1. 摘要 JKEXYE
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在最近的几十年里,COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。 %[+a[/ "<g?x`iz 2. 建模任务 -oaG| wj5qQ]WC 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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,_wm, 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
=Qjw.6@ 3Vb=6-| 3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真)
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]%WD} 4e =: v>< 6. 3D仿真与结果对比 % RBI\tj
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构造光栅结构 7B:ZdDj
- Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] 8R??J>h5\
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计算光栅结构内部的场分布 [iO$ c]!H
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