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    [技术]反射式5×5衍射光束分束器的分析 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-09-07
    摘要 A_dYN?^?|  
    (>/Dw|,m  
    @x\gk5  
    ieK'<%dxF  
    衍射式分束器被广泛用于光学应用中,以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件,但也导致它们对入射光线角度高度敏感。在这个例子中,我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化,其性能在不同入射角下被评估,并计算出相应的衍射图案。之后,针对不同的入射角对设计进行了优化,例如通过改变微结构的高度。 9HBx[2&  
    RI].LB_  
    建模任务 CX@HG)l  
    yyYbB]D  
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    Wn)A/Z ^r  
    微结构 1 bx^Pt)  
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    4iB)oR  
    Ay. q)  
    I5 7<0  
    反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到: [;\< 2=H  
    UM;bVf?  
    衍射光学元件(DOE)和微结构组件 ~ 8qFM  
    SX<>6vH&  
    微结构组件的配置 [}B{e=`!  
    +vY`?k`  
    /t2 <OU9  
    w2_I/s6B  
    - Microstructure组件由一个平面组成,在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 tw^.(m5d  
    - 在Channel Operator的设置中,微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的,要么是理想的,要么是包含真实结构的Stack,也就是高度轮廓。 7UnO/K7oB.  
    - 在这个用例中,Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓,并应用在基面的背面。 2T?1X{g  
    - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中,为了对表面进行充分的采样,使用了一个2的系数。 s#CEhb  
    2tTV5,(1  
    总结-组件 D}C*8s bC}  
    c;fyUi  
    kT3;%D^  
    C3 c|@7FU  
    ;bu;t#  
    9U%}"uE  
    监测器平面上的衍射图案 j;c ^pLUP  
    olW`.3f  
    bSKV|z/x  
    1+[|pXT}  
    监测器平面上的衍射图案 vG=$UUh@~  
    P=hf/jOv9  
    fpC@3itI  
    8c' -eT"  
    分光器是在正入射下设计的,对于小角度(<10°),它提供了均匀的分光阶数。然而,如果𝜃增加到15°,由于路径长度的差异,零阶的效率超过了其他阶。在实践中,如果这样的设备用于更高的角度,微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 YV+dUvz  
    ~]s"PV:|  
    高度缩放调制 F973U  
    ."g5+xX  
    Lr]Hvd   
    (4gQe6tA  
    探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 U0=zuRr n  
    \{^yB4F_Z  
    tWy<9TF  
    @Pg@ltUd  
    VirtualLab Fusion技术 JHOBg{Wg  
    Nv#, s_hG  
    4C*=8oe_  
    Ny<G2! W  
     
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