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内容简介 [u
M-0t Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 |E@djosyC 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 Kmz7c| 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 8i}<
k$S J:j<"uPm 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 4v'A\~ZU 目录 }P9Ap3? Preface 1 '9?;"=6( 内容简介 2 zf [`~g 目录 i kforu!C 1 引言 1 in-C/m# 2 光学薄膜基础 2 Xm1[V& 2.1 一般规则 2 LfLFu9#:w 2.2 正交入射规则 3 is?2DcSl5 2.3 斜入射规则 6 }fR,5|~X 2.4 精确计算 7 Ucdj4[/,h 2.5 相干性 8 Ae uX Qt 2.6 参考文献 10 WO</Mw 3 Essential Macleod的快速预览 10 3WY$WRv 4 Essential Macleod的特点 32 aqU'
T 4.1 容量和局限性 33 zsXoBD\h 4.2 程序在哪里? 33 <spZ! #o 4.3 数据文件 35 Yw;D:Y( 4.4 设计规则 35 r\`+R" 4.5 材料数据库和资料库 37 1w(JEqY3h: 4.5.1材料损失 38 P
u0uKE 4.5.1材料数据库和导入材料 39 $2~\eG=u H 4.5.2 材料库 41 !T,AdNa8 4.5.3导出材料数据 43 >q~l21dUi 4.6 常用单位 43 w$Ot{i|$( 4.7 插值和外推法 46 AJ^#eY5 4.8 材料数据的平滑 50 )yK[ Zb[ 4.9 更多光学常数模型 54 8qEK+yi, 4.10 文档的一般编辑规则 55 cLY c6 4.11 撤销和重做 56 ;Xvp6.: 4.12 设计文档 57 b6(p 4.10.1 公式 58 dq1:s1 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 {<>K]P~wD 4.10.3 沉积密度 59 X|D!VX>#! 4.10.4 平行和楔形介质 60 JwnQ0
e 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 )6KMHG 4.10.4 性能 61 gk[{2HgN 4.10.5 保存设计和性能 64 KInk^`C/H 4.10.6 默认设计 64 YC_5YY(k 4.11 图表 64 aVL=K 4.11.1 合并曲线图 67 YXurYwV 4.11.2 自适应绘制 68 Mb1t:Xf^g 4.11.3 动态绘图 68 `+:.L>5([ 4.11.4 3D绘图 69 iJ' xh n 4.12 导入和导出 73 {gNV[45 4.12.1 剪贴板 73 7!y5
SX8C 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 jOpcV|2 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 qn1255fB 4.13 背景 77 2Qp Hvsl_ 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 %?^6).aEK 4.15 生成Rugate 84 z@Q@^
&0Mr 4.16 参考文献 91 [%Bf<
J< 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 $;M:TpX 5.1 Jobs 92 mGUO6>g 5.2 创建一个新Job(工作) 93 ,#d? _?/:O 5.3 输入材料 94 `LAR@a5i 5.4 设计数据文件夹 95 x_Jwd^`t! 5.5 默认设计 95 4wd&55=2 6 细化和合成 97 8}X5o]Mv 6.1 优化介绍 97 ;w|b0V6 6.2 细化 (Refinement) 98 P}ok*{"J<> 6.3 合成 (Synthesis) 100 Y{v(p7pl 6.4 目标和评价函数 101 ")O`mXg- 6.4.1 目标输入 102 Y HSYu 6.4.2 目标 103 mC?i}+4>4R 6.4.3 特殊的评价函数 104 N>(g?A;
Z+ 6.5 层锁定和连接 104 ay "'#[ 6.6 细化技术 104 T,xPSN2A* 6.6.1 单纯形 105 kg@>;(V& 6.6.1.1 单纯形参数 106 /!^&;$A' 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 o9xlu.QL{c 6.6.2.1 Optimac参数 108 Yt|6
X:l 6.6.3 模拟退火算法 109 )ZrS{vY 6.6.3.1 模拟退火参数 109 3d<HN6&U 6.6.4 共轭梯度 111 &B!
