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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-14
    1. 摘要 3&ES?MyB#  
    t ?404  
    在最近的几十年里,COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。  
    gg}^@h&?  
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    2. 建模任务 3PU'd^  
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    Th(F^W9  
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) S+Vsy(  
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    Q1(6U6L  
       'I *&P5|  
    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) [osm\w49  
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    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) #w:6<$  
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    6. 3D仿真与结果对比 )ls<"WTC.  
    z`Cq,Sz/  
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    7. 走进VirtualLab Fusion N2_9V~!  
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    8. VirtualLab Fusion的工作流程 rt7]~W-  
    ,J0BG0jB^u  
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     构造光栅结构 Q4JvFy0'  
    - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] %: .{?FB_  
    - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] s*0PJ\E2  
     计算光栅结构内部的场分布 /2\%X`]<  
    zz+p6`   
    / NlT[@T  
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    9. VirtualLab Fusion技术 )|@ H#kv?  
    /Xd s+V^Z  
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