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摘要 6y YjZ<
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 Z@Q/P (t
&I -T 衍射式分束器被广泛用于光学应用中，以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件，但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中，我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化，其性能在不同入射角下被评估，并计算出相应的衍射图案。之后，针对不同的入射角对设计进行了优化，例如通过改变微结构的高度。 erv94acq +<$nZ=,hsy
建模任务 K:9AP{+
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 NsS;d^%I L!Tvz(_7f6 微结构 N,B!D~@
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 # B <% ;t9!< L 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到： L[: A U e
Q%~BD@Io 衍射光学元件（DOE）和微结构组件 L9^ M?.a
#c' B2Jn 微结构组件的配置 A *:| d~
@ x*xgf
 L1+s0g> g T+wn-3 - Microstructure组件由一个平面组成，在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 i@D4bd9lR - 在Channel Operator的设置中，微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的，要么是理想的，要么是包含真实结构的Stack，也就是高度轮廓。 o R8'^G0< - 在这个用例中，Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓，并应用在基面的背面。 ->OVNmCB`+ - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中，为了对表面进行充分的采样，使用了一个2的系数。 T9J&^I
A[@koLCL 总结-组件… `, ]ui*
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 Y|wjt\M y 4@g w.pt  }M(xN6E Is6}VL bB 监测器平面上的衍射图案 ]Ue
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 `#<UsU,~Lu /Q)I5sL@E 监测器平面上的衍射图案 "uL~D5!f
%MGt3)
 PPFt p3C UpD4'!<buV 分光器是在正入射下设计的，对于小角度（<10°），它提供了均匀的分光阶数。然而，如果𝜃增加到15°，由于路径长度的差异，零阶的效率超过了其他阶。在实践中，如果这样的设备用于更高的角度，微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 Ri AMW|M"C
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! I& 高度缩放调制 $8(QBZq
Tc"J(GWG
 T(Yp90'6 0#=xUk#LP` 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 7@g0>1Fz
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 ~uq010lMno }=\?]9` VirtualLab Fusion技术 | @ ut/
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