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摘要 Sh'>5z2 z
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^Q!qJav '@enl]J 衍射式分束器被广泛用于光学应用中,以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件,但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中,我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化,其性能在不同入射角下被评估,并计算出相应的衍射图案。之后,针对不同的入射角对设计进行了优化,例如通过改变微结构的高度。 '5xf?0@s. ?^]29p_ 建模任务 !z@QoD o('W2Bs-o
)zw}+z3st K..L8#SC 微结构 DVCO(
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p\lS)9 wI'8B{[ 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到: 4T#B7wVoM |lH~nU.* 衍射光学元件(DOE)和微结构组件 b;$ -s
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+ 微结构组件的配置 K"'W4bO#7 OiPE,sv
BM bT:)% g1U - Microstructure组件由一个平面组成,在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 :$Lu
V5 - 在Channel Operator的设置中,微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的,要么是理想的,要么是包含真实结构的Stack,也就是高度轮廓。 p x;X}Cd - 在这个用例中,Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓,并应用在基面的背面。 :%GxU;<E{ - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中,为了对表面进行充分的采样,使用了一个2的系数。 =6j4_+5mnH b|U48j1A 总结-组件… "0Xa?z8" gb
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GCx1lm ;{b 1' m~s.al(G91 F@Bh>Vb 监测器平面上的衍射图案 TTjj.fq6 ^bpxhf
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yjCY2T E $<^4G 监测器平面上的衍射图案 pQ0yZpN%; 3md yY\+&
[\N,ow,n 1_vaSEov 分光器是在正入射下设计的,对于小角度(<10°),它提供了均匀的分光阶数。然而,如果𝜃增加到15°,由于路径长度的差异,零阶的效率超过了其他阶。在实践中,如果这样的设备用于更高的角度,微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 9vc3&r (1e;7sNG@ 高度缩放调制 5=CLR a&YD4DQ05
b~\gV_Z =IBdnEz:M 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 ?_9cFo59: }N;c
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