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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-14
    1. 摘要 qS| \JG  
    vBcq_sbo  
    在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。       Ztr Cv?  
    vy9 w$ls  
    2. 建模任务 9$ qm>,o  
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    v'!a\b`9  
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) -G7TEq)  
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    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) ~ `M\Ir  
    *z*uEcitW  
     >TkE~7?l  
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    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) F8:vDv  
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     L|P5=/d  
    i.D3'l  
    6. 3D仿真与结果对比 1 i[\T  
    fC,:{}  
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    7. 走进VirtualLab Fusion .sC?7O =  
    =U%Rvm  
     bef_rH@`  
    S S2FTb-m  
    8. VirtualLab Fusion的工作流程 &|f@$ff  
    H,Z;=N_  
    0 stc9_O  
     构造光栅结构 \,u_7y2 c  
    - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] f7m%|v!  
    - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] X!e[GJ  
     计算光栅结构内部的场分布 M$Zcn#A  
    Z ?wU  
     H&:jcgV*P  
    UrqRx?#  
    9. VirtualLab Fusion技术 >}+/{(K"E|  
    !%"8|)CAr  
    T6 '`l?H`;  
     
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