess\ 使用界面构造光栅结构
^%k[YJtB=i - 使用界面配置光栅结构[用例]
ld/\`s[i 复杂
系统中的光栅建模
rP7f~"L -
光学系统中光栅的建模–实例讨论[用例]
eU.HS78 正确设置通道以进行多通道
仿真 T_b$8GYfCY - 曲面和光栅区域的通道配置[用例]
AH#klYK •使用
参数运行检查影响/更改
u}I\!-EX!v - 参数运行文档的使用[用例]
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dUL3UY3 k874t D 9. VirtualLab Fusion 技术
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