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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-09-14
    1. 摘要 NA/hs/ '  
    ' K\ $B_  
    在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。       9im<J'  
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    2. 建模任务 n[f<]4<  
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) v:xfGA nP  
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       Z\ 1wEGP7{  
    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) T+knd'2V6  
    }i\U,mH0_&  
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    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) n7$2 1*,  
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     L2WH-XP=  
    #ouE, <  
    6. 3D仿真与结果对比 qiyX{J7Z  
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    +`p@md2L1  
    7. 走进VirtualLab Fusion Y5&mJp\G  
    I<}<!.Bc!  
     M#'j7EMu  
    /l.ox.4z#  
    8. VirtualLab Fusion的工作流程 c&]nAn(  
    up^D9(y\  
    }iBFo\vU  
     构造光栅结构 PSR21;  
    - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] sSdnH_;&  
    - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] %]iE(!>3oy  
     计算光栅结构内部的场分布 cZFG~n/  
    .^o3  
     Yg<4}l."  
    a}#8n^2  
    9. VirtualLab Fusion技术 _ !r]**  
    #|ILeby  
    &X`zk  
     
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