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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-09-14
    1. 摘要 !V#(g./W  
    I@7^H48\  
    在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。       M|7xI  
    ')+'m1N  
    2. 建模任务 O~l WFaW  
    !&?(ty^F  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) T" XZ[q  
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     D3|y|Dr  
       sHmzwvpLA  
    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) =P-kb^s  
    vRYfB{~  
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    349W0>eOT  
    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) pa4zSl  
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    6. 3D仿真与结果对比 Nu<M~/  
    z~UqA1r  
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    7. 走进VirtualLab Fusion 3g0[( ;  
    ^fQ ]>/u  
     n&p i  
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    8. VirtualLab Fusion的工作流程 48Vmz  
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    .m9s+D]fI  
     构造光栅结构 GNgPf"}K  
    - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] XFUlV;ek  
    - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] 8rx?mX,}  
     计算光栅结构内部的场分布 s["8QCd"r  
    U\*}}   
     jhr: QS/9  
    +Vl\lL -  
    9. VirtualLab Fusion技术 wi|'pKG  
    ]p:s5Q  
    9o@5:.b<j  
     
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