1. 摘要
v>Mnl L5qwWvbT 共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作原理。
Oi:<~E[kz. C&6IU8l\
"m ^'
&L ~_s{0g]B 2. 建模任务
rtL}W__ TOoQZTI 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
h;-yU.(w lhtZaU~V
WdnIp! ZeEWp3vW 3. 聚焦区域的探测场
"h|'}7p .VkbYK
H6&J;yT} i| ZceX/ 4. 来自测试对象的直接反射
r" K':O6y ;>AL`M+
n_B"-n
;s~X -CRQp1] VwEb7v,^0\ 5. 待测目标成的像
r)i>06Hd Y&
F=t/U2
r YF #^
F* .g;So bO&7-Z~:= 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移
eYC ^4g%l( zLF?P3^
MSV2ip3 QMsHC%l3b 7. 走进VirtualLab Fusion
l27\diKPJ 1Jj Y!
,:%"-`a% rYp3(k3 8. VirtualLab Fusion中的工作流程
tw(JZDc e{KByFl 4&HXkRs: 使用界面构造光栅结构
W,K%c= - 使用界面配置光栅结构[用例]
?]rPRV 复杂
系统中的光栅建模
_$p$") -
光学系统中光栅的建模–实例讨论[用例]
NBF MN% 正确设置通道以进行多通道
仿真 $-&BB(-{E& - 曲面和光栅区域的通道配置[用例]
^::EikpF% •使用
参数运行检查影响/更改
Vf`7V$sr - 参数运行文档的使用[用例]
sO5?aB& MgC:b-&5_
*#TYqCc+g w ~ dk#= 9. VirtualLab Fusion 技术
1&/FG(*/
|TE}`?y[g
n 3lE,b