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O^Vy"8Ji}y 内容简介 0BB@E(* Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 N>fYH.c3Y 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 Q|B|#?E== 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 <
}wAP_y i!W8Q$V 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 A>t!/_" 目录 Zng` oFD Preface 1 o9LD6$ 内容简介 2 O)xEF~DaD 目录 i <
mK 1 引言 1 ; G59}d
p~ 2 光学薄膜基础 2 s`iNbW=" 2.1 一般规则 2 Sq|1f?_gU 2.2 正交入射规则 3 _'hCUXeY' 2.3 斜入射规则 6 @=0r3 2.4 精确计算 7 >?9 WeXG 2.5 相干性 8 e#6&uFce 2.6 参考文献 10 o`K^Wy~+k# 3 Essential Macleod的快速预览 10 UW/3{2 4 Essential Macleod的特点 32 R;E"Qdt 4.1 容量和局限性 33 :gD0EqV 4.2 程序在哪里? 33 @yn^6cE 4.3 数据文件 35 |/\U^AHm"h 4.4 设计规则 35 6l\UNG7 4.5 材料数据库和资料库 37 UI<PNQvo9 4.5.1材料损失 38 CoUd16*"JM 4.5.1材料数据库和导入材料 39 wEfz2Eq 4.5.2 材料库 41 (: TGe v 4.5.3导出材料数据 43 9{%g-u\ 4.6 常用单位 43 !UBDx$]^ 4.7 插值和外推法 46 y/}VtD 4.8 材料数据的平滑 50 a4jnu:e 4.9 更多光学常数模型 54 +/3
Z 4.10 文档的一般编辑规则 55 Vr-3M+l=O 4.11 撤销和重做 56 *mQDS.'AB@ 4.12 设计文档 57 _.OMjUBZT 4.10.1 公式 58 A:.IBctsd 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 {rb-DB-/5M 4.10.3 沉积密度 59 G{f`K^ 4.10.4 平行和楔形介质 60 :%uyy5AZ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 .hQ3A" 4.10.4 性能 61 @r/Id{pCI 4.10.5 保存设计和性能 64 *K}z@a_ 4.10.6 默认设计 64 ll(e,9.D 4.11 图表 64 7/&C;" 4.11.1 合并曲线图 67 nG},v% 4.11.2 自适应绘制 68 b>bgUDq 4.11.3 动态绘图 68 lpfwlB'~9 4.11.4 3D绘图 69 I[g?Ju > 4.12 导入和导出 73 !qTpQ5Dm 4.12.1 剪贴板 73 [/AdeR 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 z<oE!1St 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 w%8ooQ|C 4.13 背景 77 Uin k 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 o0aO0Y 4.15 生成Rugate 84 @jE d%W 4.16 参考文献 91 yp[<9%Fi 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 zL)1^[%O9 5.1 Jobs 92 #}/cM2m 5.2 创建一个新Job(工作) 93 k+WO &g*| 5.3 输入材料 94 N;C"X4rV 5.4 设计数据文件夹 95 _@#uIOcE 5.5 默认设计 95 iJ`%yg, 6 细化和合成 97 agU%z:M{ 6.1 优化介绍 97 ;z.6'EYMG 6.2 细化 (Refinement) 98 Jb3>vCIn 6.3 合成 (Synthesis) 100 $ ]W[y= 6.4 目标和评价函数 101 `qf\3JT\ 6.4.1 目标输入 102 lruF96C/Y 6.4.2 目标 103 tDC0-N&6S~ 6.4.3 特殊的评价函数 104 BaWQ<T8p8 6.5 层锁定和连接 104 @tr&R==([ 6.6 细化技术 104 <pTQpU 6.6.1 单纯形 105 ch0oFc$ 6.6.1.1 单纯形参数 106 xta}4:d-Y 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 MiSja#"+A 6.6.2.1 Optimac参数 108 }g>dn 6.6.3 模拟退火算法 109 Vqa5RVnI 6.6.3.1 模拟退火参数 109 saGRP}7? 6.6.4 共轭梯度 111 --in+ 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 w8 ?Pb$Fe 6.6.5 拟牛顿法 112 l-<3{! 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 v%H"_T 6.6.6 针合成 113 &Pu+(~'Q 6.6.6.1 针合成参数 114 C6K|:IK{ 6.6.7 差分进化 114 g(-;_j!= 6.6.8非局部细化 115 o,?!"*EP 6.6.8.1非局部细化参数 115 K-2.E 6.7 我应该使用哪种技术? 