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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-14
    1. 摘要 m+"?;;s  
    dilRL,  
    在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。       m:)v>vu  
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    2. 建模任务 P< O[S  
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) f,k'gM{K  
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       ,L6d~>=41  
    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) 4! XB?-.  
    7Xw;TA  
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    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) k*w]a  
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    6. 3D仿真与结果对比 6 GO7[?U<  
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    7. 走进VirtualLab Fusion g>1yQ  
    z+@aQ@75  
     e_kP=|u)g  
    F@& R"-  
    8. VirtualLab Fusion的工作流程 \|F4@  
    E*:!G  
    26G2. /**<  
     构造光栅结构 [V|,O'X ~  
    - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] +\fr3@Yc  
    - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] 9gZMfP  
     计算光栅结构内部的场分布 E3X:{h/  
    *!$4   
     ryB^$Kh,,  
    o8-BTq8  
    9. VirtualLab Fusion技术 r/$+'~apTk  
    w9rwuk  
    GvF8S MO[x  
     
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