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摘要 :<#`_K~'
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LE?u`i,e=+ 衍射式分束器被广泛用于光学应用中，以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件，但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中，我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化，其性能在不同入射角下被评估，并计算出相应的衍射图案。之后，针对不同的入射角对设计进行了优化，例如通过改变微结构的高度。 -jg (G GJ ;)DzC c/
建模任务 vd#,DU=p!
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 ,$r2gr!_G d_ }a `H 微结构 sc`"P-J+vp
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 Ap Py]IdwX J."{<& 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到： p}] q d4j
71B3 a 衍射光学元件（DOE）和微结构组件 .BTx&AqU
<l\N|+7R 微结构组件的配置 U2*6}c<
+I|8Q|^SD
 Ri :p8 @%i>XAe#0 - Microstructure组件由一个平面组成，在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 %/0gWG - 在Channel Operator的设置中，微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的，要么是理想的，要么是包含真实结构的Stack，也就是高度轮廓。 b 5ie <s - 在这个用例中，Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓，并应用在基面的背面。 ;np_%?is - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中，为了对表面进行充分的采样，使用了一个2的系数。 uc g$Ed
&B-[oqC? 总结-组件… G=M] 8+ h
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 sz09+4h# AfWl6a?T8:  y[HQBv =xEk7'W6k 监测器平面上的衍射图案 Y4~vC[$ x'
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 $"fo^?d/s ":WYcaSi 监测器平面上的衍射图案 ZW y e> ]
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 ^JhFI* QJ4AL3
^6 分光器是在正入射下设计的，对于小角度（<10°），它提供了均匀的分光阶数。然而，如果𝜃增加到15°，由于路径长度的差异，零阶的效率超过了其他阶。在实践中，如果这样的设备用于更高的角度，微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 gn5% F5W
O.:I,D&] 高度缩放调制 < tQc_
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kJ8vKcc 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 NXgRNca
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 PKtU:Eg { vfq VirtualLab Fusion技术 ) bW5yG!
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