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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-14
    1. 摘要 f gK2.;>  
    d6t)gG*5  
    在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。       uHUvntr  
    VGTeuu5i  
    2. 建模任务 w| -0@  
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    @o4z3Q@  
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    B c,"12  
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    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) Z9J =vzsHE  
    i_[ HcgT-  
     dt-Qu},8-  
       3xmiX{1e  
    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) (opROsFh  
    .^[fG59  
     ="5k\1W1M  
    3D?IG\3  
    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) nu469  
    XI%RneuDr:  
     RQj`9F  
    m{:"1]  
    6. 3D仿真与结果对比 KA|&Q<<{@  
    ~4MtDf  
     (B>yaM#5  
    $n=W2WJ6f  
    7. 走进VirtualLab Fusion ]/aRc=Gn  
    P|unUW(P  
     S4l)TtY  
    G zJ9N`  
    8. VirtualLab Fusion的工作流程 .iOw0z  
     /gqqKUx  
    AI^AK0.L  
     构造光栅结构 c*S#UD+  
    - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] (ZE%tbm2  
    - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] T8,k7 7  
     计算光栅结构内部的场分布 ]6a/0rg:t  
    tIi!* u  
     ".~Mm F  
    !7:EE,W~  
    9. VirtualLab Fusion技术 zVp[YOS&c  
    ~I8v5 H  
    kdK*MUB  
     
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