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C,(j$Id 内容简介 \:h0w;34O Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 A^t"MYX@ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 c|+y9(0|y 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 i:{:xKiC a \Me"'.F? 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 j+ I*Xw 目录 y=wdR|b Preface 1 !@A|L#* 内容简介 2 3#B@83C0Z 目录 i vWuyft* 1 引言 1 JLml#Pu4 2 光学薄膜基础 2 Ls(&HOK[p 2.1 一般规则 2 pRb<wt7v 2.2 正交入射规则 3 ["<5?!bU 2.3 斜入射规则 6 yX`J7O{= 2.4 精确计算 7 fG3wc
l~ 2.5 相干性 8 M`(;>Kp7 2.6 参考文献 10 M.X}K7Z_/ 3 Essential Macleod的快速预览 10 $G)&J2zL 4 Essential Macleod的特点 32 + 2OZJVJ 4.1 容量和局限性 33 aE}=^%D 4.2 程序在哪里? 33 1R*1BStc 4.3 数据文件 35 N-Qu/,~+ 4.4 设计规则 35 FXcc1X/ 4.5 材料数据库和资料库 37 z_'dRw 4.5.1材料损失 38 Oxpo6G 4.5.1材料数据库和导入材料 39 C"(_mW{@ 4.5.2 材料库 41 3Sk5I% 4.5.3导出材料数据 43 ybC-f'0 4.6 常用单位 43 \
=S3 L< 4.7 插值和外推法 46 AwtIWH*e 4.8 材料数据的平滑 50 *13g<#$ 4.9 更多光学常数模型 54 x-tm[x@;o 4.10 文档的一般编辑规则 55 Ct-rD79l 4.11 撤销和重做 56 ^kc>m$HY 4.12 设计文档 57 uQO(?nCi 4.10.1 公式 58 .V7Y2!4TE 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 fi5YMYd1 4.10.3 沉积密度 59
xAeZ7. Q& 4.10.4 平行和楔形介质 60 SlR7h$r' 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 b!0'Qidh0 4.10.4 性能 61 XC
:;Rq'j 4.10.5 保存设计和性能 64 cPV5^9\T 4.10.6 默认设计 64 "4KkKi 4.11 图表 64 }klE0<W|5\ 4.11.1 合并曲线图 67 | pF5`dX 4.11.2 自适应绘制 68 V|+ `L- 4.11.3 动态绘图 68 MiRibHXI, 4.11.4 3D绘图 69 N'htcC 4.12 导入和导出 73 8}Fw%;Cb 4.12.1 剪贴板 73 od;Bb 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 9Ilfv 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 _3s~!2 4.13 背景 77 pK-_R# 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 ^qE<yn 4.15 生成Rugate 84 .`:oP&9r 4.16 参考文献 91 #FrwfJOV 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 5cPSv?x^F@ 5.1 Jobs 92 XYz,NpK 5.2 创建一个新Job(工作) 93 xgZV0!% 5.3 输入材料 94 er&uC4Y]a 5.4 设计数据文件夹 95 Y{+zg9L* 5.5 默认设计 95 =>gyc;{2K< 6 细化和合成 97 !%SdTaC{T 6.1 优化介绍 97 yg]suU<z] 6.2 细化 (Refinement) 98 0sq=5 BnO 6.3 合成 (Synthesis) 100 67Af} >Q 6.4 目标和评价函数 101 W;xW:
- 6.4.1 目标输入 102 O|A~dj` 6.4.2 目标 103 s:-8 Z\, 6.4.3 特殊的评价函数 104 ;u4@iN}p 6.5 层锁定和连接 104 x@{G(W:W 6.6 细化技术 104 *+_fP |cv 6.6.1 单纯形 105 =; ~%L 6.6.1.1 单纯形参数 106 oO! 1 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 dSA
[3V 6.6.2.1 Optimac参数 108 M="WUe_ 6.6.3 模拟退火算法 109 1puEP*P 6.6.3.1 模拟退火参数 109 {hW
+^ 6.6.4 共轭梯度 111 xiOv$.@q 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 .0R/'!e 6.6.5 拟牛顿法 112 f;@b
a[ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 4~]8N@Bii 6.6.6 针合成 113 w7=D6` 6.6.6.1 针合成参数 114 |TQedC 6.6.7 差分进化 114 P#vv+]/ 6.6.8非局部细化 115 N}.Q%&6: 6.6.8.1非局部细化参数 115 ,d9%Ce.$2 6.7 我应该使用哪种技术? 116 a"v"n$ 6.7.1 细化 116 lOowMlf@2 6.7.2 合成 117 ?{ 8sT-Z-L 6.8 参考文献 117 (hRgYwUa< 7 导纳图及其他工具 118 f)u*Q!BDD 7.1 简介 118 u8{@PlS 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 Mipm&5R 7.2.1 四分之一波长规则 119 tk3<sr"IQ 7.2.2 导纳图 120 9TbS>o 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 {WM& 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 ,q'gG`M
N 7.5 斜入射导纳图 141 IGF37';; 7.6 对称周期 141 NIWI6qCw 7.7 参考文献 142 e"v[)b++Y 8 典型的镀膜实例 143 LX(iuf+l 8.1 单层抗反射薄膜 145 ~vjr;a(B 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 clR?< LO 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 k#IS,NKE 8.4 W-膜层 148 M<M#<kD 8.5 V-膜层 149 Z;"4$@|qE 8.6 V-膜层高折射基底 150 ?