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摘要 PW)8aLU >~wu3q
Da CblX W0?JVtq0Z 衍射式分束器被广泛用于光学应用中,以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件,但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中,我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化,其性能在不同入射角下被评估,并计算出相应的衍射图案。之后,针对不同的入射角对设计进行了优化,例如通过改变微结构的高度。 }VZM,.w 1tyNRoET 建模任务 Q@Dkl
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b"3uD` eA&t% 微结构 i'iO H|s wt\m+!u`
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I1i:}g/ xD^wTtT 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到: P
eHW[\) MYu`c[$jZ 衍射光学元件(DOE)和微结构组件 Rv,Mu3\~#c C$_G'XI 微结构组件的配置 jJ<;2e~OW G g(NGT
?-S8yqe $':JI#
- Microstructure组件由一个平面组成,在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 ;Rs.rl>;t/ - 在Channel Operator的设置中,微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的,要么是理想的,要么是包含真实结构的Stack,也就是高度轮廓。 []=_<]{ - 在这个用例中,Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓,并应用在基面的背面。 bl`D+/V - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中,为了对表面进行充分的采样,使用了一个2的系数。 Qxky^:B !YY6o
V 总结-组件… %rw}u"3T "R8.P/ 3
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< (HPz fw:7U%MGv &M$Bt} < 监测器平面上的衍射图案 !. p V&g)m.d:n
!"`Jqs aU4R+.M7@ 监测器平面上的衍射图案 ^glX1 ) 6N&|2: U
;}UzJe ,S "% SX@ 分光器是在正入射下设计的,对于小角度(<10°),它提供了均匀的分光阶数。然而,如果𝜃增加到15°,由于路径长度的差异,零阶的效率超过了其他阶。在实践中,如果这样的设备用于更高的角度,微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 9QC< E| lS#7xh 高度缩放调制 PP],HB+*[ :Jm!=U%'Z
x\6];SXX "cNg: 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 & \JLTw xUIvLH=
[#IBYJ.6 \zBd<H4S: VirtualLab Fusion技术 KM 5jl9Vv 28ja-1dB
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