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摘要 v,,Dz8!Ty
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0-zIohSJdQ 衍射式分束器被广泛用于光学应用中，以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件，但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中，我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化，其性能在不同入射角下被评估，并计算出相应的衍射图案。之后，针对不同的入射角对设计进行了优化，例如通过改变微结构的高度。 J, vEZT<Mt 5U %a$.yr
建模任务 ?h'd\.j{
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 T &kr IZw b)@b63P_ 微结构 !Ytr4DtM
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 dzyp:\&9 )nA fT0()0 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到： <>^otb,e$
bupDnTF 衍射光学元件（DOE）和微结构组件 #Up
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($Ck5`_MK 微结构组件的配置 .wz.Jr`{
uOprA`3
 B&c*KaK;~ 8yn}|Y9Fu - Microstructure组件由一个平面组成，在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 OO`-{HKt - 在Channel Operator的设置中，微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的，要么是理想的，要么是包含真实结构的Stack，也就是高度轮廓。 uvj`r5ei - 在这个用例中，Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓，并应用在基面的背面。 m8<l2O=m - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中，为了对表面进行充分的采样，使用了一个2的系数。 \v[?4 [
A>W8^|l6+- 总结-组件… tu0agSpU
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 `f+l\'.s 2/V9Or 52  IJV1=/ NJW T_*R^Ukb5 监测器平面上的衍射图案 \*k}RKDwT
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监测器平面上的衍射图案 LHJjPf)F
[agp06 $D?
 CP!>V:w%9! B X=YS) 分光器是在正入射下设计的，对于小角度（<10°），它提供了均匀的分光阶数。然而，如果𝜃增加到15°，由于路径长度的差异，零阶的效率超过了其他阶。在实践中，如果这样的设备用于更高的角度，微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 T`.RP&2/d
o>}fKg< 高度缩放调制 ]S #m
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 UuvI ? D }hd:avze 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 QvN=<V
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 j[< }l& ( :2,Rr1" VirtualLab Fusion技术 N]6M4j!
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