116 4*0:bhhhf_ 6.7.1 细化 116 $R A4U< 6.7.2 合成 117 ]$m#1Kj 6.8 参考文献 117 |rr$U 7 导纳图及其他工具 118 t[]['Iosd 7.1 简介 118 2wB.S_4"-< 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 opm?':Qst 7.2.1 四分之一波长规则 119 zW%>"y 7.2.2 导纳图 120 ?!bd!:(N 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 \p5|}<Sr) 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 J"%8:pL 7.5 斜入射导纳图 141 Ef2Yl 7.6 对称周期 141 +<S9E'gT3V 7.7 参考文献 142 -Nsk}Rnk* 8 典型的镀膜实例 143 >%9^%p^ 8.1 单层抗反射薄膜 145 H"#)&a7 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 7]p>XAb 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 -h>Z,-DE6 8.4 W-膜层 148 *-?Wcz 8.5 V-膜层 149 Of-C 8.6 V-膜层高折射基底 150 c*N50%=4 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 j(0Ilx|7v 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 "/Y<G 8.9 四层抗反射薄膜 153 nY OY"'z 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 w?kGi>7E 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 <(fdHQD!7> 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 ^ Xm/ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 mfZ)^X 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 ,%A)"doaG 8.15十五层宽带抗反射膜 159 :~vxZ*a 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 ?Fce!J 8.17 1/4波长堆栈 162 X6Un;UL 8.18 陷波滤波器 163 uc 'p]WhQ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 +C'XS{K,# 8.20 褶皱 165 }-d)ms! 8.21 消偏振分光器1 169 T36x=LX 8.22 消偏振分光器2 171 ]53O}sH> 8.23 消偏振立体分光器 172 wAw42{M 8.24 消偏振截止滤光片 173 8s<^]sFP 8.25 立体偏振分束器1 174 A'GlCp 8.26 立方偏振分束器2 177 92ZWU2" 8.27 相位延迟器 178 w'A tf 8.28 红外截止器 179 :d.1;st 8.29 21层长波带通滤波器 180 B1E$v(P3M 8.30 49层长波带通滤波器 181 N*Yy&[ 8.31 55层短波带通滤波器 182 #;`Oj 8.32 47 红外截止器 183 {{32jU7< 8.33 宽带通滤波器 184 K]X`sH: 8.34 诱导透射滤波器 186 fb23J|" 8.35 诱导透射滤波器2 188 Gu5~DyT`G 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 /-Wuq`P/ T 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 bMsECA& 8.35 增益平坦滤波器 193 0mTEim 8.38 啁啾反射镜 1 196 )Nbc/nB$ 8.39 啁啾反射镜2 198 {J2#eiF 8.40 啁啾反射镜3 199 {&-#s#& 8.41 带保护层的铝膜层 200 80|onP\L 8.42 增加铝反射率膜 201 flP>@i:e6 8.43 参考文献 202 "qawq0P8Z 9 多层膜 204 fuMN"T 6%+ 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 _5b0wdB 9.2 内部透过率 204 L x.jrF|& 9.3 内部透射率数据 205 dByjcTPA 9.4 实例 206 :s"2Da3B 9.5 实例2 210 E tx`K5Tr] 9.6 圆锥和带宽计算 212 z$|;-u| 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 ll%G!VR 10 光学薄膜的颜色 216 #F!Kxks 10.1 导言 216 m<{"}4' 10.2 色彩 216 /YFa
;2 W 10.3 主波长和纯度 220 _42Z={pZZq 10.4 色相和纯度 221 vG~+r<: 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 !{(ls< 10.6 色差 226 tw<P)V\h 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 3V}(fnv 10.8 颜色渲染指数 234 7Lg7ei2mN7 10.9 色差计算 235 :m Kxa 10.10 参考文献 236 ? Vp%=E 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 1[ SA15h 11.1 短脉冲 238 +Rqbf 11.2 群速度 239 M\9F:.t= 11.3 群速度色散 241 zJY']8ah 11.4 啁啾(chirped) 245 O#EqG.L5 11.5 光学薄膜—相变 245 e[{mVhg4E 11.6 群延迟和延迟色散 246 8}BS2C%P 11.7 色度色散 246 rLzW` 11.8 色散补偿 249 >aG= T{ 11.9 空间光线偏移 256 ;1`!wG-DD 11.10 参考文献 258 #byJqy&e 12 公差与误差 260 2n)gpLIJ 12.1 蒙特卡罗模型 260 NEVp8)w 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 =((yWn+t 12.2.1 误差工具 267 [jrqzB 12.2.2 灵敏度工具 271 ]g,lRG 12.2.2.1 独立灵敏度 271 xQU"A2{}> 12.2.2.2 灵敏度分布 275 MDHb'<o?y 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 t'g^W 12.3 参考文献 276 @h}`DNaZ^ 13 Runsheet 与Simulator 277 <6jFKA< 13.1 原理介绍 277 XA{F:% 13.2 截止滤光片设计 277 Od{jt7 <j# 14 光学常数提取 289 NYB "jKMk 14.1 介绍 289 % (<(Y 14.2 电介质薄膜 289 dJi|D 14.3 n 和k 的提取工具 295 E'EcP4eL 14.4 基底的参数提取 302 g)R1ObpZ 14.5 金属的参数提取 306 ((<`zx 14.6 不正确的模型 306 0%<+J;'o 14.7 参考文献 311 !9]d|8! 