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O"+gQXe 内容简介 &.F4b~A7 Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 h!,v/7= 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 a)!o @ 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 av(6wht8 HRpte=`q 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 cQjv$$&6[ 目录 !@5 9) Preface 1 ^23~ZHu 内容简介 2 b;L\EB 目录 i ~EW(Gs!=C 1 引言 1 ,10= 2 光学薄膜基础 2 0RzEY!9g+ 2.1 一般规则 2 l&[O 2.2 正交入射规则 3 05|=`eJ 2.3 斜入射规则 6 {% 6}' 2.4 精确计算 7 ]|#+zx|/D 2.5 相干性 8 @s*-%N^:[L 2.6 参考文献 10 [=C6U_vU 3 Essential Macleod的快速预览 10 g/4[N{Xf 4 Essential Macleod的特点 32 O/^%2mG 4.1 容量和局限性 33 //B&k`u 4.2 程序在哪里? 33 pG_;$8Hc 4.3 数据文件 35 ]iVcog"T 4.4 设计规则 35 }ZYd4h|g\z 4.5 材料数据库和资料库 37 ^"E^zHM( 4.5.1材料损失 38 Q;Ak4[ 4.5.1材料数据库和导入材料 39 +tB=OwU%0 4.5.2 材料库 41 rDtY[ 4.5.3导出材料数据 43 }f%} v 4.6 常用单位 43 C-xr"]#] 4.7 插值和外推法 46 *9
{PEx 4.8 材料数据的平滑 50 O}gV`q; 4.9 更多光学常数模型 54 &{5,:%PXw 4.10 文档的一般编辑规则 55 5#6|j?_a 4.11 撤销和重做 56 WH%g(6w1j 4.12 设计文档 57 Fk7?xc 4.10.1 公式 58 H;is/ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 *YI98 4.10.3 沉积密度 59 XE RUo 4.10.4 平行和楔形介质 60 /|w6:;$;mn 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 oE@a'*.\ 4.10.4 性能 61 $B+8Of 4.10.5 保存设计和性能 64 t}a: p6D] 4.10.6 默认设计 64 _1X!EH" 4.11 图表 64 m<G,[Yc 4.11.1 合并曲线图 67 ?Rb9|`6 4.11.2 自适应绘制 68 P.se'z)E 4.11.3 动态绘图 68 j{ ]I]\=? 4.11.4 3D绘图 69 ]Ee?6]bN 4.12 导入和导出 73 h#I>M`| 4.12.1 剪贴板 73 _>?\DgjH 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 _{ue8kGt 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 Mc
lkEfn 4.13 背景 77 ]2A^1Del 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 >fG3K` 4.15 生成Rugate 84 UsG~row:! 4.16 参考文献 91 @)F )S7 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 KRbvj 5.1 Jobs 92 !vi>U|rh 5.2 创建一个新Job(工作) 93 `?H]h"{7Q 5.3 输入材料 94 +.8
\p5 5.4 设计数据文件夹 95 te`$%NRl 5.5 默认设计 95 @/~omg}R 6 细化和合成 97 iO{hA 6.1 优化介绍 97 Y;eZ9|Ht9 6.2 细化 (Refinement) 98 %fZJRu
1b 6.3 合成 (Synthesis) 100 Y>z>11yEB0 6.4 目标和评价函数 101 ZmqKQO 6.4.1 目标输入 102 ]OhiYU4 6.4.2 目标 103 &A/]pi-\ 6.4.3 特殊的评价函数 104 /V8#[9K 6.5 层锁定和连接 104 1UgEI"#a6g 6.6 细化技术 104 G&SB- 6.6.1 单纯形 105 T wB}l 6.6.1.1 单纯形参数 106 Eh`7X=Z7E 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 2>9C-VL2 6.6.2.1 Optimac参数 108 )CYGQMK 6.6.3 模拟退火算法 109 KM0ru 6.6.3.1 模拟退火参数 109 T.F!+ 6.6.4 共轭梯度 111 g9pZ\$J& 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 yf)%%& 6.6.5 拟牛顿法 112 yF:1( 4 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 T~?Ff|qFC 6.6.6 针合成 113 S>+|OCl"; 6.6.6.1 针合成参数 114 OKZV{Gja 6.6.7 差分进化 114 umfD>" ^I 6.6.8非局部细化 115 D8Ic?:iX[ 6.6.8.1非局部细化参数 115 `RT>}_j 6.7 我应该使用哪种技术? 116 4KAZ ': 6.7.1 细化 116 iU918!!N 6.7.2 合成 117 ]EbM9Fo-U 6.8 参考文献 117 A QU+mo 7 导纳图及其他工具 118 )}R0Y=e 7.1 简介 118 ;O5zUl-` 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 S7 2+d%$ 7.2.1 四分之一波长规则 119 Y Uc+0 7.2.2 导纳图 120 , pfG 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 S}3fr^{. 