1. 摘要
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共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作原理。
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+v/_R{ M *:wu{3g}M` 2. 建模任务
w[t!?(![> p "u5wJ_ 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
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R["_Mff npZ=x-ce 3. 聚焦区域的探测场
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ex1b jM7 1 %K^(J; 4. 来自测试对象的直接反射
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hT]\*}, %&0_0BU 5. 待测目标成的像
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0D9Mp 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移
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1 :<f[l Ou>L|#=! 7. 走进VirtualLab Fusion
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'#L.w6<B *DcJ). 8. VirtualLab Fusion中的工作流程
eTw sh] kWZ?86! 0rP`BK| 使用界面构造光栅结构
Sxa+"0d6 - 使用界面配置光栅结构[用例]
E]/` JI'% 复杂
系统中的光栅建模
k` cz$> -
光学系统中光栅的建模–实例讨论[用例]
Hx5t![g2K! 正确设置通道以进行多通道
仿真 ;H}XW=vO - 曲面和光栅区域的通道配置[用例]
=^#^Mq) •使用
参数运行检查影响/更改
KeFEUHU - 参数运行文档的使用[用例]
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9Kf# jZ 8K$q6V%# 9. VirtualLab Fusion 技术
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