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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-09-14
    1. 摘要 P ^R224R  
    B8NOPbT  
    在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。        )f>s\T  
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    2. 建模任务 Cp7EJr~  
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) -)(HG)3  
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       *q{/`Z{wy  
    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) ZC'(^liAp  
    {wiw]@c8  
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    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) UbE*x2N  
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     X3 D(2W  
    )=V0  
    6. 3D仿真与结果对比 b/5  
    m{gx\a.5  
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    7. 走进VirtualLab Fusion xw(KSPN  
    X!V@jo9?  
     .e%PK  
    BFc=GiPnQ  
    8. VirtualLab Fusion的工作流程 ~]a:9Ev*  
    y((I2g1rv  
    jXB<"bw  
     构造光栅结构 d#cw`h<c~  
    - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] @2c Gx/1#  
    - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] ;0(|06=  
     计算光栅结构内部的场分布 _@wXh-nc  
    UmZ#Cm  
     gF+Uj( d  
    | z=:D*uh~  
    9. VirtualLab Fusion技术 zBV7b| j  
    CKeT%3  
    *oqQ=#\  
     
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