1. 摘要 d , Y#H0`
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在最近的几十年里,COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。 .>mr%#p :LQ5u[g$\ 2. 建模任务 :{ur{m5bX TzntO9P+ 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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'2laTl]` 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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|0\0a&tkPl %rF?dvb;? 6. 3D仿真与结果对比 BA:yQ
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t(+)# sj8~?O 7. 走进VirtualLab Fusion R-RDT9&<
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H> '>3]G `iJhG^w9M 8. VirtualLab Fusion的工作流程 t2V0lyeL
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构造光栅结构 =fYL}m5E
- Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] uU> wg*m
- Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] shH~4<15
计算光栅结构内部的场分布 O4g+D#Lu
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