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摘要 G.T}^xHmL 7z F29gC
Zf?>:P 6\b B#a 衍射式分束器被广泛用于光学应用中,以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件,但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中,我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化,其性能在不同入射角下被评估,并计算出相应的衍射图案。之后,针对不同的入射角对设计进行了优化,例如通过改变微结构的高度。 LRB#|PW sbkWJy 建模任务 ~poy`h' 5&+
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x\x>_1oP P"3{s+ r 微结构 E(TL+o :[\}Hn=
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Et`z7Q*e (B,CL222x 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到: =3/||b4c uF@Q8 7G 衍射光学元件(DOE)和微结构组件 MH!'g7iK8 \t^q@}~0Wz 微结构组件的配置 =$Xdn' /lAt&0
2hmV1gj ^aXyho - Microstructure组件由一个平面组成,在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 N55;oj_K - 在Channel Operator的设置中,微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的,要么是理想的,要么是包含真实结构的Stack,也就是高度轮廓。 Tfs7SC8ta - 在这个用例中,Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓,并应用在基面的背面。 XP6R$0yN - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中,为了对表面进行充分的采样,使用了一个2的系数。 $S=lm { !*+~R2&b 总结-组件… k gWF@"_ K~v"%sG{`
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" yv4hH4Io )}n`MRDB u -CY- 监测器平面上的衍射图案 duT2:~H2 UiaY0 .D
TQ>kmHWf/ LnrR#fF]Z 监测器平面上的衍射图案 !Edc]rg7 rK}*Uwut
r`B8Cik QZt/Rm>W0 分光器是在正入射下设计的,对于小角度(<10°),它提供了均匀的分光阶数。然而,如果𝜃增加到15°,由于路径长度的差异,零阶的效率超过了其他阶。在实践中,如果这样的设备用于更高的角度,微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 F}2U8O O' A''}M 高度缩放调制 0@^YxU[YN VX2bC(E'%
&Q(Q/]U~ IWuR=I$t 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 EJb"/oLla u{tjB/K&
JU/K\S2%, YDC[s ^d5 VirtualLab Fusion技术 2O`uzT$ {C|#<}1
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