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摘要 e%R+IH5i
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_ZzN}!Mye = EyxM 衍射式分束器被广泛用于光学应用中,以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件,但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中,我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化,其性能在不同入射角下被评估,并计算出相应的衍射图案。之后,针对不同的入射角对设计进行了优化,例如通过改变微结构的高度。 bsuUl*l) PUltn}M 建模任务 pnxjuDN7}x (e=ksah3>
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~ H'q&1^w) 微结构 HAf.LdnzS !V+5$TsS
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j /)cdP cQ6[o"j. 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到: S82NU2L O .TFV. 衍射光学元件(DOE)和微结构组件 \#LKsQa )@]-bPnv 微结构组件的配置 i_`YZ7Hxp ,H22;UV9
g"(N_sv? %b\xRt[0v7 - Microstructure组件由一个平面组成,在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 Co[[6pt~ - 在Channel Operator的设置中,微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的,要么是理想的,要么是包含真实结构的Stack,也就是高度轮廓。 $#]?\psf - 在这个用例中,Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓,并应用在基面的背面。 @T;O^rE~N - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中,为了对表面进行充分的采样,使用了一个2的系数。 iV'-j,-i iBp 71x65 总结-组件… tborRi) M\\TQ(B
;f=:~go l2VO=RDiW EOtrrfT& :]y;t/ 监测器平面上的衍射图案 oxO}m7ULH nXi6Q+YI
"{z9 L+ 1G.+)*:3 监测器平面上的衍射图案 nz+o8L, g+ 2SB5 2D
M? [lpH3 P%ZWm=lg 分光器是在正入射下设计的,对于小角度(<10°),它提供了均匀的分光阶数。然而,如果𝜃增加到15°,由于路径长度的差异,零阶的效率超过了其他阶。在实践中,如果这样的设备用于更高的角度,微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 )Bb :tz+ }^`{YD
高度缩放调制 Rn(| gvoK
JGj_{|=: }s}9@kl;& 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 )z/j5tnvm Ql&P1|&
2i,Jnv=sR aj(M{gFq~ VirtualLab Fusion技术 {dMa&r|lp *k+QX
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