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46`{mPd{aO 内容简介 gI{F"7fa= Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 2ARh-zLb 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 ^PszZ10T 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 YJ`>&AJ 7.-|3Wcg 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 #=m5*}= 目录 >MLqOUr# Preface 1 Yr@ @ty 内容简介 2 KDk^)zv%! 目录 i SM?<woY=* 1 引言 1 >ZWm0nTr 2 光学薄膜基础 2 @m4d 4K@ 2.1 一般规则 2 'UCL?$ 2.2 正交入射规则 3 NKN!X/P 2.3 斜入射规则 6 `. Z". 2.4 精确计算 7 N0NMRU]zT 2.5 相干性 8 -g9f3Be 2.6 参考文献 10 ,;;~dfHm 3 Essential Macleod的快速预览 10 bK7DGw`1 4 Essential Macleod的特点 32 .7q#{`K^= 4.1 容量和局限性 33 O4{&B@! 4.2 程序在哪里? 33 y!].l0e2a 4.3 数据文件 35 F);C?SW" 4.4 设计规则 35 l1msXBC 4.5 材料数据库和资料库 37 mvnK)R_ 4.5.1材料损失 38 gKnAw+u\ 4.5.1材料数据库和导入材料 39 ) PtaX|U 4.5.2 材料库 41 1JY4E2Q 4.5.3导出材料数据 43 1'iRx, 4.6 常用单位 43 -M:.D3,L 4.7 插值和外推法 46 6+>rf{5P7 4.8 材料数据的平滑 50 E^s>S,U[y 4.9 更多光学常数模型 54 /V^S)5r 4.10 文档的一般编辑规则 55 BFY~::<b 4.11 撤销和重做 56 4)?c[aC4P 4.12 设计文档 57 YV9%^ZaN7 4.10.1 公式 58 Nt)9-\T 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 Y\lBPp0{\v 4.10.3 沉积密度 59 IkupW|}rc 4.10.4 平行和楔形介质 60 MFVFr " 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 d7@ N~<n 4.10.4 性能 61 w
^A0l.{ 4.10.5 保存设计和性能 64 DZvpt%q 4.10.6 默认设计 64 Jv5G:M5+~ 4.11 图表 64 K_xn> 4.11.1 合并曲线图 67 >DDQ7
l 4.11.2 自适应绘制 68 XHW{EVcF 4.11.3 动态绘图 68 Zhw _L 4.11.4 3D绘图 69 *op7:o_ 4.12 导入和导出 73 u931^~Ci 4.12.1 剪贴板 73 :=* -x 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 f,$FrI, 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 3.>jagu 4.13 背景 77 r`5;G4UI 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 "5@Y\L 4.15 生成Rugate 84 7+ c?eH 4.16 参考文献 91 ,y^By_1wS 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 q,2
@X~T
5.1 Jobs 92 r`lgK2r\ 5.2 创建一个新Job(工作) 93 /(Y\ < 5.3 输入材料 94 UZV)A} 5.4 设计数据文件夹 95 X;- ,3dy 5.5 默认设计 95 |^FDsJUN 6 细化和合成 97 i
cZQv] 6.1 优化介绍 97 m^`X|xK- 6.2 细化 (Refinement) 98 pt=[XhxC(> 6.3 合成 (Synthesis) 100 'oo]oeJ- 6.4 目标和评价函数 101 1r@v
\#P 6.4.1 目标输入 102 `toSU>: 6.4.2 目标 103 MjHeUf 6.4.3 特殊的评价函数 104 "5{\0CfS 6.5 层锁定和连接 104 ,TL~];J' 6.6 细化技术 104 K^Xg^9 6.6.1 单纯形 105 I@.qon2V 6.6.1.1 单纯形参数 106 8z@A/$T 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 DK:d'zb 6.6.2.1 Optimac参数 108 A+?n=IHh 6.6.3 模拟退火算法 109 qWo|LpxWt 6.6.3.1 模拟退火参数 109 $WdZAv\_S 6.6.4 共轭梯度 111 e7<~[>g) 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 Q&wBX%@^L 6.6.5 拟牛顿法 112 rBpr1XKl, 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 ctj.rC)6n 6.6.6 针合成 113 9gjx!t>`H 6.6.6.1 针合成参数 114 i3YAK$w;& 6.6.7 差分进化 114 fz<Y9h= 6.6.8非局部细化 115 !zD| @sX{ 6.6.8.1非局部细化参数 115 N#|c2n+ 6.7 我应该使用哪种技术? 116 0ro)e~_@* 6.7.1 细化 116 }P^{\SDX 6.7.2 合成 117 DT_012z 6.8 参考文献 117 V$@@!q 7 导纳图及其他工具 118 !5x"d7 7.1 简介 118 KPKby?qQ^ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 yl|+D] 7.2.1 四分之一波长规则 119 vVE^Y 7.2.2 导纳图 120 O>H4hp 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 ^
