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    [技术]反射式5×5衍射光束分束器的分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-07
    摘要 %9a3$OGZX  
    y<E]; ub  
    #79[Qtkrhm  
    ^9:`D@Z+  
    衍射式分束器被广泛用于光学应用中,以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件,但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中,我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化,其性能在不同入射角下被评估,并计算出相应的衍射图案。之后,针对不同的入射角对设计进行了优化,例如通过改变微结构的高度。 V`1{*PrI@L  
    #Pp:H/b  
    建模任务 b%%r`j,'JE  
    #$x,PeG  
    .8u@/f%pV  
    #-<Go'yF  
    微结构 |w}j!}u  
    ^2nrA pF  
    oDMPYkpTu  
    w9G|)UDib  
    4,z|hY_*t  
    反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到: +tT"  
    N=KtW?C  
    衍射光学元件(DOE)和微结构组件 9<.O=-1~  
    {tUe(  
    微结构组件的配置 >kK@tJn  
    94BH{9b5  
    i7XY3yhC  
    U?le|tK  
    - Microstructure组件由一个平面组成,在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 gVfFEF.  
    - 在Channel Operator的设置中,微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的,要么是理想的,要么是包含真实结构的Stack,也就是高度轮廓。 t{jY@J T|  
    - 在这个用例中,Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓,并应用在基面的背面。 6dR+qJa6i  
    - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中,为了对表面进行充分的采样,使用了一个2的系数。 = IRot  
    t4_yp_  
    总结-组件… )|xu5.F  
    ~ p? ArZb  
    ;v@G  
    E 6TeZ%g  
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    /)sP, 2/  
    监测器平面上的衍射图案 ,%*UF6B M  
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    k773h`;  
    Vb`Vp(>AU  
    监测器平面上的衍射图案 (4cdkL  
    5MB`yRVv  
    (yq e 4  
    at_*Zh(  
    分光器是在正入射下设计的,对于小角度(<10°),它提供了均匀的分光阶数。然而,如果𝜃增加到15°,由于路径长度的差异,零阶的效率超过了其他阶。在实践中,如果这样的设备用于更高的角度,微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 Wn(!6yid  
    dgkS5Q$/  
    高度缩放调制 B-rE8 \  
    CvY+b^;  
    +M0pmK!  
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    探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 PR.3EL  
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    VirtualLab Fusion技术 6WY/[TC-  
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