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{/}%[cY= 内容简介 fSF_O}kLp Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 SA?lDRF 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 \IaUsx"#o{ 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 b4&l=^:e= 9? y&/D5O 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 !nU|3S[b
目录 ShesJj Preface 1 [\3W_jR 内容简介 2 rS8}(lf 目录 i &WNIL13DK 1 引言 1 $p|Im, 2 光学薄膜基础 2 s}F.D^^G 2.1 一般规则 2 m6uFmU*<M} 2.2 正交入射规则 3 <?>tjCg' 2.3 斜入射规则 6 JNv@MJb} 2.4 精确计算 7 {l"(EeW6) 2.5 相干性 8 7M)<Sv 2.6 参考文献 10 xzHb+1+p 3 Essential Macleod的快速预览 10 `ZU]eAV 4 Essential Macleod的特点 32 ik#ti=. 4.1 容量和局限性 33 wk#cJ`wG; 4.2 程序在哪里? 33 N[A9J7}_R 4.3 数据文件 35 #mYe@[p@ 4.4 设计规则 35 KM"BHaSkF 4.5 材料数据库和资料库 37 @ZRg9M:N 4.5.1材料损失 38 Gz52^O: 4.5.1材料数据库和导入材料 39 `S+n,,l 4.5.2 材料库 41 1-$+@Xl 4.5.3导出材料数据 43 Eh^gR`I 4.6 常用单位 43 EW`3$J; 4.7 插值和外推法 46 R"j<C13;% 4.8 材料数据的平滑 50 T|,/C|L 4.9 更多光学常数模型 54 ~ mz X1[ 4.10 文档的一般编辑规则 55 0V?7'Em 4.11 撤销和重做 56 @?>5~ 4.12 设计文档 57 Oy b0t|do+ 4.10.1 公式 58 M@JW/~p' 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 Hy5 6@jW+E 4.10.3 沉积密度 59 8DX5bB 4.10.4 平行和楔形介质 60 `=S%!akj 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 Z;S)GUG^ 4.10.4 性能 61 d3\KUR^ 4.10.5 保存设计和性能 64 # [
+n( 4.10.6 默认设计 64 #"8'y 4.11 图表 64 +koW3> 4.11.1 合并曲线图 67 ht#,v5oG>f 4.11.2 自适应绘制 68 PjofW%7F 4.11.3 动态绘图 68 H_,4N_hL 4.11.4 3D绘图 69 Sk:x.oOZ 4.12 导入和导出 73 0"Euf41 4.12.1 剪贴板 73 "[-W(= 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 ?9%$g?3Z 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 J:J/AgJuH 4.13 背景 77 k{O bm
g 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 -g:i'e 4.15 生成Rugate 84 %g^:0me` 4.16 参考文献 91 _DAqL@5n 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 yY{ 5.1 Jobs 92 EI)2c.A 5.2 创建一个新Job(工作) 93 ~!M" 5.3 输入材料 94 %mIdQQ, 5.4 设计数据文件夹 95 7nBX@Uo 5.5 默认设计 95 6J_$dzw 6 细化和合成 97 d,o*{sM5d 6.1 优化介绍 97 \%B7M]P 6.2 细化 (Refinement) 98 Al]*iw{ 6.3 合成 (Synthesis) 100 .4l
cES~ 6.4 目标和评价函数 101 {6%-/$LX 6.4.1 目标输入 102 7{l~\]6d 6.4.2 目标 103 x0%yz+i{: 6.4.3 特殊的评价函数 104 ta<8~n^? 6.5 层锁定和连接 104 #
2FrP5rC 6.6 细化技术 104 ^x$1Nf 6.6.1 单纯形 105 _T7XCXEk 6.6.1.1 单纯形参数 106 K"hnGYt? 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 dWu;F^ 6.6.2.1 Optimac参数 108 ktRGl>J 6.6.3 模拟退火算法 109 G*,7pc 6.6.3.1 模拟退火参数 109 3[m2F O,Z 6.6.4 共轭梯度 111 aK]AhOG 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 wCV~9JTJ! 6.6.5 拟牛顿法 112 |lk:(~DM 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 pe>?m ^gz[ 6.6.6 针合成 113 kem(U{m 6.6.6.1 针合成参数 114 o?cNH 6.6.7 差分进化 114 &;`E3$> 6.6.8非局部细化 115 R,BINp 6.6.8.1非局部细化参数 115 F@#p 6.7 我应该使用哪种技术? 116 OT$++cj^ 6.7.1 细化 116 )/Gi-:: 6.7.2 合成 117 P!IXcPKW53 6.8 参考文献 117 mB6%. " 7 导纳图及其他工具 118 /{P-WRz> 7.1 简介 118 zD<8.AIGC 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 :6u.\u 7.2.1 四分之一波长规则 119 r:Q=6j, 7.2.2 导纳图 120 B9Wd
