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    [技术]反射式5×5衍射光束分束器的分析 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-07
    摘要 3>VL>;75[  
    (Z$7;OAI  
     ?aTH<  
     ]pe7I P  
    衍射式分束器被广泛用于光学应用中，以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件，但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中，我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化，其性能在不同入射角下被评估，并计算出相应的衍射图案。之后，针对不同的入射角对设计进行了优化，例如通过改变微结构的高度。 eG(YORkR  
    m-uXQS^@G  
    建模任务 wp1O*)/q  
    X8Z) W?vu  
     wX)'1H):T  
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    微结构 " J9  
    jGo%Aase  
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     gD)M7`4  
    i/_rz.c~3  
    反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到： 5(CInl  
     Ag0w8F  
    衍射光学元件（DOE）和微结构组件 #\X)|p2  
     Awfd0L;9  
    微结构组件的配置 C0w_pu  
    $=\=80u/  
     JzN "o'  
    =t_+ajY%  
    - Microstructure组件由一个平面组成，在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 7hn[i,?` H  
    - 在Channel Operator的设置中，微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的，要么是理想的，要么是包含真实结构的Stack，也就是高度轮廓。 )2y [#Blo  
    - 在这个用例中，Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓，并应用在基面的背面。 Y S7lB  
    - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中，为了对表面进行充分的采样，使用了一个2的系数。 ?qsLR  
     A7Y CSjB  
    总结-组件… ' u<IS/w  
    o0No"8DnjH  
     51eZfJB  
    am/}V%^  
    /'{vDxZf R  
    Nk -xnTZ"  
    监测器平面上的衍射图案 AoGpM,W]5  
    XO?WxL9k]  
     />Zfx.Aj6  
    NaoOgZ?  
    监测器平面上的衍射图案 /xgC`]-  
    t9<BQg  
     $9\8?gS  
    l5^Q  
    分光器是在正入射下设计的，对于小角度（<10°），它提供了均匀的分光阶数。然而，如果𝜃增加到15°，由于路径长度的差异，零阶的效率超过了其他阶。在实践中，如果这样的设备用于更高的角度，微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 `_LQs9J0J  
     Bkq4V$D_  
    高度缩放调制 7n .A QII  
    c[M4l  
     YYI0iM>  
    _gK}Gi?|  
    探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 [4qvQ7Y !  
    uYs45 G  
     OF1^_s;  
    W="pu5q$5  
    VirtualLab Fusion技术 pR0 !bgC  
    >j]Gz-wC  
     nO6UlY  
    kygj" @EX  
     
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