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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-14
    1. 摘要 $)UMRG  
    -0Ws3  
    在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。       G/l 28yt  
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    2. 建模任务 R#D>m8&}3  
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) m tPmVze  
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       --t"X<.z  
    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) F]_w~1 n5  
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     ,hMd xZJd  
    N*Is_V\R  
    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) nSMw5  
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    6. 3D仿真与结果对比 mmN!=mf*  
    rn$LZE %  
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    7. 走进VirtualLab Fusion ?^y!}(  
    `$kKTc:f  
     Z@Tb3N/[  
    {x&"b-  
    8. VirtualLab Fusion的工作流程 4&)4hF  
    etcpto=Mo  
    u~JCMM$  
     构造光栅结构 `~~.0QC  
    - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] G<dWh.|`=  
    - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] TGSUbBgU  
     计算光栅结构内部的场分布 u]<7}R@s  
    \Z?.Po`!j  
     .>/Tc  
    5V"Fy&}:  
    9. VirtualLab Fusion技术 d]fo>[%Xr  
    } `X.^}oe  
    ZxvqLu  
     
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