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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-14
    1. 摘要 iOJ5KXrAO  
    p-XO4Pc 6  
    在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。       9|NH5A"H.  
    Q:U>nm>xA  
    2. 建模任务 E4, J"T|@  
    XJ e}^k  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    N~~ sM"n  
    Wn-'iD+9<  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    0)rayzv  
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    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) qT~a`ou:  
    6_g:2=6S  
     apZPHau6h  
       MFQyB+Z  
    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) y;<F|zIm  
    DIw9ov>k  
     (\UpJlW  
    -car>hQq  
    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) ?azcWf z0  
    qP BOt;N  
     c8LMvL  
    <b:xyHS  
    6. 3D仿真与结果对比 7~Z(dTdSG  
    >R}G  
     ;z T3Fv\  
    L%jIU<?Z7  
    7. 走进VirtualLab Fusion h43py8v  
    |y pX O3  
     "x3x$JQZy  
    jN-!1O._G  
    8. VirtualLab Fusion的工作流程 4W#DLip9  
    iDWM-Ytx  
    #I1q,fm  
     构造光栅结构 %,(X R`  
    - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] //'&a-%$^  
    - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] +ZOKfX  
     计算光栅结构内部的场分布 ,b4oV  
    _L+j6N.h1  
     zx5#eMD  
    (67byO{  
    9. VirtualLab Fusion技术 u\;d^A  
    &0i$Y\g  
    l <p(zLR  
     
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