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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-09-14
    1. 摘要 D,uT#P  
    6(HJYa  
    在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。       MpJx>0j/J  
    dBW#PRg  
    2. 建模任务 "n<u(m8E  
    9x9E+DG#(  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    Y XxWu8  
    e}L(tXZ  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    HMR!XF&JjC  
    GuJIN"P]  
    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) q{)Q ?E  
    lt}U,p,S  
     ,k/<Nv;  
       ]m^ECA$  
    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) NW Pd~l+  
    *P[N.5{  
     F=kiYa}  
    `P9%[8`C 9  
    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) 2f-Or/v  
    .O.fD  
     P99s   
    2{#=Ygb0  
    6. 3D仿真与结果对比 hM`*- +Zb  
    );x[1*e  
     DRi/<  
    B&H [z  
    7. 走进VirtualLab Fusion mDU-;3OqF  
    TUVqQ\oF:  
     #.\X% !  
    ~9+\  
    8. VirtualLab Fusion的工作流程 Ga^k1TQq  
    HC ?XNR&  
    W-ECmw(  
     构造光栅结构 2VS#=i(B^  
    - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] 7PI|~Ifi  
    - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] /?QBMI  
     计算光栅结构内部的场分布 4:v{\R  
    *r]#jY4qx  
     MT@Uu  
    NW;wy;;  
    9. VirtualLab Fusion技术 Aaix? |XN  
    tA{<)T  
    &rxR"^x\  
     
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