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 bP#:Oi0v` 7.5 斜入射导纳图 141 \w>y`\6mX 7.6 对称周期 141 "Y.tht H 7.7 参考文献 142 2|y"!JqE1 8 典型的镀膜实例 143 m 0C@G5 8.1 单层抗反射薄膜 145 hag$GX'2k 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 @7c?xQVd$ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 !n!*/[}X 8.4 W-膜层 148 ,t744k') 8.5 V-膜层 149 2nObl'ec 8.6 V-膜层高折射基底 150 g =hg%gRy" 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 s)t@ol 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 -IudgO] 8.9 四层抗反射薄膜 153 j_[tu!~ 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 octL"t8w 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 A2FYBM`Q&D 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 sdrfsrNvB- 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 =s{> Fsm1 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 3%|&I:tI 8.15十五层宽带抗反射膜 159 aK~8B_5k8 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 ]A`n(
"% 8.17 1/4波长堆栈 162 @bLy,Xr& 8.18 陷波滤波器 163 }#+^{P3 ; 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 r<EY]f^`u 8.20 褶皱 165 iVr J Q 8.21 消偏振分光器1 169 jd"@t*ZV 8.22 消偏振分光器2 171 U>SShpmZA 8.23 消偏振立体分光器 172 T<>,lQs(a 8.24 消偏振截止滤光片 173 z6P$pqyF 8.25 立体偏振分束器1 174 y<3-?}.aZ 8.26 立方偏振分束器2 177 1H`,WQ1mG 8.27 相位延迟器 178 {fM'6;ak 8.28 红外截止器 179
8W7J3{d 8.29 21层长波带通滤波器 180 DfD&)tsMQ 8.30 49层长波带通滤波器 181 ^
+\dz 8.31 55层短波带通滤波器 182 hfB%`x#akQ 8.32 47 红外截止器 183 {TROoX~H? 8.33 宽带通滤波器 184 MchA{p&Ol 8.34 诱导透射滤波器 186 YP<ms 8.35 诱导透射滤波器2 188 ^DLfY-F+j 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 |-ALklXr 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 e%M;?0j 8.35 增益平坦滤波器 193 d1T!+I 8.38 啁啾反射镜 1 196 ,qwuLBW 8.39 啁啾反射镜2 198 C): 1?@ 8.40 啁啾反射镜3 199 ]/6z;
~3U 8.41 带保护层的铝膜层 200 G*MUO#_iuh 8.42 增加铝反射率膜 201 o/)h"i0P 8.43 参考文献 202 G_JA-@i% 9 多层膜 204 Y@iS_lR 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 RB\uK
1+ 9.2 内部透过率 204 y^*~B(T{ 9.3 内部透射率数据 205 r5/0u(\LB 9.4 实例 206 29b9`NXt 9.5 实例2 210 f~[7t:WD* 9.6 圆锥和带宽计算 212 gJ{)-\ 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 ?^{Ah}x 10 光学薄膜的颜色 216 P+sW[: 10.1 导言 216 kTB0b*V 10.2 色彩 216 C )
s5D 10.3 主波长和纯度 220 n@i HFBb 10.4 色相和纯度 221 -2[a2^a' 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 Zi
i 10.6 色差 226 v?$:@9pAk 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 Fm 2AEs\ 10.8 颜色渲染指数 234 w9imKVry 10.9 色差计算 235 qDIZJh 10.10 参考文献 236 3hH<T.@) 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 V!=,0zy~Z 11.1 短脉冲 238 B 3I`40# 11.2 群速度 239 B9 uoVcW 11.3 群速度色散 241 0d&6lqTo 11.4 啁啾(chirped) 245 / SB;Von 11.5 光学薄膜—相变 245
(ZizuHC 11.6 群延迟和延迟色散 246 Vb_4f" 11.7 色度色散 246 BU_nh+dF 11.8 色散补偿 249 T^KKy0ZGM 11.9 空间光线偏移 256 ^x,YW]AS} 11.10 参考文献 258 cT,sh~-x, 12 公差与误差 260 2zb"MEOS5 12.1 蒙特卡罗模型 260 Il'fL'3 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 ~
7s!VR 12.2.1 误差工具 267 kevrsV]/$ 12.2.2 灵敏度工具 271 4VSU8tK|N] 12.2.2.1 独立灵敏度 271 \b x$i* 12.2.2.2 灵敏度分布 275 ?`ZUR&
