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DLE|ctzj[7 内容简介 wgSA6mQZ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 j' -akXo< 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 "ffwh 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 sS OI5W3A ?/"@WP9 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 9QJ=?bIC# 目录 ro37H2^Ty Preface 1 mLD0Lu_Ob3 内容简介 2 D_O%[u} 目录 i Rs)tf|`/ 1 引言 1 H;s0|KRgJ 2 光学薄膜基础 2 G Q&9by=} 2.1 一般规则 2 mKZ?H$E%% 2.2 正交入射规则 3 V~5vVY_HG& 2.3 斜入射规则 6 O:q}<ljp 2.4 精确计算 7
,KkENp_ 2.5 相干性 8 /exV6D r 2.6 参考文献 10 uf`o\wqU 3 Essential Macleod的快速预览 10 8_f0P8R!y 4 Essential Macleod的特点 32 q=bJ9iJsq 4.1 容量和局限性 33 _h_;nS.Y 4.2 程序在哪里? 33 U*/ 4.3 数据文件 35 E?z 3&C 4.4 设计规则 35 F=B>0Q5 4.5 材料数据库和资料库 37 .x6*9z#q 4.5.1材料损失 38 *P:`{ZV7=W 4.5.1材料数据库和导入材料 39 )aquf<u@ 4.5.2 材料库 41 *ok89ad 4.5.3导出材料数据 43 3Q[]lFJ}F 4.6 常用单位 43 KBzEEvx/$ 4.7 插值和外推法 46 (Tn*;Xjq 4.8 材料数据的平滑 50 yt C{,g> 4.9 更多光学常数模型 54 H` Q_gy5Z( 4.10 文档的一般编辑规则 55 -+|0LXo 4.11 撤销和重做 56 o&*1Mx<+ 4.12 设计文档 57 A`#v- 4.10.1 公式 58 Qo?"hgjlqm 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 =DE5Wq19 4.10.3 沉积密度 59 VjYfnvE 4.10.4 平行和楔形介质 60 (h/v"dV; 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 N3vk<sr@ 4.10.4 性能 61 \EYhAx`2 4.10.5 保存设计和性能 64 FO3!tJ\L 4.10.6 默认设计 64 8<)[+@$0 4.11 图表 64 * _C6.%{ 4.11.1 合并曲线图 67 +?MjY[8j 4.11.2 自适应绘制 68 nT|fDD| 4.11.3 动态绘图 68 zfi{SO
l 4.11.4 3D绘图 69 4s`*o/it 4.12 导入和导出 73 0g]ABzTn 4.12.1 剪贴板 73 HtY\!_Ea 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 "5XD+qi 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 !SiZA" 4.13 背景 77 TKoO\\ 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 tDEpR 4.15 生成Rugate 84 sF_.9G)S0 4.16 参考文献 91 ,PRM(n - 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 /J{P8=x}_: 5.1 Jobs 92 1P8$z:|~ 5.2 创建一个新Job(工作) 93 }kL%l 5.3 输入材料 94 ?Dd2k%o 5.4 设计数据文件夹 95
.j7|;Ag 5.5 默认设计 95 3h0w8(k; 6 细化和合成 97 A!iH g__/t 6.1 优化介绍 97 _3A$zA 6.2 细化 (Refinement) 98 b^Rg_,s 6.3 合成 (Synthesis) 100 }qV4]*+{ 6.4 目标和评价函数 101 .vQ2w 6.4.1 目标输入 102 qcQ`WU{ 6.4.2 目标 103 L$@RSKYp 6.4.3 特殊的评价函数 104 e
yTYg 6.5 层锁定和连接 104 XFK$p^qu 6.6 细化技术 104 \FVR'A1 6.6.1 单纯形 105 9Od
Kh\F ( 6.6.1.1 单纯形参数 106 v~ uwQ&AH 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 Ku,Efr 6.6.2.1 Optimac参数 108 !3yR?Xem} 6.6.3 模拟退火算法 109 `mCcD 6.6.3.1 模拟退火参数 109 dP)8T 6.6.4 共轭梯度 111 gvA&F|4 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 rQisk8% 6.6.5 拟牛顿法 112 ?0'bf y] 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 fM
S- 6.6.6 针合成 113 Vx* = 6.6.6.1 针合成参数 114 3: mF! 6.6.7 差分进化 114 \8Blq5n-O* 6.6.8非局部细化 115 oVC~RKA* 6.6.8.1非局部细化参数 115 I|WBT 6.7 我应该使用哪种技术? 116 xu+wi>Y^ 6.7.1 细化 116 & rw|fF|] 6.7.2 合成 117 u{6*}6@fi 6.8 参考文献 117 9SAyU%mS: 7 导纳图及其他工具 118 [&FMVM` 7.1 简介 118 )%ja6Vg 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 Grjm9tbX} 7.2.1 四分之一波长规则 119 Q~-g tEv+& 7.2.2 导纳图 120 o6vm(I% 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 vj{h*~ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 .6vQWt7@ 7.5 斜入射导纳图 141 {_(;&\5 7.6 对称周期 141 ? `FI!3j 7.7 参考文献 142 0JNG\ARC 8 典型的镀膜实例 143 &,)9cV / 8.1 单层抗反射薄膜 145 Atfon&^