' 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 G'';VoW= 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 I~Qi):&x 7.5 斜入射导纳图 141 |7 Ab_ 7.6 对称周期 141 LU8:]zOY 7.7 参考文献 142 [Q\(kd*4 8 典型的镀膜实例 143 (uy\~Zb 8.1 单层抗反射薄膜 145 i2;,\FI@t% 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 *cCj*Zr] 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 Sqyju3Yp 8.4 W-膜层 148 F- M)6&T 8.5 V-膜层 149 9'e<{mlM 8.6 V-膜层高折射基底 150 CN}0( 2n 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 J\p-5[E 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 R3LIN-g( 8.9 四层抗反射薄膜 153 B52dZ b 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 vlipB} 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 tA,J~|+f: 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 *~*"p)`< 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 U[OUIXUi 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 (<@`MPI\@ 8.15十五层宽带抗反射膜 159 `s3:Vsv4 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 YfMs~}h, 8.17 1/4波长堆栈 162 qn,fx6v4 8.18 陷波滤波器 163 "`%UC# 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 ep Dp* 8.20 褶皱 165 Q`Q"p 8.21 消偏振分光器1 169 TZ3gJ6 Cb 8.22 消偏振分光器2 171 VR A+p?7- 8.23 消偏振立体分光器 172 {x[C\vZsi] 8.24 消偏振截止滤光片 173 m(EVC}Y 8.25 立体偏振分束器1 174 SQ]M"&\{y 8.26 立方偏振分束器2 177 ,2i1 4H 8.27 相位延迟器 178 &.#dZ}J 8.28 红外截止器 179 ne 3t|JZ 8.29 21层长波带通滤波器 180 )q\6pO@ 8.30 49层长波带通滤波器 181 }odjaM}5Nc 8.31 55层短波带通滤波器 182 AAKc8{ 8.32 47 红外截止器 183 .3@Pz]\M#> 8.33 宽带通滤波器 184 %qqeL 8.34 诱导透射滤波器 186 'z)cieFKP 8.35 诱导透射滤波器2 188 @`Dh7Q 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 3H4T*&9;n 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 ,S@B[+VZ 8.35 增益平坦滤波器 193 zwP*7u$CH 8.38 啁啾反射镜 1 196 <Lt"e8Z> x 8.39 啁啾反射镜2 198 fA[T5<66 8.40 啁啾反射镜3 199 4cJ/XgX 8.41 带保护层的铝膜层 200 Ge=\IAj 8.42 增加铝反射率膜 201 C7}iwklcsa 8.43 参考文献 202 RzFxO 9 多层膜 204 =4U$9jo!; 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 '"ze Im~ 9.2 内部透过率 204 SJi;_bVf 9.3 内部透射率数据 205 ] \!,yiVeU 9.4 实例 206 v |pHbX 9.5 实例2 210 &Fjyi"8(r 9.6 圆锥和带宽计算 212 %|f@WxNrU 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 i.eMrzJ| 10 光学薄膜的颜色 216 E8<,j})* 10.1 导言 216 /q7$"wP 10.2 色彩 216 xo n^=Wo; 10.3 主波长和纯度 220 ]@}hyM[D; 10.4 色相和纯度 221 h uR ^l 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 se}$/Y}t 10.6 色差 226 A@4{-e\ 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 "GJ.`Hj 10.8 颜色渲染指数 234 Tn(uH17 10.9 色差计算 235 PpNG`_O 10.10 参考文献 236 1|>bG#| 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 +JXn 11.1 短脉冲 238
J9y}rGO 11.2 群速度 239 MU:v& sk 11.3 群速度色散 241 !|9k&o 11.4 啁啾(chirped) 245 f'`y-]"V5) 11.5 光学薄膜—相变 245 -rHqU| 11.6 群延迟和延迟色散 246 {!wd5C@ 11.7 色度色散 246 )|5mW 11.8 色散补偿 249 I?%#`Rvu 11.9 空间光线偏移 256 4$ah~E>,t 11.10 参考文献 258 r&:yZN 12 公差与误差 260 bX5/xf$q 12.1 蒙特卡罗模型 260 73{<;z}i 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 Gf9O\wrs 12.2.1 误差工具 267 *TCV}=V G 12.2.2 灵敏度工具 271 hQNUA|Q=% 12.2.2.1 独立灵敏度 271 Wg8*;dvtM 12.2.2.2 灵敏度分布 275 c]qh)F$s8 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 9\kEyb$F= 12.3 参考文献 276 _(8N*q*w 13 Runsheet 与Simulator 277 yLl:G; 13.1 原理介绍 277 X76rme 13.2 截止滤光片设计 277 %j{*`} 14 光学常数提取 289 * <?KOM 14.1 介绍 289 XB:E<I'q!3 14.2 电介质薄膜 289 }?O>.W,/ 14.3 n 和k 的提取工具 295 [<Mls@? 14.4 基底的参数提取 302 9o]!D,u8=5 14.5 金属的参数提取 306 }wJH@'0+ 14.6 不正确的模型 306 qS
