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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-14
    1. 摘要 Wo&22,EB  
    "W6cQsi  
    在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。       XlF,_  
    ^V;r  
    2. 建模任务 o`Z3}  
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    )x\%*ewY  
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) Xxh^4vKjX  
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     16Ka>=G  
       mr}o0@5av  
    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) KB~[nZs7  
    Ld_uMe?Z  
     p9i7<X2&  
    ;q-c[TZC  
    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) NqF*hat  
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     I52nQCXi  
    Jk}3c>^D  
    6. 3D仿真与结果对比 +$ djX=3  
    YC%x W*  
     U>!TM##1QD  
    .a2R2~35  
    7. 走进VirtualLab Fusion  j7_,V?5z  
    STu(I\9  
     +?6]Vu&|f  
    &#C&0f8PnD  
    8. VirtualLab Fusion的工作流程 _`=qc/-0  
    y'>9' /&  
    *.w6 =}  
     构造光栅结构 :1f,%Z$,q  
    - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] Y_]y :H  
    - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] ^~l@ _r  
     计算光栅结构内部的场分布 lW-G]V  
    c[M4l  
     YYI0iM>  
    _gK}Gi?|  
    9. VirtualLab Fusion技术 R $<{"b  
    +~F>:v?Rh  
    1^NC=IS9z  
     
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