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摘要 21X`h3+=
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;bzX% f?|G 衍射式分束器被广泛用于光学应用中，以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件，但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中，我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化，其性能在不同入射角下被评估，并计算出相应的衍射图案。之后，针对不同的入射角对设计进行了优化，例如通过改变微结构的高度。 OR1DYHHT/1 ZUm?*.g\^
建模任务 G3P &{.v
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 >SF Uy\3 uA t V". 微结构 p9!"O
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 7cP@jj ;ea] $9 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到： Qj{8?lew
Yf,K#' h: 衍射光学元件（DOE）和微结构组件 {6;9b-a]
\ uqjs+ 微结构组件的配置 ]B"'}%>ez
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 +M ewo ~)LH='|h\} - Microstructure组件由一个平面组成，在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 Bs+(L [Z - 在Channel Operator的设置中，微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的，要么是理想的，要么是包含真实结构的Stack，也就是高度轮廓。 Y`7~Am/r;& - 在这个用例中，Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓，并应用在基面的背面。 f ),TO - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中，为了对表面进行充分的采样，使用了一个2的系数。 C
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: JzI >/ 总结-组件… K;?,FlH
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 x9/H/' (/!r(#K0,'  &X@Bs- 6*4's5>?D 监测器平面上的衍射图案 O< PO^p i
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 n~"$^Vr w{[=l6L m 监测器平面上的衍射图案 ~vmd XR`'T
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 'w>_+jLT ]V %.I_ 分光器是在正入射下设计的，对于小角度（<10°），它提供了均匀的分光阶数。然而，如果𝜃增加到15°，由于路径长度的差异，零阶的效率超过了其他阶。在实践中，如果这样的设备用于更高的角度，微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 ](tx<3h
ZUz ^!d 高度缩放调制 i LP7!j
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 >_rha~ i|w8.}0 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 /MY9
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