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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-09-14
    1. 摘要 +,ojlTVlt  
    g%f6D%d)A  
    在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。       c o%-d  
    G8!* &vR/  
    2. 建模任务 [cf!%3>53  
    y8=H+Y  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    <Yy|.=6 D  
    );5H<[  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    ygfUy  
    $n@B:kv5p  
    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) G^/8lIj  
    :B]yreg  
     'z3I*[!  
       H)l7:a  
    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) k'JfXrW<!  
    YA%0{Tdxz  
     +yo1&b R/  
    whvvc2  
    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) '?MT " G  
    L4-v'Z;  
     %6@->c{  
    ,$<="kJk  
    6. 3D仿真与结果对比 (S1Co&SX  
    6E@qZvQ  
     }:a:E~5y  
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    7. 走进VirtualLab Fusion `5C uH  
    rGb<7b%  
     mJL=H  
    ZQY?wO: [  
    8. VirtualLab Fusion的工作流程 MGE8S$Z  
    _/`H<@B_U  
    G2BB]] m3  
     构造光栅结构 8Xjp5  
    - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] "8sB,$  
    - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] c}r"O8M  
     计算光栅结构内部的场分布 -oR P ZtW  
    5isqBu  
     =/SBZLR(9  
    N-:.z]j#_  
    9. VirtualLab Fusion技术 @UCr`>  
    X/' t1  
    dcbE<W#ss  
     
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