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摘要 'IszS!kY
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],4LvIPD 衍射式分束器被广泛用于光学应用中，以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件，但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中，我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化，其性能在不同入射角下被评估，并计算出相应的衍射图案。之后，针对不同的入射角对设计进行了优化，例如通过改变微结构的高度。 <GEn9;\
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建模任务 wtyu"=
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rSrT( 微结构 06
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 C]cw@ :o% r8$TT\?~ 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到： 8&bj7w,K
eU0-_3gN_ 衍射光学元件（DOE）和微结构组件 4dAhJjhgD
b*i+uV? 微结构组件的配置 %cL:*D 4oz
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`Ea3z~<7M nm.d.A/]Z - Microstructure组件由一个平面组成，在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 HV p aV M - 在Channel Operator的设置中，微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的，要么是理想的，要么是包含真实结构的Stack，也就是高度轮廓。 6iC:l%|u - 在这个用例中，Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓，并应用在基面的背面。 ]Re<7_xt - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中，为了对表面进行充分的采样，使用了一个2的系数。 1F/&Y}X
,5 ,4 Qf 7 总结-组件… )2S\ :&x
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 <}%*4mv ai RNd~\  Pe. D[]S 0Og =H79< 监测器平面上的衍射图案 `1gsrHi4N
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Euv ;d4_l:9p 监测器平面上的衍射图案 Qd&j~cG@
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 9 )qx0 < j F <_j 分光器是在正入射下设计的，对于小角度（<10°），它提供了均匀的分光阶数。然而，如果𝜃增加到15°，由于路径长度的差异，零阶的效率超过了其他阶。在实践中，如果这样的设备用于更高的角度，微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 +]X^bB[
t$J -6dW 高度缩放调制 K""04Ew*pV
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 0ro+FJ r jiat5 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 42M3c& @P
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 'Tn$lh Y]PZ| G) VirtualLab Fusion技术 }PVB+i M
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