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=oE(ur 衍射式分束器被广泛用于光学应用中,以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件,但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中,我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化,其性能在不同入射角下被评估,并计算出相应的衍射图案。之后,针对不同的入射角对设计进行了优化,例如通过改变微结构的高度。 ?^whK<"] reQr=OAez 建模任务 %p48=|+ >jU25"XI[
Y/x>wNW @T"-%L8PL 微结构 m?<^b_a} `uKsFXM
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ZZ>"LH 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到: YpOcLxFL 4wMZNa<Sx 衍射光学元件(DOE)和微结构组件 )[S#:PP ["O_Phb| 微结构组件的配置 o%b6"_~%3 ~6"=d
k vpkWD; 216`rQ}z - Microstructure组件由一个平面组成,在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 4#Xz-5v - 在Channel Operator的设置中,微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的,要么是理想的,要么是包含真实结构的Stack,也就是高度轮廓。 ^w!1QH0:/ - 在这个用例中,Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓,并应用在基面的背面。 7lx"
X0w*m - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中,为了对表面进行充分的采样,使用了一个2的系数。 `h|Y0x XDY QV.Bv 总结-组件… 3PjX;U| |KR8=-!7
GlHP`&;UH b'ZzDYN 4tEAi4H|`@ `;=-71Gn~ 监测器平面上的衍射图案 hj=qWGRgI 4]HW!J
%a I,K0\ ddS3;Rk2 监测器平面上的衍射图案 }S$OE))u 7KHQ0
zs(P2$ VbDk44X.W 分光器是在正入射下设计的,对于小角度(<10°),它提供了均匀的分光阶数。然而,如果𝜃增加到15°,由于路径长度的差异,零阶的效率超过了其他阶。在实践中,如果这样的设备用于更高的角度,微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 1V wcJd Pl. y9g~ 高度缩放调制 04WxV(fo' f}~=C2R1<!
(rc7Cp3 l^XOW- ;u 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 cyLl,OA m68>`
3-=AmRxW't M&jlUr&l VirtualLab Fusion技术 x=Aq5*A0 *8J0yv
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