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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-14
    1. 摘要 $k2*[sn,  
    M`l.t -ut  
    在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。       _~T!9  
    -k"^o!p  
    2. 建模任务 *;Ed*ibf  
    vo#UtN:q  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    t8dm)s[r8  
    sx`O8t  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    a(0*um(  
    pi ,eIm  
    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) L*~J%7  
    +*hm-lv?  
     GO^_=EMR[  
       /, !B2  
    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) =hMY2D  
    H V;D?^F  
     [!U?}1YQ  
    Sx8OhUyux  
    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) dtc IC0:[  
    >`%'4<I  
     a$Cdhx !  
    mD/MJt5  
    6. 3D仿真与结果对比 >J>b>SU=-  
     $O dCL  
     :=[XW?L%x  
    }~Af/  
    7. 走进VirtualLab Fusion 1rDqa(7  
    g'|MA~4yB  
     6%VV,$p  
    6MxKl D7kl  
    8. VirtualLab Fusion的工作流程 ?A )hN8  
    YR;^hs?  
    6O}`i>/6M  
     构造光栅结构 HVC >9_:]  
    - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] (1NA  
    - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] 44F`$.v96  
     计算光栅结构内部的场分布 b&5lYp"d  
    hjQ~uqbg  
     r{rQu-|.  
    ^*fxR]Y  
    9. VirtualLab Fusion技术 ,-OCc!7K  
    3hK#'."`N  
    W[}s o6  
     
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