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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-09-14
    1. 摘要 Q+9:]Bt  
    d8w3Oz54  
    在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。       d-+jb<C&  
    pa+'0Y]71  
    2. 建模任务 2J&~b8:  
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    ?<C(ga  
    3,{eH6,O7M  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    0 h!Du|?  
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    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) 9 $$uk'}w!  
    f?)7MR=  
     Jl`^`Yv  
       R2sG'<0B0  
    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) "}*D,[C5e  
    b2UDPW  
     C`g "Mk8  
    eQu(3sYb  
    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) L4m Vk  
    xS/W}-dPv  
     /#M1J:SV  
    iiIns.V  
    6. 3D仿真与结果对比 :QGo -,6-  
    +?o!"SJ  
     e! *] y&W  
    ?0qD(cfx<  
    7. 走进VirtualLab Fusion X_o#!  
    EOrui:.B)  
     Y|fD)zG_  
    B=a+cT  
    8. VirtualLab Fusion的工作流程 $It mYj.m  
    oR2?$KF   
    qs ep9z.  
     构造光栅结构 Mu[lk=jC  
    - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] M8X6!"B$Y  
    - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] .b3h?R*&  
     计算光栅结构内部的场分布 [q2:d^_FA  
    u NyN[U  
     OA&'T*)-A6  
    rz%~=Ca2j  
    9. VirtualLab Fusion技术 c#{lXS^  
    vYm:V:7Y2  
    IRm}?hHf  
     
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