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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-14
    1. 摘要 ,#c-"x Y  
    D6ck1pxkx  
    在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。       ^ MddfBwk  
    !4 hs9b  
    2. 建模任务 Ft>ixn  
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    u@gYEx}  
    Y/$SriC_+'  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    +m+HC(Z  
    G4RsH/  
    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) Z2$-},i  
    -_4! id  
     R/b=!<  
       (=PnLP  
    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) { j/w3  
    =Wjm_Rvk9  
     ~(&xBtg:}  
    EAq >v t83  
    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) yqBu7E$X  
    FcWu#}.p}  
     qkBnEPWZy  
    F_21`Hj  
    6. 3D仿真与结果对比 6Edqg   
    '8Gw{&&  
     j2\G1@05  
    |BW956fBU  
    7. 走进VirtualLab Fusion 3AB5Qs<  
    ZtvU~'Q  
     MRC5c:(  
    K3Xy%pqR#  
    8. VirtualLab Fusion的工作流程 ZU@V]+ww  
    !l\pwfXP&%  
    _ Po9pZ  
     构造光栅结构 P;y/`_jo  
    - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] $`5DGy?RU  
    - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] *1%g=vb  
     计算光栅结构内部的场分布 %!=YNm  
    Q3KBG8  
     eU12*(  
    /J6CSk  
    9. VirtualLab Fusion技术 FE5R ^W#u-  
    t^[{8,N  
     o _CVZ  
     
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