1. 摘要 yJ*`OU#
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在最近的几十年里,COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。 Bfe#, ~t7?5b?*\ 2. 建模任务 Hx[YHu
KL^ vYQ0e:P 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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KvENH=oh 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
Q\.~cIw_AQ pw|f4c7AH 3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) +(n&>75
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<QbD ; (% KZoIjK] 4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) GJ"S*30
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q.sErr[zc ipzv]c& 6. 3D仿真与结果对比 }-YM>q
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OpFe=1Q b(^/WCykH 7. 走进VirtualLab Fusion +tO mKY
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Bgb~ Tz' U9w0kcUw#J 8. VirtualLab Fusion的工作流程 6ub-NtVu
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构造光栅结构 hr@c7/L
- Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] [+,%T;d;
- Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] -Q3jK)1
计算光栅结构内部的场分布 0"l*8%g
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O^|:q `)5,!QPQ7u 9. VirtualLab Fusion技术 2gP^+. z~Zu>Q1u[ ])`+
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