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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-14
    1. 摘要 LW9F%?e!>  
    'TA !JB+  
    在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。       >McEuoZx9  
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    2. 建模任务 [8Z !dj   
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) 5ci1ce  
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       lvLz){  
    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) h2i1w^f  
    kE[R9RS!  
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    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) i|28:FJA  
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    6. 3D仿真与结果对比 ),^pi?  
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    7. 走进VirtualLab Fusion E Q:6R|L  
    +AFBTJ  
     azO7C*_  
    ;krIuk-  
    8. VirtualLab Fusion的工作流程 /a6i`  
    e_cK#9+  
    N:Ir63X*#  
     构造光栅结构 t >.=q:  
    - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] POX{;[SV  
    - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] \5Y<UJ Ki  
     计算光栅结构内部的场分布 y! QYdf?  
    JC;&]S.  
     #wZH.i #  
    k~, k@mR  
    9. VirtualLab Fusion技术 /!`xqG#  
    I~;H'7|e  
    'u d[#@2  
     
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