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    [技术]反射式5×5衍射光束分束器的分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-07
    摘要 c3%@Wj:fo  
    b \7iY&.C|  
     i]{1^pKq  
     t<iEj"5  
    衍射式分束器被广泛用于光学应用中，以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件，但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中，我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化，其性能在不同入射角下被评估，并计算出相应的衍射图案。之后，针对不同的入射角对设计进行了优化，例如通过改变微结构的高度。 s@4nWe  
    @@G6p($  
    建模任务 Hh;:`;}  
    FDzqL;I  
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    lCd@jB{  
    微结构 HeGY u?&  
    #18FA|   
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     .wA+S8}S  
    72uz<i!&$  
    反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到： Fh|#u:n  
     w'4AJ Q|;  
    衍射光学元件（DOE）和微结构组件 Jb_1LZ) ]  
     ZzGahtx)Y  
    微结构组件的配置 Fzlozx1y[  
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     #FOqP!p.E  
    VZka}7a  
    - Microstructure组件由一个平面组成，在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 ? 8aaD>OR$  
    - 在Channel Operator的设置中，微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的，要么是理想的，要么是包含真实结构的Stack，也就是高度轮廓。 e!-,PU9+  
    - 在这个用例中，Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓，并应用在基面的背面。 YV% 5y1 i  
    - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中，为了对表面进行充分的采样，使用了一个2的系数。 NH<gU_s8{9  
     N;oQ^B'  
    总结-组件… J@pb[OL,  
    lA(Q@yEW  
     Xl7aGlH  
    ^g1f X1  
    ocbB&  
    ZIR0PQh\  
    监测器平面上的衍射图案 O=cxNy-I  
    ^$>XW\yCs  
     8M,9kXq{L  
    EI>6Nh  
    监测器平面上的衍射图案 cLa]D[H  
    9h90huyKF  
     ]M>9ULQ  
    w.\w1:d  
    分光器是在正入射下设计的，对于小角度（<10°），它提供了均匀的分光阶数。然而，如果𝜃增加到15°，由于路径长度的差异，零阶的效率超过了其他阶。在实践中，如果这样的设备用于更高的角度，微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 ^efb 5  
     sxKf&p;  
    高度缩放调制 {#P `^g  
    r[(xj n  
     Jf)bHjC_V  
    jxa D&4Fs8  
    探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 3ya1'qUC  
    ,d+fDmm3  
     qW:)!z3\  
    ,21 np  
    VirtualLab Fusion技术 eivtH P  
    0_P}z3(M  
     @$"J|s3M  
    p9U?!L!y  
     
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