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集成微透镜阵列的CMOS传感器分析
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集成微透镜阵列的CMOS传感器分析
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楼主
发表于: 2023-09-14
1. 摘要
[:gg3Qzx
l=l$9H,
在最近的几十年里,COMS传感器的
像素
尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间
分辨率
。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微
透镜
的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在
仿真
分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。
5VOw}{Pt
ercXw7{
2. 建模任务
B|"i`{>
uI?Z_
采用的几何
参数
来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
o/VT"cT
,vf#e=Z
采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
b=2:\F
lkJxb~S
3. 2 um像素的微透镜
阵列
(X-Z截面仿真)
Nr$78] o9
u<fZ.1
#|Lsi`]+
'/03m\7
4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真)
xxl|j$m
h6O'"
p o)lN[v
'fb\t,
5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真)
T!y 9v5
W3>9GY90R
< B]qqqP
_L~ 3h
6. 3D仿真与结果对比
fvH{va.
h~9P34m
B&rN