1. 摘要 K
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在最近的几十年里,COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。 Mh@ylp+q Y&Nv>o_}5 2. 建模任务 mwiPvwHrg 0~I)
/T 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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7JK 'vT 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
JL*]9$o ,}xC) > 3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) FH@e:-*=
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oFA$X Y |@4hz9~3 4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) a\.?{/
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Sq "PM:&v 6. 3D仿真与结果对比 T%b^|="@
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m^&mCo, W`rE\P 8. VirtualLab Fusion的工作流程 A.*nDl`H
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构造光栅结构 Y2~{q Y
- Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] z^a?t<+
- Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] tg4&j$
计算光栅结构内部的场分布 =<tEc+!T3
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~w%+y ziip*<a!_ 9. VirtualLab Fusion技术 o=5uM U-:Z^+Y ^E,UcK;