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摘要 {`M \}(E
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}{@y]DcdM4 衍射式分束器被广泛用于光学应用中，以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件，但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中，我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化，其性能在不同入射角下被评估，并计算出相应的衍射图案。之后，针对不同的入射角对设计进行了优化，例如通过改变微结构的高度。 D {\o*\TN 3 `{
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建模任务 w nQy
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 NhNd+SCZ@ $*N(feAs 微结构 WW6-oQs_#*
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 |"%OI~^% x_<#28H! 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到： 0iR?r+|
3 i>NKS 衍射光学元件（DOE）和微结构组件 V?.=_T<
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0 微结构组件的配置 M,ybj5:6
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 b5]<!~Fv:` <Dgf'Gr J - Microstructure组件由一个平面组成，在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 }dMX1e1h8 - 在Channel Operator的设置中，微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的，要么是理想的，要么是包含真实结构的Stack，也就是高度轮廓。 z (.,BB[ - 在这个用例中，Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓，并应用在基面的背面。 : 4-pnn - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中，为了对表面进行充分的采样，使用了一个2的系数。 u0k'Jh]K
N>a~k}pPH 总结-组件… z ULH gG
OIw[sum2
 ^:ny #l-zY}&  ba Td;`Pn 1GkoE 监测器平面上的衍射图案 bk=;=K
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 37 ?X@@Z= q^^R |X1 监测器平面上的衍射图案 }#E]efjs
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 T 1Z*>(M {0fQE@5@ 分光器是在正入射下设计的，对于小角度（<10°），它提供了均匀的分光阶数。然而，如果𝜃增加到15°，由于路径长度的差异，零阶的效率超过了其他阶。在实践中，如果这样的设备用于更高的角度，微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 >b0 Bvx-
+.^pAz U}R 高度缩放调制 j p~Tlomp
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 M3!;u%~} s m*)jnd XY 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 3 @O/#CP+
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 xqlnHf< G nI(w7qhub VirtualLab Fusion技术 Si23w'T
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