o,qp 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 E0%~!b 6.6.5 拟牛顿法 112 pwwH<0[ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 |-V&O=!^+ 6.6.6 针合成 113 D+_oVob\ 6.6.6.1 针合成参数 114 OpM(j& 6.6.7 差分进化 114 ,rJXy_ 6.6.8非局部细化 115 dq[Mj5eC 6.6.8.1非局部细化参数 115 =@k%&* Y? 6.7 我应该使用哪种技术? 116 h/B>S 6.7.1 细化 116 2z\zh[(w 6.7.2 合成 117 8-y{a.,u. 6.8 参考文献 117 7jnIv];i 7 导纳图及其他工具 118 x.8TRMk^ 7.1 简介 118 E0`Lg
c 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 8NaqZ+5x 7.2.1 四分之一波长规则 119 cUTE$/#s 7.2.2 导纳图 120 rx(2yf 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 T\w?$ s 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 1x,[6H 7.5 斜入射导纳图 141 /mp*>sNr6 7.6 对称周期 141 \(t@1]&jw 7.7 参考文献 142 %tG*C,l] 8 典型的镀膜实例 143 Gmf B 8.1 单层抗反射薄膜 145 el:9 wq 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 8]&i-VFof 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 +}f9 8.4 W-膜层 148 r5!/[_l 8.5 V-膜层 149 s21wxu: 8.6 V-膜层高折射基底 150 A:7k+4 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 wywQ<n 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 !Hys3AP 8.9 四层抗反射薄膜 153 ?nP*\8 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 "M|zv 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 TLoz)&@ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 C@jJ.^
<< 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 gi0W;q 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 |&Ym@Jyj 8.15十五层宽带抗反射膜 159 0ez(A 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 TDd{.8qf 8.17 1/4波长堆栈 162 KiJT!moB 8.18 陷波滤波器 163 < yC 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 &3yD_P_3 8.20 褶皱 165 hs}8xl 8.21 消偏振分光器1 169 n u'M
39{ 8.22 消偏振分光器2 171 qhT@;W/X 8.23 消偏振立体分光器 172 Zh_|m#) 8.24 消偏振截止滤光片 173 JPGzrEaZ 8.25 立体偏振分束器1 174 i\W/C 8.26 立方偏振分束器2 177 >@"Oe 8.27 相位延迟器 178 irN6g#B?
8.28 红外截止器 179 T0&f8 8.29 21层长波带通滤波器 180 C-iK$/U 8.30 49层长波带通滤波器 181 ;]_o4e6\p 8.31 55层短波带通滤波器 182 A^p[52` 8.32 47 红外截止器 183 Ot]Ru,y->+ 8.33 宽带通滤波器 184 To?W?s 8.34 诱导透射滤波器 186 8P=o4lO+ 8.35 诱导透射滤波器2 188 o tk}y8 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 EY \H=@A 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 b, :QT~g= 8.35 增益平坦滤波器 193 <n(*Xak{a 8.38 啁啾反射镜 1 196 _Gu-
uuy 8.39 啁啾反射镜2 198 {#)0EzV6 8.40 啁啾反射镜3 199 Me=CSQqf< 8.41 带保护层的铝膜层 200 kYLM&&h 8.42 增加铝反射率膜 201 YfRkwKjy( 8.43 参考文献 202 PG,_^QGCX 9 多层膜 204 wQRZ"ri, 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 % rxO_ 9.2 内部透过率 204 sqW*
pi 9.3 内部透射率数据 205 r3>i+i42 9.4 实例 206 vsa92c@T 9.5 实例2 210 F+@5C:<? 9.6 圆锥和带宽计算 212 '3?\K3S4i 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 bR V+>;L0@ 10 光学薄膜的颜色 216 ;X?mmv' 10.1 导言 216 1bH;!J 10.2 色彩 216 uJ6DO#d`P 10.3 主波长和纯度 220 aXL{TD:] 10.4 色相和纯度 221 U4cY_p? 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 sVl-N&/ 10.6 色差 226 P LueVz 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 d'Zqaaf k% 10.8 颜色渲染指数 234 'D@- 10.9 色差计算 235 FXs*vg` 10.10 参考文献 236 SCz(5[MZJ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 ca>Z7qT! 11.1 短脉冲 238 &\Amn?Iq 11.2 群速度 239 z(H^..<!5 11.3 群速度色散 241 3mOtW%Hl 11.4 啁啾(chirped) 245 G>q(iF' 11.5 光学薄膜—相变 245 ezMI\r6 11.6 群延迟和延迟色散 246 IV)<5'v 11.7 色度色散 246 v;0|U:`] 11.8 色散补偿 249 f/V
