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摘要 R-f('[u O4a~(*f 衍射光学元件(DOEs)和微结构表面实现了各种各样的光学功能,如分束器,光束整形器和扩散器。由于衍射方法,这些元件通常比大多数折射元件更薄和更轻,同时为光学中的许多应用提供了独特和强大的选择。在这个用例中,我们演示了如何在VirtualLab Fusion中使用微结构和衍射光学元件(DOE)元件定义这样的元件。 [$\VvRu% jzZEP4 在哪里可以找到元件 [,z>msEB. 0? KvR``Aj 衍射光学元件(DOE)和微结构元件可以在元件 >单一表面 &堆栈中找到。 \C1`F[d_
2&o3OKt 这两个元件使用相同的内部求解器,只是为了便于识别和应用而有不同的名称。在这个用例中,我们将展示微结构元件,但一切都可以类似地应用到衍射光学元件(DOE)。 ?i~mt'O $KGRpI 微结构元件的功能 {qH+S/ j(_6.zf 3|/zlKZz 对于光通过期望的微结构的传播,微结构元件应用了一一个复数面响应,这意味着元件对所有场入射光的振幅和相位的响应函数。该响应函数既可以直接定义为传输函数,也可以通过应用薄元件近似TEA)对给定的高度剖面进行计算。 c&SSf_0O* ^7$Q" 基底界面 nC9xN h>|IA@;|f 在固体选项卡上,定义一般参数,比如特定表面后面的介质,也就是预期结构所在的地方。用户可以利用不同材料的扩展库来选择,或使用色散公式如赛米尔方程定义自己的材料。 ;,B $lgF 3.?oG5P# 定义为复数表面响应 h61BIc@> 6a{b%e` 在通道操作员选项卡上,可以通过设置复数传输函数来定义所需DOE的复杂表面响应... C7
9~@%T ?SoRi</1 定义为堆栈——真实高度剖面 {=y~O sbFA{l3 *{e,< DV 微结构的方向 F
@Wb<+0 $\nAGmp@ 应用解算器 nN[QUg ~ \7peH% }/%^;@q ; 精度系数 8d>>r69$pa {'f=*vMI )TkXdA?. 添加背面 0
|Rmb +[=%W 由于微结构元件只定义了微结构所在的表面,因此为了在基板上配置元件,背面是必要的。这可以通过在元件 > 单一表面&薄膜下添加平面来实现,并配置适当的距离(基板厚度)和材料。 'c/Z
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