20 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 tWRC$ 12.3 参考文献 276 x;d6vBTUb 13 Runsheet 与Simulator 277 F41=b4/ 13.1 原理介绍 277 S\=Nn7" 13.2 截止滤光片设计 277 VONDc1%ga 14 光学常数提取 289 T5h
H 14.1 介绍 289
t{96p77)= 14.2 电介质薄膜 289 Yq
KCeg 14.3 n 和k 的提取工具 295 5;EvNu 14.4 基底的参数提取 302 _D tV 14.5 金属的参数提取 306 *]X'( /b_ 14.6 不正确的模型 306 HZge!Yp< 14.7 参考文献 311 Rm( "=( 15 反演工程 313 &8lZNv8;(p 15.1 随机性和系统性 313 +e``OeXog 15.2 常见的系统性问题 314 |{ip T SH 15.3 单层膜 314 yN-9[P8C 15.4 多层膜 314 MTn{d 15.5 含义 319 7.oM J 15.6 反演工程实例 319 "to;\9lP 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 mzgfFNm^G) 15.6.2 反演工程提取折射率 327 ?@86P|19 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 4Nsp<Kn> 16.1 光学性质的热致偏移 329 4WB0Pt{ 16.2 应力工具 335 hVY$;s 16.3 均匀性误差 339 (LCfUI6; 16.3.1 圆锥工具 339 $UwCMPs X 16.3.2 波前问题 341 Zh~'9 JH 16.4 参考文献 343 9*M,R,y 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 z{QqY.Gu{G 17.1 引言 345 TLH1>pY& 17.2 操作数 345 a7opCmL 18 如何在Function中编写脚本 351 g_bLl)g< 18.1 简介 351 'g\4O3&_ 18.2 什么是脚本? 351 _[BP0\dPW 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 /n&&Um\ 18.4 基础 352 ;xTpE2 -~ 18.4.1 Classes(类别) 352 e0 ecD3 18.4.2 对象 352 '&b+R`g' 18.4.3 信息(Messages) 352 !N^@4* 18.4.4 属性 352 h?U
O&( 18.4.5 方法 353 d=/F}yP~?s 18.4.6 变量声明 353 +}AI@+
18.5 创建对象 354 dZuOrTplA 18.5.1 创建对象函数 355 z1a7*)8P 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 $??I/6 18.5.3 丢弃对象 356 n$R)>nY 18.5.4 总结 356 A#,ZUOPGH 18.6 脚本中的表格 357 c+ie8Q! 18.6.1 方法1 357 2\$oV 18.6.2 方法2 357 %BODkc Zh 18.7 2D Plots in Scripts 358 ca9X19NG 18.8 3D Plots in Scripts 359 sLk-x\P]| 18.9 注释 360 DY*N|OnqJ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 lOp`m8_= 18.11 一个更高级的脚本 362 (9)Q ' 'S 18.12 <esc>键 364 6S#Cl>v 18.13 包含文件 365 p#tI;"\y 18.14 脚本被优化调用 366 l]SX@zTb 18.15 脚本中的对话框 368 x{n=;JD 18.15.1 介绍 368 pgo$61 18.15.2 消息框-MsgBox 368 Z_NCD`i; 18.15.3 输入框函数 370 fP1!)po 18.15.4 自定义对话框 371 :4|4 =mkr 18.15.5 对话框编辑器 371 \U_@S. 18.15.6 控制对话框 377 '3;b@g, 18.15.7 更高级的对话框 380 rm_Nn8p, 18.16 Types语句 384 :(%5:1W 18.17 打开文件 385 j8gdlIx 18.18 Bags 387 iy"*5<;*DD 18.13 进一步研究 388 '+
?X 19 vStack 389 mE[y SrV 19.1 vStack基本原理 389 O/LXdz0B 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 eS!/(#T 19.3 五棱镜 393 ;*J 19.4 光束距离 396 7HWmCaa[ 19.5 误差 399 pR_9NfV{ 19.6 二向分色棱镜 399 wIgS3K 19.7 偏振泄漏 404 AXB7oV,xt 19.8 波前误差—相位 405 uAk.@nfiEv 19.9 其它计算参数 405 7EJ+c${e.- 20 报表生成器 406 Hr C+Yjp 20.1 入门 406 O.M1@w] 20.2 指令(Instructions) 406 Y/oHu@
_ 20.3 页面布局指令 406 x1a:u 20.4 常见的参数图和三维图 407 qP
,EBE 20.5 表格中的常见参数 408 lquLT6] 20.6 迭代指令 408 nt<]d\o0 20.7 报表模版 408 pfPz8L.7 20.8 开始设计一个报表模版 409 CJyevMf' 21 一个新的project 413 1;iUWU1@ 21.1 创建一个新Job 414 .)3 <Q}> 21.2 默认设计 415 18Emi<&A 21.3 薄膜设计 416 /{2,zW 21.4 误差的灵敏度计算 420 \. S/| 21.5 显色指数计算 422 !IR6
,A\ 21.6 电场分布 424 n"8Yv~v*2j 后记 426 3g
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