1. 摘要
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e 共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作原理。
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nm)H\i 18ApHp 2. 建模任务
5\MCk "R! ToWiXH)4 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
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?6;9r[ p w\o?p.drp= 3. 聚焦区域的探测场
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uURm6mVt9: .gL%0 4. 来自测试对象的直接反射
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(gY3?&Ok* {z~n`ow }^!8I7J. 5. 待测目标成的像
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z'=8U@P'# 6V{Sf9V| 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移
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[Dr' ?VUU[h8"v5 7. 走进VirtualLab Fusion
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) 8. VirtualLab Fusion中的工作流程
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_ ogeD 使用界面构造光栅结构
O;zq(/,-l - 使用界面配置光栅结构[用例]
j) G<PW 复杂
系统中的光栅建模
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光学系统中光栅的建模–实例讨论[用例]
4= 7#=F1 正确设置通道以进行多通道
仿真 Z^tTR]u\$ - 曲面和光栅区域的通道配置[用例]
_}bs0 kIz •使用
参数运行检查影响/更改
x*H,eY3 - 参数运行文档的使用[用例]
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/!7 #)}K,FDd 9. VirtualLab Fusion 技术
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