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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-09-14
    1. 摘要 jRg/N_2'2  
    1hw.gn*JK>  
    在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。       XZ%[;[  
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    2. 建模任务 =d Q[I6  
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) 1@Jp3wW  
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     P^OmJ;""D  
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    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) +c% jOl  
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    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) E3 % ~!ZC  
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    6. 3D仿真与结果对比 E_~e/y"-  
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    7. 走进VirtualLab Fusion s?HK2b^;D  
    PE5*]+lW.  
     ;~0q23{+;U  
    XncX2E4E  
    8. VirtualLab Fusion的工作流程 AO8 #l YP?  
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    z-MQGq xR  
     构造光栅结构 }K?b2 6`  
    - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] S`vt\g$ dN  
    - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] I3 "6"  
     计算光栅结构内部的场分布 poAJl;T  
    l :{q I#Q  
     Jk%5Fw0  
    rQl9SUs  
    9. VirtualLab Fusion技术 !-)!UQ~|8  
    m]V#fRC  
    ueJ^Q,-t  
     
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