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摘要 nqNL[w6{ -xS{{"-
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o= p]/HZS.-b 衍射式分束器被广泛用于光学应用中,以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件,但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中,我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化,其性能在不同入射角下被评估,并计算出相应的衍射图案。之后,针对不同的入射角对设计进行了优化,例如通过改变微结构的高度。 )?#*GMWU F!*u}8/_! 建模任务 {.=089`{ a>x3UVf_
K' xN>qc DD`Bl1) 微结构 n,hl6[O L7
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4RCD<7 :ulOG{z 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到: b(JQ>,hX jC3ta 衍射光学元件(DOE)和微结构组件 ocCq$%Ka d[mmwgSR?I 微结构组件的配置 U.]5UP:a 84v7g`lrR
LT7C>b 0$)uOUVJ - Microstructure组件由一个平面组成,在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 7e[3Pu_/X - 在Channel Operator的设置中,微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的,要么是理想的,要么是包含真实结构的Stack,也就是高度轮廓。 LpwjP4vWJ - 在这个用例中,Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓,并应用在基面的背面。 !n9H[QP^9 - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中,为了对表面进行充分的采样,使用了一个2的系数。 `|maf=SnY5 THC7e>P4 总结-组件… M0Y#=u. _m .u@+g
to-DXT. 0LEJnl 1t&LNIc|^ {nvF> 监测器平面上的衍射图案 a;a^- n|D jeb]3i=pw
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BHZ$/ 监测器平面上的衍射图案 D6X0(pU0 F/gA[Y|,gI
8t)5b.PS n~ w.\939@ 分光器是在正入射下设计的,对于小角度(<10°),它提供了均匀的分光阶数。然而,如果𝜃增加到15°,由于路径长度的差异,零阶的效率超过了其他阶。在实践中,如果这样的设备用于更高的角度,微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 @JB9qT S7i,oP7 高度缩放调制 F|mppY'<J /e|vz^#+1,
CK[w0VCT [;6,lI} 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 ^j~CYzmt MZJ@qIg[Y
{`RCh]W `Hlv*" w$ VirtualLab Fusion技术 ^w|D^F=o N{b;kiZq
hIBW$ .VD:FFkW
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