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    [技术]反射式5×5衍射光束分束器的分析 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-09-07
    摘要 kMd.h[X~  
    VP]%Hni]  
     u;c?d!E  
     !C: $?oU  
    衍射式分束器被广泛用于光学应用中，以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件，但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中，我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化，其性能在不同入射角下被评估，并计算出相应的衍射图案。之后，针对不同的入射角对设计进行了优化，例如通过改变微结构的高度。 5XB H$&Td  
    yz8jw:d^-  
    建模任务 gB'6`'  
    E?0%Z&1h  
     XOS[No~  
    %bfQ$a:  
    微结构 '."ed%=MC  
    w+CA1q<  
    /I0%Z+`=  
     TWFr 4-  
    B&uz;L3  
    反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到： 0:Ol7  
     B0]~el  
    衍射光学元件（DOE）和微结构组件 ZzT9j~  
     G<v&4/\p`M  
    微结构组件的配置 ,nDaqQ-C!!  
    "1 M[5\Ax  
     R/z=p_6p7`  
    9mTJ|sN:e  
    - Microstructure组件由一个平面组成，在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 '(|ofJe!  
    - 在Channel Operator的设置中，微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的，要么是理想的，要么是包含真实结构的Stack，也就是高度轮廓。 WEi2=3dV  
    - 在这个用例中，Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓，并应用在基面的背面。 ;hN!s`vq  
    - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中，为了对表面进行充分的采样，使用了一个2的系数。 5"O.,H}  
     kL"2=7m;  
    总结-组件… 4@# `t5H  
    @r/n F5  
     %M|hA#04vZ  
    2a Q[zK  
    rCdu0 gYT  
    k_nql8H  
    监测器平面上的衍射图案 ZX./P0  
    %/#NK1&M  
     1NA.nw.  
    -4{<=y?"a  
    监测器平面上的衍射图案 lp%pbx43s  
    CN8Y\<Ar  
     t=W}SH  
    mb^~qeRQ  
    分光器是在正入射下设计的，对于小角度（<10°），它提供了均匀的分光阶数。然而，如果𝜃增加到15°，由于路径长度的差异，零阶的效率超过了其他阶。在实践中，如果这样的设备用于更高的角度，微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 hy"\RW  
     ,M ^<CJ  
    高度缩放调制 dE{dZ#Jfi  
    K} X&AJ5A  
     |[ai JR[Q  
    Iom'Y@x  
    探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 nazZ*lC  
    4yA+ h2  
     N]=q|D  
    Sp]0c[37R  
    VirtualLab Fusion技术 XW)lDiJl  
     < !C)x  
     SP_75BJ  
    6H WE~`ok6  
     
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