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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-14
    1. 摘要 :7 P/ZC%  
    88l\8k4r  
    在最近的几十年里,COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。  
    Adma~]T9  
    Z=&cBv4Fs  
    2. 建模任务 #oX8EMqs<  
    =h Lw 1~  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    il5Qo  
    hE|W%~Jx  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    ym =7EY?o  
    -E(0}\  
    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) P`xQL  
    4{rqGC /  
    ~>"m`Q&[  
       +M=`3jioL  
    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) ?;0w1  
    ZZu{c t9  
    6B=: P3Y  
    !5}u\  
    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) U7do,jCoa  
    L<62-+e`  
    DQ*T2*L  
    ,ut-Di=6  
    6. 3D仿真与结果对比 NtfzAz/  
    ^kO+NH40  
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    7. 走进VirtualLab Fusion <9bfX 91  
    [  ^S(SPL  
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    8. VirtualLab Fusion的工作流程 J6[V7R[\  
    J{!U;r!6  
    u _mtdB'  
     构造光栅结构 H _0F:e  
    - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] xk*&zAt  
    - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] @y!oKF  
     计算光栅结构内部的场分布 2if7|o$=  
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    9. VirtualLab Fusion技术 [p+-]V  
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