8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 ^{~y+1lt' 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 B*D`KA 8.4 W-膜层 148 x]a>Q), 8.5 V-膜层 149 ?FMHK\ 8.6 V-膜层高折射基底 150 yRvq3>mU 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 d>vGx 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 ~=0zZTG 8.9 四层抗反射薄膜 153 cHJ
&a`; 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 ej!C^ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 <'GI<Hc 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 /1MO]u\ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 w,`x(!& 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 NsJUruN 8.15十五层宽带抗反射膜 159 U8<GD| 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
ND21; 8.17 1/4波长堆栈 162 M}%0=VCY7 8.18 陷波滤波器 163 }GGFJ" 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 A E7>jkHB 8.20 褶皱 165 oz[E>% 8.21 消偏振分光器1 169 PJ
#uYM 8.22 消偏振分光器2 171 KtV_DjH: 8.23 消偏振立体分光器 172 uOW9FAW 8.24 消偏振截止滤光片 173 39m# 8.25 立体偏振分束器1 174 .`,YUr$. 8.26 立方偏振分束器2 177 'iL['4~. 8.27 相位延迟器 178 ~Dkje 8.28 红外截止器 179 I S!B$ 8.29 21层长波带通滤波器 180 }"xC1<] 8.30 49层长波带通滤波器 181 GD*6tk;5/ 8.31 55层短波带通滤波器 182 'MG)noN5 8.32 47 红外截止器 183 \:"s*- 8.33 宽带通滤波器 184 b(~NqV!i 8.34 诱导透射滤波器 186 0c:CA>F 8.35 诱导透射滤波器2 188 U 2\{(y 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 KgKV(q= 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 [#2= w 8.35 增益平坦滤波器 193 AK[9fxrE 8.38 啁啾反射镜 1 196 ]Fjz+CGg 8.39 啁啾反射镜2 198 k (
R 8.40 啁啾反射镜3 199 BHFWig*{ 8.41 带保护层的铝膜层 200 tk,
HvE 8.42 增加铝反射率膜 201 KWN&nP
+ 8.43 参考文献 202 =2`s Uw} 9 多层膜 204 Lb/a_8<E? 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 L{5zA5#m 9.2 内部透过率 204 ^M?uv{354 9.3 内部透射率数据 205 GbNVcP.ocP 9.4 实例 206 Re.fS6y$> 9.5 实例2 210 XPX{c|]>. 9.6 圆锥和带宽计算 212 P7@qvg 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 %A64 Y<K 10 光学薄膜的颜色 216 1>|p1YZ" 10.1 导言 216 Wxp^*._q3I 10.2 色彩 216 <cWo]T`X! 10.3 主波长和纯度 220 dd$\Q 10.4 色相和纯度 221 O
gycP4z[ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 nC`=quM9 10.6 色差 226 F /t;y\) 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 7dU X(D,? 10.8 颜色渲染指数 234 rVf`wJ6b 10.9 色差计算 235 #UGbSOoCtn 10.10 参考文献 236 Is88+,O 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 ?mF-zA'4] 11.1 短脉冲 238 TJO|{Lxm 11.2 群速度 239 Bpqq-_@ 11.3 群速度色散 241 =@ON>SmPs 11.4 啁啾(chirped) 245 sY1*WolA 11.5 光学薄膜—相变 245 r{Fu|aoa;5 11.6 群延迟和延迟色散 246 (S(=W G 11.7 色度色散 246 Uvz9x"0[u 11.8 色散补偿 249 2poU\|H 11.9 空间光线偏移 256 eL-92]]e 11.10 参考文献 258 *!nS4[d 12 公差与误差 260 9`vse>,-hg 12.1 蒙特卡罗模型 260 (T`x-wTl 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 &f!!UZMt) 12.2.1 误差工具 267 X|.X4fs 12.2.2 灵敏度工具 271 W;0_@!?mr} 12.2.2.1 