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    [技术]反射式5×5衍射光束分束器的分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-07
    摘要 vd}*_d  
    1GtOA3,~;-  
     [E>R.Oe  
     -uWKY6 :5  
    衍射式分束器被广泛用于光学应用中，以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件，但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中，我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化，其性能在不同入射角下被评估，并计算出相应的衍射图案。之后，针对不同的入射角对设计进行了优化，例如通过改变微结构的高度。 Fr-[UZ~V  
    J &!B|TS  
    建模任务 zKLn!b#>  
    Dp*:Q){>E  
     Bvz62?  
    ngP7'1I  
    微结构 v&xKi>A il  
    AD^X(rW  
    NuU'0_")/  
     (NX)o P  
    R0%?:! F  
    反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到： ]Ap`   
     Bi]D{m9  
    衍射光学元件（DOE）和微结构组件 81Z4>F:  
     U.: sK*  
    微结构组件的配置 Fse['O~  
    >):m-I  
     0pD W _  
    )8;{nqoC  
    - Microstructure组件由一个平面组成，在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 X E 9)c   
    - 在Channel Operator的设置中，微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的，要么是理想的，要么是包含真实结构的Stack，也就是高度轮廓。 |U#DUqw  
    - 在这个用例中，Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓，并应用在基面的背面。 R1}IeeZO?&  
    - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中，为了对表面进行充分的采样，使用了一个2的系数。 M Hg6PQIB  
     d7* CwY9"  
    总结-组件… )o{VmXe@@  
    Zvxp%dES  
     HOfF"QAR$  
    zLP],wB  
    NS@{~;#R  
    MU|{g 5/ )  
    监测器平面上的衍射图案 [g#s&bF  
    [OzzL\)3l  
     0h22V$  
    V] rhVMA  
    监测器平面上的衍射图案 Rp0|zP,5  
    yO=p3PV d  
     cf)J )  
    n12UBvc}%  
    分光器是在正入射下设计的，对于小角度（<10°），它提供了均匀的分光阶数。然而，如果𝜃增加到15°，由于路径长度的差异，零阶的效率超过了其他阶。在实践中，如果这样的设备用于更高的角度，微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 4.8nY\_WF  
     3L>d!qD  
    高度缩放调制 |Ab{H%  
    2JVxzj<~`  
     ryg4h Hspl  
    ~b Rd)1  
    探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 &'s^nn]  
    [Eu];  
     ^_68]l=  
    ZHCr2^w6  
    VirtualLab Fusion技术 zie=2  
    g`[`P@  
     OEnDsIhq  
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