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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-14
    1. 摘要 EtJyI&7VK  
    7 2ux3D  
    在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。       =C 8 t5BZ"  
    n>jb<uz  
    2. 建模任务 4&)*PKq  
    qyv9]Q1  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    cBM A.'uIL  
     ^ruS  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    d7qY(!&  
    B#AAG*Ai8  
    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) =2pGbD;*  
    lz@fXaZM  
     *W,"UL6U8y  
       fLL_{o0T  
    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) !Sfy'v.  
    9=pG$+01OR  
     7 }>j [  
    dON 4r2-yC  
    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) Jf@M>BT^A  
    KOGbC`TN<  
     V"(S<o  
    *:bNK5I.t  
    6. 3D仿真与结果对比 Ra<mdteZT  
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    mm\Jf  
    7. 走进VirtualLab Fusion 2]C`S,)  
    aM5zYj`pW  
     9+U%k(9  
    048BQ  
    8. VirtualLab Fusion的工作流程 GrjL9+|x  
    \ }>1$kH;  
    :XcU@m  
     构造光栅结构 P!'Sx;C^f  
    - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] c 6@!?8J  
    - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] e*jt(p[Ge  
     计算光栅结构内部的场分布 &\4AvaeA8y  
    z6S N  
     ?Q;8D@   
    p}_bu@;.Z  
    9. VirtualLab Fusion技术 YOwo\'|=  
    %h 6?/  
    UOSa`TZbZ  
     
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