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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-14
    1. 摘要 f4g(hjETbu  
    wEDU*}~  
    在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。       P9%9/ B:-  
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    2. 建模任务 ^Gd <miw  
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) r2sog{R  
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     ,vN#U&RS  
       j6v +S  
    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) YKM(qh2  
    0IA '8_K  
     zcZr )Oh  
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    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) 9Hc#[Ml  
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    6. 3D仿真与结果对比 Nxt/R%(  
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    7. 走进VirtualLab Fusion 9f"6Jw@F  
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    8. VirtualLab Fusion的工作流程 Y0eu^p)  
    ]\3dJ^q|%  
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     构造光栅结构 m=}kGzIY4  
    - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] d+^4 ;Hv4  
    - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] Nm^q.)dO  
     计算光栅结构内部的场分布 wvh4AE5F|z  
    $@#nn5^IX  
     Y*AHwc<w`  
    A!^,QRkRN  
    9. VirtualLab Fusion技术 5?I]\Tb  
    OVivJx  
    ` 86b  
     
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