1. 摘要 lw.[qP
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在最近的几十年里,COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。 M*kE |q/K ' BS.:^ 2. 建模任务 +>K&zS 4gsQ:3 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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[H>u'fy:C 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
J'$NBws 31a lQ\TH 3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) !$oa6*<1
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ipbhjK$ t^FE]$, 4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) NR1M W^R
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_lwKa,} bS r"k 6. 3D仿真与结果对比 6AG]7d<
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6 iBSg`"S^]C 7. 走进VirtualLab Fusion )Ak#1w&q
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rxu_Ssd@" C|TQf8 8. VirtualLab Fusion的工作流程 [Tp?u8$p`
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构造光栅结构 dR1IndZl
- Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] xw
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- Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] $jE<n/8
计算光栅结构内部的场分布 H/x0'
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