15 反演工程 313 X>zlb$ 15.1 随机性和系统性 313 (0L=AxH 15.2 常见的系统性问题 314 OJ1tV% E 15.3 单层膜 314 %>zjGF< 15.4 多层膜 314 &|
!B!eOY 15.5 含义 319 vHcqEV|P/n 15.6 反演工程实例 319 dv!r. 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 M0w/wt| 15.6.2 反演工程提取折射率 327 xu\eX x6H 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 bL1m'^r 16.1 光学性质的热致偏移 329 C:i|-te 16.2 应力工具 335 U>F{?PReA? 16.3 均匀性误差 339 ~<)vKk 16.3.1 圆锥工具 339 Lm6**v 16.3.2 波前问题 341 aG{$Ic 16.4 参考文献 343 =&vFVIhWcf 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 .H~YI 17.1 引言 345 "2{%JFE 17.2 操作数 345 .L EY=j!-s 18 如何在Function中编写脚本 351 iw\%h9 18.1 简介 351 `A)"%~ 18.2 什么是脚本? 351 zT#`qCbT'J 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 =\3Tv 18.4 基础 352 J7+w4q~cB` 18.4.1 Classes(类别) 352 $,27pkwHeW 18.4.2 对象 352 QDTNx!WL 18.4.3 信息(Messages) 352 gl7|H&&xV 18.4.4 属性 352 X2yTlLdY 18.4.5 方法 353 lAi2,bz" 18.4.6 变量声明 353 rHz||jjU 18.5 创建对象 354 _}gtcyx 18.5.1 创建对象函数 355 )uheV,ZnY 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 d@ Ja}` 18.5.3 丢弃对象 356 N#ioJ^}n: 18.5.4 总结 356 c#cx>wq9 18.6 脚本中的表格 357 'V&Y[7Aeq 18.6.1 方法1 357 M;.ZM<Ga 18.6.2 方法2 357 L'Q<>{;Ig 18.7 2D Plots in Scripts 358 =L]Q2V} 18.8 3D Plots in Scripts 359 GJA`l8`SQ 18.9 注释 360 I#rubAl 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 ",Cr,;] 18.11 一个更高级的脚本 362 n<7q`tM# 18.12 <esc>键 364 bt/ =Kq# 18.13 包含文件 365 r ?m6$ 18.14 脚本被优化调用 366 @n+=vC.xO 18.15 脚本中的对话框 368 'T8W!&$ 18.15.1 介绍 368 s:>\/[*>0c 18.15.2 消息框-MsgBox 368 >BVoHt~; 18.15.3 输入框函数 370 k cuzB+ 18.15.4 自定义对话框 371 =O$M_1lp 18.15.5 对话框编辑器 371 q_[G1&MC 18.15.6 控制对话框 377 \jU |(DE 18.15.7 更高级的对话框 380 kHK0(bYK 18.16 Types语句 384 G}nO@ 18.17 打开文件 385 cr;`Tl~}s 18.18 Bags 387 ^Q}eatEn 18.13 进一步研究 388 }6u2*(TmD 19 vStack 389 s^8u&y)3 19.1 vStack基本原理 389 R[B?C;+(O 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 OFU/gaO~ 19.3 五棱镜 393 MXtkP1A` 19.4 光束距离 396 ~+6Vdxm 19.5 误差 399 )Kd%\PP 19.6 二向分色棱镜 399 6<76H 19.7 偏振泄漏 404 *m+BuGt| 19.8 波前误差—相位 405 =/0=$\Ws 19.9 其它计算参数 405 7:E!b=o# 20 报表生成器 406 G&f8n 20.1 入门 406 pv)`%< 20.2 指令(Instructions) 406 ~FU@wV^ 20.3 页面布局指令 406 kFLB> j97 20.4 常见的参数图和三维图 407 1fU,5+PH 20.5 表格中的常见参数 408 DGESba\2+ 20.6 迭代指令 408 KKe8
ly, 20.7 报表模版 408 XzIx:J6 20.8 开始设计一个报表模版 409 ]; $] G- 21 一个新的project 413 %kshQ%P)? 21.1 创建一个新Job 414 @~td`Z?1y 21.2 默认设计 415 ),}AI/j;zY 21.3 薄膜设计 416 ?#A]{l 21.4 误差的灵敏度计算 420 eGL1 21.5 显色指数计算 422 EbNd=Z'J 21.6 电场分布 424 J Yb}Zw; 后记 426 !~i'
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