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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-14
    1. 摘要 ]&ptld;  
    :;XHA8  
    在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。       32IN;X|  
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    2. 建模任务 IfZaK([  
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    t747SZWgB  
    +G_6Ek4  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) z~oGd,  
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       <][|,9mw  
    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) ,U'Er#U  
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     DZXv3gnX  
    -c=IO(B/  
    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) qgca4VV|z  
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    6. 3D仿真与结果对比 .#h ]_%  
    |U^ ff^]  
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    7. 走进VirtualLab Fusion h3 p 3~xq  
    ?V[yw=sl04  
     5H 1(C#|  
    ~9oS~fP?I  
    8. VirtualLab Fusion的工作流程 ~|J6M  
    eOn,`B1  
    (p14{  
     构造光栅结构 %e%nsj6  
    - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] o D* '  
    - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] ~N'KIP[W  
     计算光栅结构内部的场分布 317Buk  
    ]hvB-R16f  
     :M3l#`4Q  
    8d)F#  
    9. VirtualLab Fusion技术 rP`\<}a.  
    z7PPwTBa  
    V7401@F  
     
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