ggZ0* 14.7 参考文献 311 zY-?Bv_D 15 反演工程 313 ,Hp7`I>/ 15.1 随机性和系统性 313 hVJ}EF0 15.2 常见的系统性问题 314 ^(BE_<~ 15.3 单层膜 314 r $ YEq5 15.4 多层膜 314 ?f!&M 15.5 含义 319 >{Xyl): 15.6 反演工程实例 319 H6KBXMYO 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 fN9uSnu
15.6.2 反演工程提取折射率 327 O>"
|5wj 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 _BCq9/ 16.1 光学性质的热致偏移 329 1p<*11 16.2 应力工具 335 DV*e.Y> 16.3 均匀性误差 339 c s:E^ 16.3.1 圆锥工具 339 ZK<c(,oZ^ 16.3.2 波前问题 341 e{^lD.E 16.4 参考文献 343 6!=q+sw/X 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 azRp4~2? 17.1 引言 345 ndk~(ex|j 17.2 操作数 345 ItZ*$I1< 18 如何在Function中编写脚本 351 4]xD-sc 18.1 简介 351 p>+Q6o9O 18.2 什么是脚本? 351 qmNG|U& 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 v9#F\ F/ 18.4 基础 352 bJynUZ 18.4.1 Classes(类别) 352 ^^YP kh6sS 18.4.2 对象 352 nY?&k$n 18.4.3 信息(Messages) 352 LF+E5{=:R 18.4.4 属性 352 (SA^>r 18.4.5 方法 353 $"6Gv 18.4.6 变量声明 353 H}8kku>7 18.5 创建对象 354 %P C[-(Q
18.5.1 创建对象函数 355 Pv*]AF;9pQ 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 /7ykmW 18.5.3 丢弃对象 356 fOP3`G^\ 18.5.4 总结 356 C[><m2T 18.6 脚本中的表格 357 /8 "rCh|m- 18.6.1 方法1 357 ^pqJz^PO. 18.6.2 方法2 357 0])[\O`j 18.7 2D Plots in Scripts 358 Pa?C-Xn^ 18.8 3D Plots in Scripts 359 F U)=+m 18.9 注释 360 ih: XC 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 fW=eB'Sl 18.11 一个更高级的脚本 362 =yPV9#(I/ 18.12 <esc>键 364 E7I$GD 18.13 包含文件 365 D&DbxTi 18.14 脚本被优化调用 366 L} K8cB 18.15 脚本中的对话框 368 p]7IoO
-@ 18.15.1 介绍 368 ( yB]$ 18.15.2 消息框-MsgBox 368 HY(XI u 18.15.3 输入框函数 370 +.uQToqy 18.15.4 自定义对话框 371 .F/s( 18.15.5 对话框编辑器 371 z]&?}o 18.15.6 控制对话框 377 BP1<:T'.q` 18.15.7 更高级的对话框 380 xX.{(er 18.16 Types语句 384 X]=8Oa 18.17 打开文件 385 uSH_=^yTQ 18.18 Bags 387 8KsPAK_ 18.13 进一步研究 388 a/[)A _- 19 vStack 389 $M$-c{>s 19.1 vStack基本原理 389 fGWXUJ 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 a&7uRR26 19.3 五棱镜 393 nW
oh(a 19.4 光束距离 396 {/qQ=$t 19.5 误差 399 StiWa<"c 19.6 二向分色棱镜 399 eAjsMED 19.7 偏振泄漏 404 !%N@>[ 19.8 波前误差—相位 405 hV
fANbs 19.9 其它计算参数 405 hUEA)c 20 报表生成器 406 dq0!.gBT2 20.1 入门 406 $KP;9 20.2 指令(Instructions) 406 )^
P Wr^ 20.3 页面布局指令 406 msQ?V&+< 20.4 常见的参数图和三维图 407 iV!V!0- @ 20.5 表格中的常见参数 408 -wh 20.6 迭代指令 408 ~y,m7%L 20.7 报表模版 408 'LR|DS[Ne 20.8 开始设计一个报表模版 409 ,vAcri
97 21 一个新的project 413 bRr3:"=sE 21.1 创建一个新Job 414 h05<1>?| 21.2 默认设计 415 1*.*\4xo 21.3 薄膜设计 416 PZI6{KOis 21.4 误差的灵敏度计算 420
?P/73p 21.5 显色指数计算 422 IsDwa qd| 21.6 电场分布 424 8Y:x+v5 后记 426
*U`R<mV\ 有兴趣扫码加微联系 3PlIn0+LX
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