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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-09-14
    1. 摘要 NBl+_/2'w  
    <,o>Wx*1C  
    在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。       |4$M]Mf0  
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    2. 建模任务 !!@A8~H  
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) #/PAA  
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       *6HTV0jv  
    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) coYij  
    " \I4u{zC  
     c/c$D;T  
    :#dE:L;T  
    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) d%l{V6  
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     Y5fLmPza  
    zD?oXs  
    6. 3D仿真与结果对比 <ZU=6Hq  
    3?Y2L  
     +P.+_7+:  
     hi g2  
    7. 走进VirtualLab Fusion 8~5cJPi6  
    WJI[9@^I~  
     (sVi\R  
    SG6sw]x  
    8. VirtualLab Fusion的工作流程 ^vG8#A}]  
    9UvXC)R1  
    Mq';S^  
     构造光栅结构 1lv2@QH9  
    - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] v[Kxja;  
    - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] H'Yh2a`!o  
     计算光栅结构内部的场分布 n3J53| %v  
    CI3XzH\IX*  
     2<M= L1\  
    9"g6C<  
    9. VirtualLab Fusion技术 @&[T _l  
    0uBl>A7qhn  
    (b`]M`Fc  
     
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