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摘要 zu_bno! kY?w] lS)t
E[NszM[P tNvjwgV\ 衍射式分束器被广泛用于光学应用中,以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件,但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中,我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化,其性能在不同入射角下被评估,并计算出相应的衍射图案。之后,针对不同的入射角对设计进行了优化,例如通过改变微结构的高度。 D]=V6l= [zJ|61^ 建模任务 `a6AES'w$ (&i
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imc1rY!~' xp*Wf#BF 微结构 <sTY<i VR ]xxE_B7
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Og-v][ O$ARk+ 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到: oM^VtH=> .^xQtnq 衍射光学元件(DOE)和微结构组件 U!
$/'Xi9 "M3S 微结构组件的配置 J?Bj=b Hkrh d
IOddu2.( K%.t%)A_3 - Microstructure组件由一个平面组成,在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 9fy[%M - 在Channel Operator的设置中,微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的,要么是理想的,要么是包含真实结构的Stack,也就是高度轮廓。 SuA
@S - 在这个用例中,Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓,并应用在基面的背面。 S&F[\4w5] - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中,为了对表面进行充分的采样,使用了一个2的系数。 BU<Qp$& :#OaE, 总结-组件… tISb' ^T ly`\TnC
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W8 r ?<?0j 2WS Wfh 监测器平面上的衍射图案 mtf><YU SveP:uJA[
T"DG$R,Aj |RH^|2:x9Q 监测器平面上的衍射图案 q{}U5(,{0 s54AM]a{j
+3J5j+ 8dh ?JqX 分光器是在正入射下设计的,对于小角度(<10°),它提供了均匀的分光阶数。然而,如果𝜃增加到15°,由于路径长度的差异,零阶的效率超过了其他阶。在实践中,如果这样的设备用于更高的角度,微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 1()pKBHf l!<(}?u9 高度缩放调制 &`}d;r|yn1 C:_-F3|]cJ
HggINMG _ xM}*_<VP 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 iow"X6_l_ ~H4Tr[8a
PKZMuEEy, )0\D1IFJ VirtualLab Fusion技术 XzW\p8D^u %<>|cO
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