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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-14
    1. 摘要 =Ea,8bpn  
    ^grDP*;W  
    在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。       sY?sQ'E2]  
    Y[W] YPs  
    2. 建模任务 bl\;*.s'  
    :0Fc E,1  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    nIqF:6/  
    i#PR Tbc  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    (iht LFp  
    kB=5=#s  
    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) ruy?#rk  
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     !(y(6u#  
       fyxc4-D  
    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) zo@,>'m  
    uxL3 8d]  
     )))AxgM  
    Hro)m"  
    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) W!1 B~NH#  
    V@K^9R,|  
     Y@+9Ukd/  
    J!}R>mR  
    6. 3D仿真与结果对比 ] ~ }~d(  
    OK2\2&G  
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    7. 走进VirtualLab Fusion rY)m"'puP  
    &uI33=   
     ^BP4l_rO9  
    v+CW([zAx#  
    8. VirtualLab Fusion的工作流程 a~zh5==QD  
    .:tR*Kst`7  
    y8]vl;88yY  
     构造光栅结构 ~eUv.I/  
    - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] 'lmjZ{k  
    - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] 0UQ DB5u  
     计算光栅结构内部的场分布 c$_}   
    >"Zn# FY  
     FPEab69  
    sR| /s3;  
    9. VirtualLab Fusion技术 ;XXEvRk  
    x[$ :^5V  
    @9\E  
     
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