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摘要 ^F9zS `Yz2
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` ^k<.O 衍射式分束器被广泛用于光学应用中，以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件，但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中，我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化，其性能在不同入射角下被评估，并计算出相应的衍射图案。之后，针对不同的入射角对设计进行了优化，例如通过改变微结构的高度。 \1 D,Kx;Cb 2_v+q
建模任务 eG>Fn6G<g
A_U0HVx_
 S9+gVR8]C q[A3$y( 微结构 >8t[EsW/
1RHH<c%2n
 3-%~{(T/
 #N}}8RL &sc D) 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到： %t. IxMY
?+o7Y1 k, 衍射光学元件（DOE）和微结构组件 RW8u0 ?b
?|yJ #j1= 微结构组件的配置 $:Z xb
o;C)!
 |q)Q <%VS' |]b/5s;> - Microstructure组件由一个平面组成，在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 io_64K+K - 在Channel Operator的设置中，微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的，要么是理想的，要么是包含真实结构的Stack，也就是高度轮廓。 < _uv!N - 在这个用例中，Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓，并应用在基面的背面。 {z
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' - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中，为了对表面进行充分的采样，使用了一个2的系数。 SYLkC
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-ou L 4 总结-组件… sJ()ItU5i
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 4HmRsOl tvCTC ey  D"5~-9< ~,1X>N" 监测器平面上的衍射图案 XaSl6 CH
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 1&nrZG9 `&JA7UD> 监测器平面上的衍射图案 2mG?ve%m)
hV>Ey^Ty
 J3^Ir [ s#49pD N 分光器是在正入射下设计的，对于小角度（<10°），它提供了均匀的分光阶数。然而，如果𝜃增加到15°，由于路径长度的差异，零阶的效率超过了其他阶。在实践中，如果这样的设备用于更高的角度，微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 oD`BX
]xs\,}I% 高度缩放调制 ?"Q6;np*
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 Q&{5.}L y+h=x4t 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 Vdyx74xX
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 N`fY%"5U> Cvy;O~) VirtualLab Fusion技术 '. yr8
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