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    [技术]反射式5×5衍射光束分束器的分析 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-07
    摘要 STr&"9c  
    UBgheu  
     {JJq/[j  
     m(B,a,g<  
    衍射式分束器被广泛用于光学应用中，以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件，但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中，我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化，其性能在不同入射角下被评估，并计算出相应的衍射图案。之后，针对不同的入射角对设计进行了优化，例如通过改变微结构的高度。 I6jDRC0<  
    5kRP Sfh  
    建模任务 YH:murJMZ  
    'Q^P#<<  
     i*T>, z  
    )[w_LHKI  
    微结构 A9?h*/$  
    p+t79F.js  
    gz,x6mnQ  
     ug|'}\LY  
    Zi!6dl ev  
    反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到： $bGe1\  
     B!;qz[]I  
    衍射光学元件（DOE）和微结构组件 iG.qMf.  
     5D~>Ed;  
    微结构组件的配置 n#NE.ap$&,  
    r8k.I4  
     Sh]g]xR  
    XDot3)2`  
    - Microstructure组件由一个平面组成，在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 Tej&1'G  
    - 在Channel Operator的设置中，微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的，要么是理想的，要么是包含真实结构的Stack，也就是高度轮廓。 6F@2:]W  
    - 在这个用例中，Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓，并应用在基面的背面。 Q9[$ 8  
    - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中，为了对表面进行充分的采样，使用了一个2的系数。 k=7+JI"J  
     kW 7 $  
    总结-组件… ;&A%"8o  
    o:.6{+|N  
     "I7 Sed7  
    +Vf39}8  
    XW^Sw;[efZ  
    x+X^K_*  
    监测器平面上的衍射图案 8.g (&F  
    )=PmHUd  
     T VuDK  
    -t5DcEAb$  
    监测器平面上的衍射图案 Uc?4!{$X  
    |, Lp1  
     opQ d ym  
    .;:jGe(  
    分光器是在正入射下设计的，对于小角度（<10°），它提供了均匀的分光阶数。然而，如果𝜃增加到15°，由于路径长度的差异，零阶的效率超过了其他阶。在实践中，如果这样的设备用于更高的角度，微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 oD0N<Ln}  
     =` %iv|>r0  
    高度缩放调制 :.K#=ROP  
    Py3Y*YP  
     ]t23qA@^2  
    [^J2<\<0  
    探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 2f=7`1RCD  
    IIrXI8'}  
     }+" N '  
    %)|_&Rh  
    VirtualLab Fusion技术 p?#cn   
    HoFFce7o  
     C8J3^ ?7E  
    W8/8V,  
     
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