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    [技术]反射式5×5衍射光束分束器的分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-07
    摘要 /^~p~HKtx  
    >2nF"?"=  
     <Ak:8&$O  
     f<^ScFVR  
    衍射式分束器被广泛用于光学应用中，以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件，但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中，我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化，其性能在不同入射角下被评估，并计算出相应的衍射图案。之后，针对不同的入射角对设计进行了优化，例如通过改变微结构的高度。 sN;(/O  
    ;r%<2(  
    建模任务 x Ridc^  
    d8D yv#gT  
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    Ia=&.,xub  
    微结构 i_|h{JK)  
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    i'U,S`L6>  
     4$ ..r4@  
    >\Z lZ  
    反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到： G,+xT}@wu  
     is64)2F](  
    衍射光学元件（DOE）和微结构组件 $U\!q@'$  
     }{P&idkv  
    微结构组件的配置 nR(#F9  
    i?lX,9%  
     G[ ,,L  
    ="/R5fp  
    - Microstructure组件由一个平面组成，在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 jM{qRfOrg  
    - 在Channel Operator的设置中，微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的，要么是理想的，要么是包含真实结构的Stack，也就是高度轮廓。 \o0z@Ntq  
    - 在这个用例中，Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓，并应用在基面的背面。 11PLH0  
    - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中，为了对表面进行充分的采样，使用了一个2的系数。 ;|Y2r^c  
     Ar\IZ_Q  
    总结-组件… I|GV :D  
    6wa<'!   
     { +i;e]c  
    s4^[3|Zrr0  
     s$K@X `  
    UDhwnGTq(l  
    监测器平面上的衍射图案 $0S.@wUG  
    Dh*~U :6$g  
     $_4oN(WSz  
    ;4+qPWwq8W  
    监测器平面上的衍射图案 se4w~\/  
    d w|-=~  
     AaJ,=eQ  
    :_W 0Af09  
    分光器是在正入射下设计的，对于小角度（<10°），它提供了均匀的分光阶数。然而，如果𝜃增加到15°，由于路径长度的差异，零阶的效率超过了其他阶。在实践中，如果这样的设备用于更高的角度，微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 ,{#RrF e  
     d,Im&j_Z  
    高度缩放调制 9\\@I =;  
    ZE5-i@1  
     m0dFA<5-  
    {s9y@c*15.  
    探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 |;x fe"]  
    D4YT33$tC  
     3C E 39W  
    S jC)6mo  
    VirtualLab Fusion技术 PM#$H  
    u* #-7   
     o3kt0NuF,  
    hlABu)B'1  
     
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