@g;[310` 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 LS2ek*FJO 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 _x,-d|9bd 8.9 四层抗反射薄膜 153 Ht=6P) 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 rlUdAa3 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 !S >|Qh 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 :#Ex3H7 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 dc\u$'F@S 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 =Nv=Q mO 8.15十五层宽带抗反射膜 159 >H=Q$gI 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 "t%1@b*u 8.17 1/4波长堆栈 162 ZB_16&2Ow 8.18 陷波滤波器 163 Nak'g/uP> 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 ?-.Ep0/ 8.20 褶皱 165 cciAMQhA 8.21 消偏振分光器1 169 +qSr=Y:+ 8.22 消偏振分光器2 171 o?Tp=Ge 8.23 消偏振立体分光器 172 qqz,~EhC 8.24 消偏振截止滤光片 173 t7*H8 8.25 立体偏振分束器1 174 G\,A> mT/P 8.26 立方偏振分束器2 177 xP5mL3j 8.27 相位延迟器 178 Cr
V2 V)|G 8.28 红外截止器 179 die2<'\4% 8.29 21层长波带通滤波器 180 1
">d|oC 8.30 49层长波带通滤波器 181 esC\R4he 8.31 55层短波带通滤波器 182 BhE~k?$9 8.32 47 红外截止器 183 jt10gVC 8.33 宽带通滤波器 184 MLv.v&@S 8.34 诱导透射滤波器 186 o,''f_tRQ| 8.35 诱导透射滤波器2 188 qeK 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 d6d(?" 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 3qxG?G N 8.35 增益平坦滤波器 193 "ZJ1`R=Mj 8.38 啁啾反射镜 1 196 .^N#|hp^ 8.39 啁啾反射镜2 198 (-Ct!aW| 8.40 啁啾反射镜3 199 EkB6- nz 8.41 带保护层的铝膜层 200 thm3JfQt 8.42 增加铝反射率膜 201 qY~$wVY( 8.43 参考文献 202 SFk11 9 多层膜 204 .5[LQR 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 ,TfI 9.2 内部透过率 204 Y4~wNs6 9.3 内部透射率数据 205 [nPzhXs 9.4 实例 206 Sfr\%Buv 9.5 实例2 210 /YugQ.>| l 9.6 圆锥和带宽计算 212 , C@hTOT 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 X^_+%U 10 光学薄膜的颜色 216 I;11j 10.1 导言 216
VjB`~ 10.2 色彩 216 _F/lY\vm 10.3 主波长和纯度 220 ZNH*[[Pf 10.4 色相和纯度 221 5 dNf$a0E 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 ]x(2}h^S 10.6 色差 226 m9<[bEO<$ 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 -JQg ~1 10.8 颜色渲染指数 234 )zLS,/pk^ 10.9 色差计算 235 4-nr_
WCm4 10.10 参考文献 236 {@K2WB 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 i>if93mpj 11.1 短脉冲 238 ,,H$>r_; 11.2 群速度 239 v`ZusHJ1d 11.3 群速度色散 241 |`t!aG8 11.4 啁啾(chirped) 245 W!4V:(T 11.5 光学薄膜—相变 245 /&!d 11.6 群延迟和延迟色散 246 +_XbHjhN/ 11.7 色度色散 246 Sp$x%p0 11.8 色散补偿 249 m[Ac'la 11.9 空间光线偏移 256 :mtw}H 'F8 11.10 参考文献 258 % x*Ec[l
12 公差与误差 260 DEwtP 12.1 蒙特卡罗模型 260 F+y`4>x 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 5@Lxbe(
q 12.2.1 误差工具 267 \A\yuJ= 12.2.2 灵敏度工具 271 UE#Ni 5 12.2.2.1 独立灵敏度 271 g(Xg%&@KZ 12.2.2.2 灵敏度分布 275 Py25k 0j! 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 $Ex 9 12.3 参考文献 276 RW PdS 13 Runsheet 与Simulator 277 dV=5_wXZ$ 13.1 原理介绍 277 -S3+
h$Y8 13.2 截止滤光片设计 277 <%#y^_ 14 光学常数提取 289 A"3&EuvU 14.1 介绍 289 [oN> : 14.2 电介质薄膜 289 $\@ V4 14.3 n 和k 的提取工具 295 Q]g 4gj 14.4 基底的参数提取 302 >]Yha}6h 14.5 金属的参数提取 306 #IrP"j^ 14.6 不正确的模型 306 '%RK KA 14.7 参考文献 311 56
kgL;$h 15 反演工程 313 e%c5OZ3~ 15.1 随机性和系统性 313 ~$ qJw?r
15.2 常见的系统性问题 314 N[bf.5T 15.3 单层膜 314 -r'seb5 15.4 多层膜 314 Oi[9b 15.5 含义 319 wukos5 15.6 反演工程实例 319 lgqL)^8A 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 [
EID27P 15.6.2 反演工程提取折射率 327 q.b4m 'J 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 {2clOUi 16.1 光学性质的热致偏移 329 `FB?cPR 16.2 应力工具 335 MH8%-UV 16.3 均匀性误差 339 HN~4-6[q 16.3.1 圆锥工具 339 ec[[OIO 16.3.2 波前问题 341 v*fc5"3eO 16.4 参考文献 343 -+_aL4. 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 0#{]!>R 17.1 引言 345 7>@/*S{X 17.2 操作数 345 p'!,F; xX 18 如何在Function中编写脚本 351 2Yd~v| 18.1 简介 351 sr@XumT 18.2 什么是脚本? 351 ]9< 9F ? 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 -qP[$Q 18.4 基础 352 W
(c\$2` 18.4.1 Classes(类别) 352 O8N0 ]Mz 18.4.2 对象 352 la{uJ9Iw@} 18.4.3 信息(Messages) 352 `b`52b\6S 18.4.4 属性 352 *]{I\rX 18.4.5 方法 353 St&H |