独立灵敏度 271 g[Yok`e[ 12.2.2.2 灵敏度分布 275 oTfEX4 t { 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 sb8SG_ c. 12.3 参考文献 276 Wc+ e>* 13 Runsheet 与Simulator 277 $Y ]*v)}X 13.1 原理介绍 277 I*}:C 13.2 截止滤光片设计 277 VoP(!.Ua>7 14 光学常数提取 289 'MC)%N, 14.1 介绍 289 9$Hgh7'hvs 14.2 电介质薄膜 289 'RG`DzuF 14.3 n 和k 的提取工具 295 jPbL3"0A& 14.4 基底的参数提取 302 4\-kzGgmo 14.5 金属的参数提取 306 2>s:wABb / 14.6 不正确的模型 306 gE8>5_R| 14.7 参考文献 311 242lR0#aY 15 反演工程 313 =P2T&Gb 15.1 随机性和系统性 313 /S|Pq!4< 15.2 常见的系统性问题 314 Q OdvzVy< 15.3 单层膜 314 rKR<R(=!= 15.4 多层膜 314 iaPY>EP1 15.5 含义 319 aP4r6lLv+ 15.6 反演工程实例 319 ,"*[T\u 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 Le_?x 15.6.2 反演工程提取折射率 327 L18Olu 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 \N;s@j W 16.1 光学性质的热致偏移 329 jIuE1ve 16.2 应力工具 335 }.e*=/"MB 16.3 均匀性误差 339 "*TnkFTR 16.3.1 圆锥工具 339 EP{y?+E2 16.3.2 波前问题 341 ,!Ah+x 16.4 参考文献 343 4J_18.JHP 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 vY.p~3q :) 17.1 引言 345 )%UO@4 17.2 操作数 345 jQ`cfE$sV 18 如何在Function中编写脚本 351 kbOo;<X9A 18.1 简介 351 aIJ[K 18.2 什么是脚本? 351 !&! sn"yD 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 ;l~gA |A 18.4 基础 352 q
\0>SG 18.4.1 Classes(类别) 352 PBkKn3P3 18.4.2 对象 352 F#W'>WBU 18.4.3 信息(Messages) 352 'fZHtnmc0 18.4.4 属性 352 6B|IbQ^ 18.4.5 方法 353 fq\E$'o$ 18.4.6 变量声明 353 9n44 *sZ 18.5 创建对象 354 uv._N6mj 18.5.1 创建对象函数 355 B \[ P/AC 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 z^=9%tLJ 18.5.3 丢弃对象 356 6kYn5:BhIi 18.5.4 总结 356 4.R
>mN[ 18.6 脚本中的表格 357 ;Wb
W\,P' 18.6.1 方法1 357 )<jj O 18.6.2 方法2 357 .7cQKdvcC 18.7 2D Plots in Scripts 358 E+[K?W5 18.8 3D Plots in Scripts 359 <BT}Tv9 18.9 注释 360 Qv[@ioc 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 Z
wIsEJz 18.11 一个更高级的脚本 362 >'E'Mp. 18.12 <esc>键 364 DTgF,c 18.13 包含文件 365 H@MUzV 18.14 脚本被优化调用 366 YHg4WW$ 18.15 脚本中的对话框 368 dt;R 18.15.1 介绍 368 hb[K.`g 18.15.2 消息框-MsgBox 368 Z>M0[DJ_ 18.15.3 输入框函数 370 @K2q*d 18.15.4 自定义对话框 371 FRX'"gIR0 18.15.5 对话框编辑器 371 M0n@?S 18.15.6 控制对话框 377 vvdC.4O 18.15.7 更高级的对话框 380 :Q!U;33aG 18.16 Types语句 384 &o:wSe 18.17 打开文件 385 1^Ci$ra 18.18 Bags 387 8 w^i 18.13 进一步研究 388 ?v `0KF 19 vStack 389 p\F*Y,4 19.1 vStack基本原理 389 iv:[]o 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 dsrzXmE0 19.3 五棱镜 393 O`Nzn~),x 19.4 光束距离 396 yj"+!g 19.5 误差 399 M>8#is(pV 19.6 二向分色棱镜 399 ocGqXDg3 19.7 偏振泄漏 404 beN0?G 19.8 波前误差—相位 405 n$B=Vt, 19.9 其它计算参数 405 M~p=OM< 20 报表生成器 406 <.+hV4,3 20.1 入门 406 WXaLKiA*( 20.2 指令(Instructions) 406 w}YO+ 20.3 页面布局指令 406 oB#KR1
>%7 20.4 常见的参数图和三维图 407 gQ/-.1Pz$ 20.5 表格中的常见参数 408 )>C,y`, 20.6 迭代指令 408 -h8A< 20.7 报表模版 408 E<D45C{DP 20.8 开始设计一个报表模版 409 UC\CCDV#^ 21 一个新的project 413 K'Bq@6@C g 21.1 创建一个新Job 414 `a98+x?JF 21.2 默认设计 415 D$!(Iae 21.3 薄膜设计 416 ixp(^>ZN 21.4 误差的灵敏度计算 420 ##EMJi 21.5 显色指数计算 422 WEOW6UV( 21.6 电场分布 424 DXsp 2 后记 426 j[
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