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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-14
    1. 摘要 898=9`7e  
    G~$[(Fhk  
    在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。       FsTl@zN  
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    2. 建模任务 miv)R  
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    o+F]80CH  
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) *$/!.e  
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    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) F4$N:J kl  
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    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) rV6SN.  
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    6. 3D仿真与结果对比 m c q!_#{y  
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    7. 走进VirtualLab Fusion a-(OAzQ_  
    IN#Z(FMVC  
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    8. VirtualLab Fusion的工作流程 J3P )oM[  
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     构造光栅结构 ;wF 0s  
    - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] B4d\4S_r%  
    - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] @Fs2J_v  
     计算光栅结构内部的场分布 8IrA {UU  
    "oc&uj  
     Cg4l*"_  
    !T3b ]0z  
    9. VirtualLab Fusion技术 J=@D]I*3  
    kH9P(`;Vq  
    XzV:q!e-  
     
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