.>)*P 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 l@##
Ex9 7.5 斜入射导纳图 141 t'~:me! 7.6 对称周期 141 h%#@Xd>. 7.7 参考文献 142 ~KEnZa0 8 典型的镀膜实例 143 HD Eq q 8.1 单层抗反射薄膜 145 +BmA4/P$ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 2Ask] 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 (n# 8.4 W-膜层 148 IgZX,4i=o 8.5 V-膜层 149
RtK/bUa 8.6 V-膜层高折射基底 150 N\mV+f3A@, 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 q18dSu 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 +STT(b Mn 8.9 四层抗反射薄膜 153 )6Z)z;n]aW 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 +HUI1@ql 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 {{:MJ\_"h_ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 %kKtPrT 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 <#sB ; 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 /TS>I8V! 8.15十五层宽带抗反射膜 159 wXfy,W 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 @zSoPDYv, 8.17 1/4波长堆栈 162 m&b!\"0 8.18 陷波滤波器 163 ptYQP^6S[ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 L2AZ0E"ub 8.20 褶皱 165 ^h=;]vxO 8.21 消偏振分光器1 169 >L)Xyq 8.22 消偏振分光器2 171 H<dm;cU 8.23 消偏振立体分光器 172 Ci=c"JdB 8.24 消偏振截止滤光片 173 l{vi{9n) 8.25 立体偏振分束器1 174 si0jXue~j\ 8.26 立方偏振分束器2 177 N(/DC)DJg 8.27 相位延迟器 178 hNSV}~h 8.28 红外截止器 179 SbrBlP:G 8.29 21层长波带通滤波器 180 Pqx=j_st 8.30 49层长波带通滤波器 181 (~,Q-w" 8.31 55层短波带通滤波器 182 'N0d==aI 8.32 47 红外截止器 183 L<5go\!bV 8.33 宽带通滤波器 184 F71.%p7C8" 8.34 诱导透射滤波器 186 .#EmE'IP* 8.35 诱导透射滤波器2 188 Qq^>7OU>Co 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 sm/l'e 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 wIL5-k, 8.35 增益平坦滤波器 193 yAXw?z!`O 8.38 啁啾反射镜 1 196 99H!~bSS 8.39 啁啾反射镜2 198 B4_0+K H 8.40 啁啾反射镜3 199 ?ZE1>L7e 8.41 带保护层的铝膜层 200 *}A J7] 8.42 增加铝反射率膜 201 V 1;n5YL 8.43 参考文献 202 $ v$~. 9 多层膜 204 .Mdxbs6.C 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 :8jHN_u 9.2 内部透过率 204 !SKEL6~7
9.3 内部透射率数据 205 Sh}AGNE' 9.4 实例 206 r4D6g>)h1q 9.5 实例2 210 UvxJ _ 9.6 圆锥和带宽计算 212 D 0\
9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 .pr- ^ 10 光学薄膜的颜色 216 n"-cX) 10.1 导言 216 @ 4j#X 10.2 色彩 216 _h M3p 10.3 主波长和纯度 220 -D`*$rp, 10.4 色相和纯度 221 bxK1v7 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 VLkK6W.u 10.6 色差 226 /@Y/(+DE 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 @ $4(!80- 10.8 颜色渲染指数 234 v.c2(w/P 10.9 色差计算 235 b_z;^y~ 10.10 参考文献 236 %koHTWT+ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 iKs/8n 11.1 短脉冲 238 Q Y/36gK 11.2 群速度 239 Z~9\7QJn 11.3 群速度色散 241 *3s4JK 11.4 啁啾(chirped) 245 MX xRM~ 11.5 光学薄膜—相变 245 9Psy$ 11.6 群延迟和延迟色散 246 k#w[GL|T 11.7 色度色散 246 CT6a 11.8 色散补偿 249 th2a'y=0 11.9 空间光线偏移 256 Jx[IHE 11.10 参考文献 258 Wx;:_F7'\ 12 公差与误差 260 C3:4V2<_ 12.1 蒙特卡罗模型 260 ?sdVd 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 A|O7W|"W 12.2.1 误差工具 267 mflH &Bx9 12.2.2 灵敏度工具 271 dl6d!Nz* 12.2.2.1 独立灵敏度 271 ;SEH|_/ 12.2.2.2 灵敏度分布 275 ~Q0gSazXFt 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 % tN{ 12.3 参考文献 276 R]0awV1b 13 Runsheet 与Simulator 277
