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摘要 ];au!
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K6@9=_A QB#rf=' 衍射式分束器被广泛用于光学应用中,以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件,但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中,我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化,其性能在不同入射角下被评估,并计算出相应的衍射图案。之后,针对不同的入射角对设计进行了优化,例如通过改变微结构的高度。 #H/suQZN"g 8YwSaBwO 建模任务 ~<Sb:Izld _t;Mi/\P
R7~#7qKQB J+=+0{} 微结构 `{W>Dy bf-V Q7
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|GnqfD $VyH2+ jC 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到: ])uhm)U@ I 7s}{pG 衍射光学元件(DOE)和微结构组件 a<mM
)[U )NL_))\ 微结构组件的配置 C9%2}E3Z$) qQx5n
Z2hIoCT |sklY0?l( - Microstructure组件由一个平面组成,在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 ?_Y2'O - 在Channel Operator的设置中,微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的,要么是理想的,要么是包含真实结构的Stack,也就是高度轮廓。 Ob>M]udn - 在这个用例中,Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓,并应用在基面的背面。 Iji9N!Yx - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中,为了对表面进行充分的采样,使用了一个2的系数。 2C_/T8 %:hU:+G E 总结-组件… 'r_NA!R !Au 9C
mnS F=l;; |\_d^U&` bf1EMai" >pq= .)X} 监测器平面上的衍射图案 Or*e$uMIY .cA'6J"Bm\
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*, /$,~|X;& 监测器平面上的衍射图案 =%+o4\N, Xj("
-cW'g ^t#W?rxp& 分光器是在正入射下设计的,对于小角度(<10°),它提供了均匀的分光阶数。然而,如果𝜃增加到15°,由于路径长度的差异,零阶的效率超过了其他阶。在实践中,如果这样的设备用于更高的角度,微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 hAv.rjhw_
( :ObxJ* 高度缩放调制 ?ta(`+" wEJ) h1=)^
BmGY#D, 8O0E;6b 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 An0Zg'o!G @ATJ|5.gr
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U9oy&!C VirtualLab Fusion技术 _yJAn\ sGdlS&08(
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