2f]. 11.9 空间光线偏移 256 0lv%`, 11.10 参考文献 258 xe*aC 12 公差与误差 260 /"B?1?qc,= 12.1 蒙特卡罗模型 260 l\s U 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 !=N"vD* 12.2.1 误差工具 267 CjiVnWSz< 12.2.2 灵敏度工具 271 u{*SX k 12.2.2.1 独立灵敏度 271 YJo["Q 12.2.2.2 灵敏度分布 275 phgm0D7 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 VP6ZiQ| 12.3 参考文献 276 ,%)6jYHR w 13 Runsheet 与Simulator 277 yfm^?G|sW 13.1 原理介绍 277 $5*WLG&AK 13.2 截止滤光片设计 277 a|?4) 14 光学常数提取 289 h}xeChw] 14.1 介绍 289 m o:D9 14.2 电介质薄膜 289 d,=r9. 14.3 n 和k 的提取工具 295 BN4_: 14.4 基底的参数提取 302 kP?KXT3y 14.5 金属的参数提取 306 xQ@^$_ 14.6 不正确的模型 306 w.0qp)} 14.7 参考文献 311 '60 L~`K 15 反演工程 313 *;fw%PW 15.1 随机性和系统性 313 (t4&,W_spA 15.2 常见的系统性问题 314 ]X^rU`": 15.3 单层膜 314 s%W<dDINl 15.4 多层膜 314 X0n~-m"m 15.5 含义 319 `3hSLR 15.6 反演工程实例 319 W]5USFan 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 $t6e2=7 15.6.2 反演工程提取折射率 327 R>(@ZM& 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 GO^_=EMR[ 16.1 光学性质的热致偏移 329 /, ! B2 16.2 应力工具 335 G^`1]? 16.3 均匀性误差 339 Iwc{R8BV 16.3.1 圆锥工具 339 mzf+Cu:`v 16.3.2 波前问题 341 EeF'&zE- 16.4 参考文献 343 A$a1(8H 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 6#Q K%[1!> 17.1 引言 345 J;f!!<l\ 17.2 操作数 345 ,.qMEMm 18 如何在Function中编写脚本 351 #jxe%2'Ot 18.1 简介 351 $n^gmhp 18.2 什么是脚本? 351 $O dCL 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 ()3O=! 18.4 基础 352 !ki.t 18.4.1 Classes(类别) 352 $.[#0lCI 18.4.2 对象 352 =%>oR 18.4.3 信息(Messages) 352
3dRr/Ilc 18.4.4 属性 352 =F;.l@: 18.4.5 方法 353 f`&dQ,; 18.4.6 变量声明 353 %Pqf{*d8 18.5 创建对象 354 f0BdXsV#g 18.5.1 创建对象函数 355 *Otg*,\ 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 S!sqbLrBn 18.5.3 丢弃对象 356 Vl2XDkhq 18.5.4 总结 356 b&5lY p"d 18.6 脚本中的表格 357 hjQ~uqbg 18.6.1 方法1 357 ;j)FnY=: - 18.6.2 方法2 357 ._+J_ts 18.7 2D Plots in Scripts 358 PxfY&;4n! 18.8 3D Plots in Scripts 359 w#g#8o>' 18.9 注释 360 X 51Yfr 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 q.()z(M7 18.11 一个更高级的脚本 362 q=9`06 18.12 <esc>键 364 ;Yg{zhJX~ 18.13 包含文件 365 Jzp#bgq}| 18.14 脚本被优化调用 366 6}KZp~s 18.15 脚本中的对话框 368 H
Tz 18.15.1 介绍 368 KR%{a(V;7 18.15.2 消息框-MsgBox 368 uSR~@Lj ~ 18.15.3 输入框函数 370 p+Y>F\r&w 18.15.4 自定义对话框 371 wWp(yvz 18.15.5 对话框编辑器 371 Q(\4]i< S 18.15.6 控制对话框 377 -c}, :G" 18.15.7 更高级的对话框 380 ,yTjU{<" 18.16 Types语句 384 uZ=NSbYsA 18.17 打开文件 385 U2%.S&wS,e 18.18 Bags 387 "1-}A(X 18.13 进一步研究 388 "hdvHUz 19 vStack 389 p}<w#p
| 19.1 vStack基本原理 389 H~E(JLcU 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 Ogp"u b 8 19.3 五棱镜 393 <~)kwq' 19.4 光束距离 396 ~D |5u\D- 19.5 误差 399 A|@_}h"WG 19.6 二向分色棱镜 399 m-jHze`D3 19.7 偏振泄漏 404 fhCc! \ 19.8 波前误差—相位 405 /AQMFx4-5 19.9 其它计算参数 405 :hI@AA>g 20 报表生成器 406 &wB\ ~Ie- 20.1 入门 406 1\r|g2Z
: 20.2 指令(Instructions) 406 yZWoN& 20.3 页面布局指令 406 f u9Cx 20.4 常见的参数图和三维图 407 BY]i;GVq 20.5 表格中的常见参数 408 ,do58i
K 20.6 迭代指令 408 ?SC[G-b 20.7 报表模版 408 YOJ6w 20.8 开始设计一个报表模版 409 N72Yq)( 21 一个新的project 413 +z$pg 21.1 创建一个新Job 414 "t0kAG 21.2 默认设计 415 +nT'I!// 21.3 薄膜设计 416 A'%1ZQ33O 21.4 误差的灵敏度计算 420 h48SItY 21.5 显色指数计算 422 zR32PG>9 21.6 电场分布 424 <Tot|R; 后记 426 h)me\U7UC 有兴趣扫码加微联系 SnYLdwgl
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