pBG(%3PpW 13.1 原理介绍 277 A_muuOIcI 13.2 截止滤光片设计 277 4Sf v 14 光学常数提取 289 U:M?Ji5CY 14.1 介绍 289 tT ~}lW)Y 14.2 电介质薄膜 289 =P<gZ-Cm 14.3 n 和k 的提取工具 295 QyuSle 14.4 基底的参数提取 302 ,q] Wi# 14.5 金属的参数提取 306 9_n!.zA< 14.6 不正确的模型 306 +FP*RNM 14.7 参考文献 311 .:B]
a7b 15 反演工程 313 `i<;5s!rX 15.1 随机性和系统性 313 )F,H(LblH 15.2 常见的系统性问题 314 P%]li`56-c 15.3 单层膜 314 ;3s_#L 15.4 多层膜 314 =cs;avtL 15.5 含义 319 n\Uh5P1W" 15.6 反演工程实例 319 l 4I@6@ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 ;H9d.D8 15.6.2 反演工程提取折射率 327 2M3.xUS 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
n4h@{Xg 16.1 光学性质的热致偏移 329 iov55jT~l@ 16.2 应力工具 335 Z$ {I4a 16.3 均匀性误差 339 OW<i"?0 16.3.1 圆锥工具 339 HeZ! "^w 16.3.2 波前问题 341 gk >-h,>" 16.4 参考文献 343 <03 @c s 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 (1T2?mO 17.1 引言 345 u>Z;/kr 17.2 操作数 345 I2hX;pk, 18 如何在Function中编写脚本 351 (Hb
i+IHV 18.1 简介 351 W'hE, 18.2 什么是脚本? 351 GJ edW 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 (9]`3^_,J 18.4 基础 352 *
xdS< 18.4.1 Classes(类别) 352
#"&h'V 18.4.2 对象 352 D *R F._ 18.4.3 信息(Messages) 352 dVmI.A'nbp 18.4.4 属性 352 Ml1yk)3G 18.4.5 方法 353 *|h-iA+9 18.4.6 变量声明 353 $=uyZTYF)} 18.5 创建对象 354
)T/"QF}<T 18.5.1 创建对象函数 355 RbKAB8 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 3U9]&7^ 18.5.3 丢弃对象 356 H)(@A W+- 18.5.4 总结 356 *Nloa/a&9 18.6 脚本中的表格 357 jFf2( AR 18.6.1 方法1 357 h~)oiT2v 18.6.2 方法2 357 n&Bolt(tO 18.7 2D Plots in Scripts 358 OiH
tobM 18.8 3D Plots in Scripts 359 3YVG|Bc~_ 18.9 注释 360 h4N!zj[ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 +e+hIMur 18.11 一个更高级的脚本 362 ;
>Tko< 18.12 <esc>键 364 t<mT=(zt* 18.13 包含文件 365 [0U!Y/?6lA 18.14 脚本被优化调用 366 a@$ U?=\e 18.15 脚本中的对话框 368 7K>FCT 18.15.1 介绍 368 vU0j!XqE 18.15.2 消息框-MsgBox 368 "v@$CR9<T 18.15.3 输入框函数 370 ES p)% 18.15.4 自定义对话框 371 0Po",\^ 18.15.5 对话框编辑器 371 6Ko[[?Lf[ 18.15.6 控制对话框 377 `W,gYH7 18.15.7 更高级的对话框 380 +a_eNl, 18.16 Types语句 384 F#>?i} 18.17 打开文件 385 0(\ybppx 18.18 Bags 387 v*`$is+ 18.13 进一步研究 388 DP **pf%j 19 vStack 389 )_N|r$i\ 19.1 vStack基本原理 389 ,=whwl "tA 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 6<jh0=$ 19.3 五棱镜 393 >Vz Gx(7q 19.4 光束距离 396 :bFCnV`Q 19.5 误差 399 3on]#/"1b 19.6 二向分色棱镜 399 M>^Ho2 19.7 偏振泄漏 404 5m{!Rrb 19.8 波前误差—相位 405 fr
kDf-P 19.9 其它计算参数 405 1Y!"C 20 报表生成器 406 ( P|Ph 20.1 入门 406 X-&t!0O4}` 20.2 指令(Instructions) 406 Hf!o6 o 20.3 页面布局指令 406 Lsv[@Rl 20.4 常见的参数图和三维图 407 UUi@
U 20.5 表格中的常见参数 408 #12 20.6 迭代指令 408 /T&z
:st0 20.7 报表模版 408 ZlD\)6 dZ 20.8 开始设计一个报表模版 409 SQx%CcW9d 21 一个新的project 413 0;
GnR 0 21.1 创建一个新Job 414 'X&sH/>r 21.2 默认设计 415 j]th6 21.3 薄膜设计 416 aC:Sy^Tf 21.4 误差的灵敏度计算 420 2>BWu 21.5 显色指数计算 422 >a7'_n_o 21.6 电场分布 424 F0h`>{1% 后记 426 o}H7;v8H 有兴趣扫码加微联系 C5oslP/@
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