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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-14
    1. 摘要 Ud3""C5B  
    B[xR-6phW  
    在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。       H|+tC=]4IZ  
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    2. 建模任务 SQKt}kDbM  
    ,sb1"^Wc  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) _F8T\f |  
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     xVR:; Jy[  
       *:arva5  
    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) $au2%NL  
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    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) G6Q4-kcK  
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    `45d"B I  
    6. 3D仿真与结果对比 Y(GW0\<  
    C.E[6$oVc  
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    7. 走进VirtualLab Fusion ?0npEz|  
    ,35Ag#va  
     Ve14rn  
    l @A"U)A(  
    8. VirtualLab Fusion的工作流程 bhKV +oN  
    :GM#&*$2<  
    .!j#3J..u  
     构造光栅结构 tQ0=p| T]  
    - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] lS3 _Ild  
    - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] B,0+HoP  
     计算光栅结构内部的场分布 3o7xN=N  
    \G=bj;&eF  
     l\U*sro<  
    n1)'cS5}  
    9. VirtualLab Fusion技术 0=,'{Vz}A  
    kh&_#,  
    m~Me^yt>}  
     
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