1. 摘要
Zd/~ *ZA T.N7` 共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作原理。
\@"
.
GM% eZkz 1j~
$5(%M8qmQ 4J|t} 2. 建模任务
BCB/cBE #/=yz<B 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
s(LqhF[N2] fB}5,22
yj9gN}+ uKzz/Y{ 3. 聚焦区域的探测场
~7lvY+k)< fT~<C
{
l q9h Dn[p yC$7XSr= 4. 来自测试对象的直接反射
Q*{
2 lhODNWi
ADUI@#vk
Nn\\}R xF31%b`z: Ci:QIsu* 5. 待测目标成的像
na; ^/_U@ j2n@8sCSO
'F~SNIay
z:7F5!Z }#^F'%zf 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移
/aEQ3x j"=jK^
@C)h;TR "7/YhLq7 7. 走进VirtualLab Fusion
h"S/D[ e@VRdhb
#=3]bg g5\B- 3{ 8. VirtualLab Fusion中的工作流程
Ro$XbU) Y>~zt - 4(ZV\}j1 使用界面构造光栅结构
=MLL-a1 - 使用界面配置光栅结构[用例]
"VCr^' 复杂
系统中的光栅建模
Z:Am\7 I -
光学系统中光栅的建模–实例讨论[用例]
<3CrCEPC 正确设置通道以进行多通道
仿真 je%12DM - 曲面和光栅区域的通道配置[用例]
g"f^YEQ_ •使用
参数运行检查影响/更改
=Ji:nEl]z - 参数运行文档的使用[用例]
?J-KB3Uv3 @SXgaWr
k]sT'}[n Z2}b1#U? 9. VirtualLab Fusion 技术
|&Wo-;Ud HPB1d!^
D._r@~o