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    [技术]反射式5×5衍射光束分束器的分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-07
    摘要 |^$?9Dn9.L  
    c$52b4=a  
    Swnom?t  
    7) 37AKw  
    衍射式分束器被广泛用于光学应用中,以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件,但也导致它们对入射光线角度高度敏感。在这个例子中,我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化,其性能在不同入射角下被评估,并计算出相应的衍射图案。之后,针对不同的入射角对设计进行了优化,例如通过改变微结构的高度。 vK,.P:n  
    O>kM2xw  
    建模任务 AG(Gtvw  
    Q<d|OX  
    /eNDv(g)M  
    "?#O*x  
    微结构 !0!r}#P  
    nZ8f}R!f:  
    QPJz~;V2  
    ".Sa[A;~  
    UJhUb)}^  
    反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到: D!nx%%q  
    i.G"21M  
    衍射光学元件(DOE)和微结构组件 u$V8fus0  
    56T{JTo  
    微结构组件的配置  @bO/5"X,  
    l~*D jr~  
    1JWo~E'  
    %:/?eZ  
    - Microstructure组件由一个平面组成,在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 ]aTF0 R  
    - 在Channel Operator的设置中,微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的,要么是理想的,要么是包含真实结构的Stack,也就是高度轮廓。 ;Br #e1~  
    - 在这个用例中,Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓,并应用在基面的背面。 Lm"zW>v  
    - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中,为了对表面进行充分的采样,使用了一个2的系数。 diDB>W  
    U<jAZU[L  
    总结-组件 SWPb=[WEz  
    &n-)Alx  
    ^F4h:  
    2}jC%jR2  
    J{h?=vK  
    kH}HFl  
    监测器平面上的衍射图案 pIP ^/H  
    0;avWa)Q  
    \+Pk"M  
    '7(oCab"_  
    监测器平面上的衍射图案 2JX@#vQ4  
    x>m=n_  
    2(iv+<t  
    bFtzwa5Gc  
    分光器是在正入射下设计的,对于小角度(<10°),它提供了均匀的分光阶数。然而,如果𝜃增加到15°,由于路径长度的差异,零阶的效率超过了其他阶。在实践中,如果这样的设备用于更高的角度,微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 kcyT#'=j  
    u[~= a 5:4  
    高度缩放调制 )9'Zb`n  
    mdy+ >e <  
    _5&LV2  
    Qa-~x8]  
    探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 +L\bg| ;  
    FvaelB  
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    1./iF>*A  
    VirtualLab Fusion技术 &=`6- J  
    WSV[)-=:  
    Fb&WwGY,P  
    BOf)27)  
     
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