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摘要 -{^}"N hhoEb(BA
VqL.iZ- V\(:@0" 衍射式分束器被广泛用于光学应用中,以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件,但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中,我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化,其性能在不同入射角下被评估,并计算出相应的衍射图案。之后,针对不同的入射角对设计进行了优化,例如通过改变微结构的高度。 x0d~i!d Bgmn2- 建模任务 Ra*e5 }j,[ 1@S
"c}@V*cO<d cb5,P~/q 微结构 ?g!V!VS2 &uC@|dbC5
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, p} 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到: 2lL,zFAq ~ %B<
衍射光学元件(DOE)和微结构组件 r\nx= m Sk5u 7 微结构组件的配置 5k|9gICyd* /b|0PMX
<0S=,! iAa;6mH - Microstructure组件由一个平面组成,在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 e8'wG{3A - 在Channel Operator的设置中,微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的,要么是理想的,要么是包含真实结构的Stack,也就是高度轮廓。 j5@:a - 在这个用例中,Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓,并应用在基面的背面。 <AJ97MLcc - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中,为了对表面进行充分的采样,使用了一个2的系数。 ;-UmY}MU \QU^>23 总结-组件… ko5V9Drc OT'[:|x ;
};'\~g,1 vM_:&j_?`` lsN~*q?~] Fs[aa#v4B 监测器平面上的衍射图案 {mB0rKVm d;n."+=[x
_=|vgc 2Pc%fuC 监测器平面上的衍射图案 !'LW_@ TIvRhbu
kA7mLrON v@# b}N0n 分光器是在正入射下设计的,对于小角度(<10°),它提供了均匀的分光阶数。然而,如果𝜃增加到15°,由于路径长度的差异,零阶的效率超过了其他阶。在实践中,如果这样的设备用于更高的角度,微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 H4]Ul
eU Ytgj|@jsp 高度缩放调制 O9:U8$* BL&LeSa
u+{a8= 7 I>G{ 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 h;3cd0 ^_lzZOhG
-(K9s!C!. x`6<m!d` VirtualLab Fusion技术 Pb*5eXk "Ky; a?Y
Ks}Xgc\ 2k<;R':
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