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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-14
    1. 摘要 P*n/qj8h  
    :7~DiH:Q  
    在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。       TE: |w Xe  
    6)c-s|#  
    2. 建模任务 6O_l;A[=1  
    rl,i,1t  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    oqo7Ge2  
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) yKy )%i  
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     h>F"GR?U_(  
       WIabQ_fX  
    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) a$\ Bt_  
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     4'TssRot@h  
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    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) }0?XF/e(R  
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    6. 3D仿真与结果对比 vR&b2G7o  
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    b +Z/nfS  
    7. 走进VirtualLab Fusion 'S|7<<>4k  
    6AoKuT;  
     'j-U=2,n  
    t1NGs-S3  
    8. VirtualLab Fusion的工作流程 ?C- ju8]|  
    0Y:)$h2?  
    T0~~0G)k  
     构造光栅结构 E]}_hZU  
    - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] :5BCW68le  
    - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例]  56MY@  
     计算光栅结构内部的场分布 |o+*Iy)  
    ) 7X$um  
     c3 )jsf  
    Kr[oP3  
    9. VirtualLab Fusion技术 nM ?Nf}  
    r*dNta<  
    *;xGH  
     
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