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摘要 %9a3$OGZX y<E];ub
#79[Qtkrhm ^9:`D@Z+ 衍射式分束器被广泛用于光学应用中,以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件,但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中,我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化,其性能在不同入射角下被评估,并计算出相应的衍射图案。之后,针对不同的入射角对设计进行了优化,例如通过改变微结构的高度。 V`1{*PrI@L #Pp:H/b 建模任务 b%%r`j,'JE #$x,PeG
.8u@/f%pV #-<Go'yF 微结构 |w}j!}u ^2nrA pF
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w9G|)UDib 4,z|hY_*t 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到: +tT" N=KtW?C 衍射光学元件(DOE)和微结构组件 9<.O=-1~ {tUe( 微结构组件的配置 >kK@tJn 94BH{9b5
i7XY3yhC U?le|tK - Microstructure组件由一个平面组成,在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 gVfFEF. - 在Channel Operator的设置中,微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的,要么是理想的,要么是包含真实结构的Stack,也就是高度轮廓。 t{jY@JT| - 在这个用例中,Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓,并应用在基面的背面。 6dR+qJa6i - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中,为了对表面进行充分的采样,使用了一个2的系数。 = IRot t4_yp_ 总结-组件… )|xu5.F ~p?ArZb
;v@ G E6TeZ%g Zek@xr;] /)sP, 2/ 监测器平面上的衍射图案 ,%*UF6B
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k77 3h`; Vb`Vp(>AU 监测器平面上的衍射图案 (4cdkL 5MB`yRVv
(yqe4 at_*Zh( 分光器是在正入射下设计的,对于小角度(<10°),它提供了均匀的分光阶数。然而,如果𝜃增加到15°,由于路径长度的差异,零阶的效率超过了其他阶。在实践中,如果这样的设备用于更高的角度,微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 Wn(!6yid dgkS5Q$/ 高度缩放调制 B-rE8\ CvY+b^ ;
+M0pmK! t^~vi'bB 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 PR.3EL >o?v[:u*
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