1. 摘要
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iA P 3dShznlf_* 共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作原理。
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Zo9<96I& !liV Y] 2. 建模任务
PxHFH pL vh9* >[i 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
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+Ta S)rZE*~2 3. 聚焦区域的探测场
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+8=$-E= p|4qkJK8 4. 来自测试对象的直接反射
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?HZp@& I-7LT?r W+XWS,( 5. 待测目标成的像
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8 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移
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FB=oGgwwq i jI/z5 7. 走进VirtualLab Fusion
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\?:L>-&h8 w7nt $L5 8. VirtualLab Fusion中的工作流程
Zw]`z*,yRA QbU5FPiN dWY%bb 使用界面构造光栅结构
Iw1Y?Qia - 使用界面配置光栅结构[用例]
@WJ;T= L 复杂
系统中的光栅建模
I8F+Z -
光学系统中光栅的建模–实例讨论[用例]
*2X6;~ 正确设置通道以进行多通道
仿真 8$Q`wRt(% - 曲面和光栅区域的通道配置[用例]
?M2(80 •使用
参数运行检查影响/更改
WSThhI - 参数运行文档的使用[用例]
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,RP-)j"Wff R^Rc!G} 9. VirtualLab Fusion 技术
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