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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-14
    1. 摘要 lw.[qP  
    w}zmcO:x  
    在最近的几十年里,COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。  
    M*kE |q/K  
    ' BS.:^  
    2. 建模任务 +>K&zS  
    4gsQ:3  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    =DD KGy.g  
    [H>u'fy:C  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    31alQ\TH  
    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) !$oa6*<1  
    dnU-v7k,{  
    ipbhjK$  
       t^FE]$,  
    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) NR1M W^R  
    k_7b0 dr%F  
    }6/M5zF3  
    'ET];iZ2  
    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) Kw" y#Ys]  
    Opcszq5n  
    _lwKa, }  
    bS r"k  
    6. 3D仿真与结果对比 6AG]7d<  
    *qy \%A  
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    7. 走进VirtualLab Fusion )Ak#1w&q  
    L'? aoRj  
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    8. VirtualLab Fusion的工作流程 [Tp?u8$p`  
    cr{yy :D  
    rSJ!vQo Cb  
     构造光栅结构 dR1IndZl  
    - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] xw 43P.  
    - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] $jE<n/8  
     计算光栅结构内部的场分布 H/x0'  
    e,_Sj(R8  
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    * $fM}6}  
    9. VirtualLab Fusion技术 o?>0WSLlm  
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