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摘要 xw_VK 1
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#vrxhMo 衍射式分束器被广泛用于光学应用中，以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件，但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中，我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化，其性能在不同入射角下被评估，并计算出相应的衍射图案。之后，针对不同的入射角对设计进行了优化，例如通过改变微结构的高度。 ~^d. zIN! &: }e`u@5|
建模任务 ZeewGa^r
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 d"3S[_U <$\vL 微结构 \b {Aj,6,
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 (<sZ8n=AD _&S?uz m 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到： wMy$T<:
O%)@> 5#S 衍射光学元件（DOE）和微结构组件 o(xRq;i
<S~_|Y*v 微结构组件的配置 (;u tiupW
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 =4GJYhj b *IJ + - Microstructure组件由一个平面组成，在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 | \ Nj - 在Channel Operator的设置中，微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的，要么是理想的，要么是包含真实结构的Stack，也就是高度轮廓。 [c4. E" - 在这个用例中，Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓，并应用在基面的背面。 [vki^M5i|Z - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中，为了对表面进行充分的采样，使用了一个2的系数。 97:1L4w.(
f.V; Hl, 总结-组件… /x.TF'Z*
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 8Ml&lfn_8 EM/NT/  1lyJ;6i 6L }aYm86C] 监测器平面上的衍射图案 .4={K)kz|F
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 ;SQ<^"eK pM~Xh ]/ 监测器平面上的衍射图案 ga#, 42)H
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 hT6:7 _UD WrbDB-uM 分光器是在正入射下设计的，对于小角度（<10°），它提供了均匀的分光阶数。然而，如果𝜃增加到15°，由于路径长度的差异，零阶的效率超过了其他阶。在实践中，如果这样的设备用于更高的角度，微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 ulFU( % &
RAKQ+Y"nl 高度缩放调制 b3b 4'l
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 3(P^PP8 )hk=wu6 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 cJA0$)JP&
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 ?97MW a !mBsDn(J VirtualLab Fusion技术 ]6OrL
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