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摘要 |^$?9Dn9.L c$52b4=a
Swnom?t 7)37AK w 衍射式分束器被广泛用于光学应用中,以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件,但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中,我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化,其性能在不同入射角下被评估,并计算出相应的衍射图案。之后,针对不同的入射角对设计进行了优化,例如通过改变微结构的高度。 vK,.P:n O>kM2xw 建模任务 AG(Gtvw Q<d|OX
/eNDv(g)M "?#O*x 微结构 !0!r}#P nZ8f}R!f:
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".Sa[A;~ UJhUb)}^ 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到: D!nx %%q i.G"21M 衍射光学元件(DOE)和微结构组件 u$V8fus0 56T{ JTo 微结构组件的配置 @bO/5"X, l~*D
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1JWo~E' %:/?eZ - Microstructure组件由一个平面组成,在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 ]aTF0 R - 在Channel Operator的设置中,微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的,要么是理想的,要么是包含真实结构的Stack,也就是高度轮廓。 ;Br
#e1~ - 在这个用例中,Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓,并应用在基面的背面。 Lm"zW>v - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中,为了对表面进行充分的采样,使用了一个2的系数。 diDB>W U<jAZU[L 总结-组件… SWPb=[WEz &n-)Alx
^F4h: 2}jC%jR2 J{h?=vK kH }HFl 监测器平面上的衍射图案 pIP^/H 0;avWa)Q
\+Pk"M '7(oCab"_ 监测器平面上的衍射图案 2JX@#vQ4 x>m=n_
2(iv+<t bFtzwa5Gc 分光器是在正入射下设计的,对于小角度(<10°),它提供了均匀的分光阶数。然而,如果𝜃增加到15°,由于路径长度的差异,零阶的效率超过了其他阶。在实践中,如果这样的设备用于更高的角度,微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 kcyT#'=j u[~= a5:4 高度缩放调制 )9'Zb`n mdy+ >e<
_5&LV2 Qa-~x8 ] 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 +L\bg|; F vae lB
:elTqw>pn 1./iF>*A VirtualLab Fusion技术 &=`6- J WSV[)-=:
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