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摘要 q.i@Lvu# Q(gu";&
s&Y~48{ 9ZUG~d7_ 衍射式分束器被广泛用于光学应用中,以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件,但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中,我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化,其性能在不同入射角下被评估,并计算出相应的衍射图案。之后,针对不同的入射角对设计进行了优化,例如通过改变微结构的高度。 (i>VJr X4*{CM 建模任务 u$x HiD 8m1@l$
A:[La#h|p a_'W1ek-@ 微结构 %stZ'IX G\tT wX4
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g;w4:k)U iyrUY 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到: `ysPEwA| NS6Bi3~ 衍射光学元件(DOE)和微结构组件 -cNh5~p= ^*'|(Cv 微结构组件的配置 h>$,97EU ]"q[hF*PM
+pc_KR C ,z7f" - Microstructure组件由一个平面组成,在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 [ivz/r(Rj - 在Channel Operator的设置中,微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的,要么是理想的,要么是包含真实结构的Stack,也就是高度轮廓。 ^CI.F.#X| - 在这个用例中,Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓,并应用在基面的背面。 c`mJrS: - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中,为了对表面进行充分的采样,使用了一个2的系数。 T^S|u8f No<2+E! 总结-组件… 4JFi|oK0H 016l$K4
,%mTKOs lYT}Nc4"=" 1K^blOLXe 6#6Ve$Vl] 监测器平面上的衍射图案 :+ @-F>Q 6tI7vLmG
>>Hsx2M 9c8zH{T_{ 监测器平面上的衍射图案 =#n05*^ C\dQ6(3}\
k!t5>kPSQ ~el#pf~ 分光器是在正入射下设计的,对于小角度(<10°),它提供了均匀的分光阶数。然而,如果𝜃增加到15°,由于路径长度的差异,零阶的效率超过了其他阶。在实践中,如果这样的设备用于更高的角度,微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 @)m[:n D4G*K*z,w4 高度缩放调制 2{!'L'km n99:2r_
2GXAq~h@ Wt()DG|[ 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 SG
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9fMg? KMhoG.$Ra VirtualLab Fusion技术 VXZd RsV8T 511^f`P<
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