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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-14
    1. 摘要 Qy0Zj$,Z  
    :g&9v_}&K{  
    在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。       X#v6v)c  
    p>Z18  
    2. 建模任务 K qK?w*Qw  
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) Z+p'3  
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       Dx1f< A1  
    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) prypo.RI  
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    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) X(r$OZ  
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    6. 3D仿真与结果对比 }# cFr)4f  
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    7. 走进VirtualLab Fusion cc0e(\  
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     ^ "D  
    E]MyP=g$  
    8. VirtualLab Fusion的工作流程 QV%,s!_b  
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     构造光栅结构 e&k=fV  
    - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] rl__3q  
    - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] ,$oz1,Q/  
     计算光栅结构内部的场分布 B5R/GV  
    K?J?]VCw  
     |'+ [ '  
    AQ<2 "s  
    9. VirtualLab Fusion技术 QKP@+E_U  
    Jf</83RZ  
    Au"7w=G`f  
     
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