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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-14
    1. 摘要 Q)l]TgvSe  
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    在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。       \E'Nk$V3  
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    2. 建模任务 GMw|@?:{  
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) T#lySev  
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    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) VA _O0y2  
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    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) i3.8m=>  
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    `8F%bc54iw  
    6. 3D仿真与结果对比 ]xfAdBi  
    F9e$2J)C  
     RB_7S!qC5  
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    7. 走进VirtualLab Fusion yZ,k8TJ",  
    "b*.>QuZ  
     Do(7LidC5  
    a#1LGH7E8  
    8. VirtualLab Fusion的工作流程 t8s1d  
    >b-rAO\{}  
     Be2@9  
     构造光栅结构  zUqiz  
    - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] Z`"UT#^SI  
    - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] +D4Nu+~BSN  
     计算光栅结构内部的场分布 j:|60hDz^  
    MPO!qSS]  
     Qd!;CoOmZs  
    K 3&MR=#^  
    9. VirtualLab Fusion技术 O6OP{sb  
    PZpwi?N  
    K4n1#]8i  
     
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