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    [技术]反射式5×5衍射光束分束器的分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-07
    摘要 v(Bp1~PPZM  
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    衍射式分束器被广泛用于光学应用中,以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件,但也导致它们对入射光线角度高度敏感。在这个例子中,我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化,其性能在不同入射角下被评估,并计算出相应的衍射图案。之后,针对不同的入射角对设计进行了优化,例如通过改变微结构的高度。 3Zaq#uA  
    >FY&-4+v  
    建模任务 qJ X+[PJ  
    6R-C0_'h  
    dE5 5  
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    微结构 OC?Zw@  
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    <;z[+6T  
    j(Fa=pi  
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    反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到: 4/HY[FT  
    |.Nr.4Yp  
    衍射光学元件(DOE)和微结构组件 (0OSGG9  
    ZTh?^}/  
    微结构组件的配置 -}_cO|kk  
    o <D3Y95b  
    VBbUl|X\  
    JNxW6 cK  
    - Microstructure组件由一个平面组成,在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 }>{ L#JW  
    - 在Channel Operator的设置中,微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的,要么是理想的,要么是包含真实结构的Stack,也就是高度轮廓。 dysX  
    - 在这个用例中,Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓,并应用在基面的背面。 H5AK n*'7  
    - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中,为了对表面进行充分的采样,使用了一个2的系数。 a9D gy_!Y  
    Y)Znb;`?a  
    总结-组件 v:veV.y  
    u}-d7-=  
    &*(n<5 wt  
    670J{b  
    CdBthOPX)  
    00`bL  
    监测器平面上的衍射图案 bK$/,,0=X/  
    ^i{,z*vi  
    W>p\O9BG  
    UOR _M5  
    监测器平面上的衍射图案 mD D4_E2*  
    DL'd&;6  
    6C:x6'5[  
    lnC !g  
    分光器是在正入射下设计的,对于小角度(<10°),它提供了均匀的分光阶数。然而,如果𝜃增加到15°,由于路径长度的差异,零阶的效率超过了其他阶。在实践中,如果这样的设备用于更高的角度,微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 BGB,Gb  
    6?%]odI#  
    高度缩放调制 U;';"9C2>  
    e Z@Gu  
    K[Y c<Q  
    Wk/fB0  
    探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 S}zC3  
    f![xn2T  
    gq H`GI  
    F3r S6_  
    VirtualLab Fusion技术 %'{V%IXQ  
    I$aXnd6)  
    #'J~Xk   
    u{g]gA8s  
     
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