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摘要 !rTkH4!_ 2*5pjd{Kt
@kW RI* m !,9;AMO
- 衍射式分束器被广泛用于光学应用中,以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件,但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中,我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化,其性能在不同入射角下被评估,并计算出相应的衍射图案。之后,针对不同的入射角对设计进行了优化,例如通过改变微结构的高度。 j@.^3: 8}K4M( 建模任务 agd^ga3 oH;9s-Be
0b}.!k9 S*V!t= 微结构 SNc $! VQ8Q=!]
+?v2MsF']
bKt4 qFXx/FZ 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到: x7!gmbMfK' c2wgJH!g 衍射光学元件(DOE)和微结构组件 TjS&V >';UF;\5]Q 微结构组件的配置 ^@f.~4P*I k]rc -c-
GL,( N| j8W<iy - Microstructure组件由一个平面组成,在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 \Vx_$E - 在Channel Operator的设置中,微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的,要么是理想的,要么是包含真实结构的Stack,也就是高度轮廓。 Hm'aD2k - 在这个用例中,Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓,并应用在基面的背面。 W>(w&k]%B - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中,为了对表面进行充分的采样,使用了一个2的系数。 :6J&%n
8'M:uI 总结-组件… TTGWOC e2kW,JV/<$
r3dGXiu U+,RP$r@ (qzBy \\p L&0aS: 监测器平面上的衍射图案 NqM=Nu\ '"T9y=9]s
*p0Kw> ]]P@*4! 监测器平面上的衍射图案 3F32 /_` Jwpc8MQ
ajW2HH*9}A x/0loW?q^ 分光器是在正入射下设计的,对于小角度(<10°),它提供了均匀的分光阶数。然而,如果𝜃增加到15°,由于路径长度的差异,零阶的效率超过了其他阶。在实践中,如果这样的设备用于更高的角度,微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 ~l}\K10L* W'6sY@0m 高度缩放调制 <c$rfjM+JU m qwJya
Vwb_$Yi+] C{~O!^2G 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 kK:U+`+ Py#TXzEcC
G5ShheZd EHK+qrym VirtualLab Fusion技术 W;?e @} v.hQ9#:
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