1. 摘要
INN}xZ s(=wG| 共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作原理。
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SboHo({5VA 1C<cwd;9 2. 建模任务
c<_%KL&R |{ N{VK 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
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Pf[E..HF*d sUG!dwqqd 3. 聚焦区域的探测场
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[[$CtqLg 9hA`I tS 4. 来自测试对象的直接反射
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Mh)?A/e `WayR^ 9 bXs=<`> 5. 待测目标成的像
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6. 功率测量VS待测目标的横向偏移
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T`x|=} E#J})cPzw 7. 走进VirtualLab Fusion
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@ZJL]TO `==l2AX 8. VirtualLab Fusion中的工作流程
cwmS4^zt8 q}LDFsU .ck?JXg 使用界面构造光栅结构
gQeQy - 使用界面配置光栅结构[用例]
E.K^v/dNdq 复杂
系统中的光栅建模
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光学系统中光栅的建模–实例讨论[用例]
zy,SL
|6: 正确设置通道以进行多通道
仿真 a}UmD
HS- - 曲面和光栅区域的通道配置[用例]
\|,| ) •使用
参数运行检查影响/更改
;C@mT;hR - 参数运行文档的使用[用例]
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p\&O;48= hE&6;3"> 9. VirtualLab Fusion 技术
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