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摘要 p+;Re2Uyg
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 [6 wI22
3XY$w& f 衍射式分束器被广泛用于光学应用中，以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件，但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中，我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化，其性能在不同入射角下被评估，并计算出相应的衍射图案。之后，针对不同的入射角对设计进行了优化，例如通过改变微结构的高度。 '0X!_w6W EG&^;uU
建模任务 p*!@z|F>U
mLk@&WxG
 m0 ]LY-t 9~zh]deH 微结构 x `PIJE
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 :t dx: 3`TC* 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到： JwB:NqB
zJI/j
_ ~W 衍射光学元件（DOE）和微结构组件 /`\-.S9
o}v # Df 微结构组件的配置 _4o2AS : j
\b Q|O7s
 oF.Fg<p ( v IU+ZdBw - Microstructure组件由一个平面组成，在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 N$pwTyk - 在Channel Operator的设置中，微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的，要么是理想的，要么是包含真实结构的Stack，也就是高度轮廓。 s7I*=}{g0. - 在这个用例中，Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓，并应用在基面的背面。 KwPJ0
]('_ - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中，为了对表面进行充分的采样，使用了一个2的系数。 W euV+} \b
- c<<A.X 总结-组件… *I Gxa
Ou2H~3^PL
 _I~TpH^1K sl6p/\_w  }Bc'(2A;, P :lv Z 监测器平面上的衍射图案 2@08 V|
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 bw%1*;n) >]:R{1h 监测器平面上的衍射图案 j`,;J[Zd`h
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 6 $ IXER P|h <|Gcp 分光器是在正入射下设计的，对于小角度（<10°），它提供了均匀的分光阶数。然而，如果𝜃增加到15°，由于路径长度的差异，零阶的效率超过了其他阶。在实践中，如果这样的设备用于更高的角度，微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 ?[RG8,B
`6~*kCj5 高度缩放调制 m6 h A,li
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 b cM#KA rO]C`bg 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 eoEb \zJ
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 3Xd+>'H m*i~Vjxj-m VirtualLab Fusion技术 fEVuH]
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