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摘要 D#(A?oN
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(\-7*En 衍射式分束器被广泛用于光学应用中，以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件，但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中，我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化，其性能在不同入射角下被评估，并计算出相应的衍射图案。之后，针对不同的入射角对设计进行了优化，例如通过改变微结构的高度。 N66jFRA;x v+Mt/8
建模任务 +pf 7
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 ?\c*DNM' $#KSvo{otI 微结构 h!d#=.R
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 g@nE7H1V !>>$'.nb@~ 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到： Oh8 ;YE-%
;K:.*sA a 衍射光学元件（DOE）和微结构组件 4=q\CK2 ^A
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eh\I 微结构组件的配置 BJW ;A>@Pj
?5/Sa
 j5$ Sm v t(kL(}v - Microstructure组件由一个平面组成，在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 OsC1('4@ - 在Channel Operator的设置中，微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的，要么是理想的，要么是包含真实结构的Stack，也就是高度轮廓。 V]vk9M2q[l - 在这个用例中，Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓，并应用在基面的背面。 3!Be kn] - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中，为了对表面进行充分的采样，使用了一个2的系数。 "h:xdaIE/p
r-'j#|^tz 总结-组件… E"u>&uPH
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 :+[q ` \f  { 0Leua g VZ~OcB!W 监测器平面上的衍射图案 *7-uQKp
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 Rjh/M`| T_\GvSOI 监测器平面上的衍射图案 ,Zs-<e"
(a)d7y.oo
 )9@Ftz g| N2~DxVJ5cT 分光器是在正入射下设计的，对于小角度（<10°），它提供了均匀的分光阶数。然而，如果𝜃增加到15°，由于路径长度的差异，零阶的效率超过了其他阶。在实践中，如果这样的设备用于更高的角度，微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 /B1NcRS
I^lb;3uR 高度缩放调制 @$~%C) %u
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 M+nz~, eqjl$QWPJS &4B N9`|: VirtualLab Fusion技术 ~BZ A_w"`1
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