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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-14
    1. 摘要 oC;l5v<  
    =[43y%   
    在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。       ?Ix'2v  
    g@N=N  
    2. 建模任务 3w6J V+?  
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) M2;(+8 b  
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     <yb=!  
       EUYa =-  
    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) KX=:)%+  
    5O4&BxQ~}  
     FK/ro91L  
    ADJ5ZD<Q  
    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) EZa{C}NQ$2  
    ~6Ee=NaLzP  
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    -qnXa  
    6. 3D仿真与结果对比 +{ ,w#@  
    OD2ai]!v+  
     ,nuDoc  
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    7. 走进VirtualLab Fusion PSrt/y!  
    VNh,pQ(  
     =G3J.S*Riy  
    ]!S)O|_D[  
    8. VirtualLab Fusion的工作流程 SS<+fWXE  
    `'tw5}  
    cB9KHqB  
     构造光栅结构 |SXMu_w  
    - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] (J) Rs`_  
    - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] vGMOXbq4&  
     计算光栅结构内部的场分布 t&?v9n"X  
     PtVNG  
     w[$Wpae  
    ]FnrbQ|  
    9. VirtualLab Fusion技术 XC8z|A-@  
    ?p/kuv{\o#  
    yP=isi#dDY  
     
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