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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-09-14
    1. 摘要 6l"4F6  
    g'-hSV/@}@  
    在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。       !;k ^  
    p .~5k  
    2. 建模任务 ^zG!Z:E  
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) [S.zWPX9{  
    p5nrPL  
     z5f3T D6,  
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    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) VhgcvS@V  
    d5W =?  
     M?ElD1#Z  
    q6 4bP4K  
    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) ?/Aql_?3  
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    1Zp^X:(  
    6. 3D仿真与结果对比 Ao *{#z   
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    7. 走进VirtualLab Fusion m?1AgsBR  
    TfNm0=|  
     {\k:?w4  
    (rf8"T!"  
    8. VirtualLab Fusion的工作流程 ,z$ U=u o  
    p1\E C#Q  
    1lv. @-  
     构造光栅结构 \#'m([<e  
    - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] ?d)eri8,  
    - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] E{B40E~4  
     计算光栅结构内部的场分布 *&F~<HC2+  
    ?,!C0ts  
     !wjD6 NK  
    m8v=pab e  
    9. VirtualLab Fusion技术 04#r'UIF  
    HD}3mP  
    m\|ie8  
     
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