1. 摘要 Q+9:]Bt
d8w3Oz54
在最近的几十年里,COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。 d-+jb<C& pa+'0Y]71 2. 建模任务 2J&~b 8 : x0(bM g>7 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
?<C(ga
3,{eH6,O7M 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
0
h!Du|? dVEs^ZtI 3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) 9 $$uk'}w!
f?)7MR=
Jl`^`Yv R2sG'<0B0 4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) "}*D,[C5e
b2UDP W
C`g
"Mk8 eQu(3 sYb 5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) L4m Vk
xS/W}-dPv
/#M1J:SV iiIns.V 6. 3D仿真与结果对比 :QGo
-,6-
+?o!"SJ
e!*]y&W ?0qD(cfx< 7. 走进VirtualLab Fusion X_o#!
EOrui:.B)
Y|fD)zG_ B=a+cT 8. VirtualLab Fusion的工作流程 $ItmYj.m
oR2?$KF
qsep9z.
构造光栅结构 Mu[lk=jC
- Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] M8X6!"B$Y
- Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] .b3h?R*&
计算光栅结构内部的场分布 [q2:d^_FA
uNyN[U
OA&'T*)-A6 rz%~=Ca2j 9. VirtualLab Fusion技术 c#{lXS^ vY m:V:7Y2 IRm}?hHf