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摘要 k(n{$
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^WDAW#f*< 衍射式分束器被广泛用于光学应用中，以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件，但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中，我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化，其性能在不同入射角下被评估，并计算出相应的衍射图案。之后，针对不同的入射角对设计进行了优化，例如通过改变微结构的高度。 K\5'pp1 lWj|7
建模任务 K/;FP'.
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 M{Ss?G4H >*ey 7g 微结构 w,L P M+
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 C`F*00M{
 }V.Wp6"S j{,3! 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到： ]^,<Ez
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iuz 衍射光学元件（DOE）和微结构组件 $x&@!/&|pv
ajI gL<x 微结构组件的配置 BXgAohg!
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 'LZF^m _<< Uq /#\7/rL - Microstructure组件由一个平面组成，在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 (uG.s %I - 在Channel Operator的设置中，微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的，要么是理想的，要么是包含真实结构的Stack，也就是高度轮廓。 +pU\;x - 在这个用例中，Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓，并应用在基面的背面。 [KXxn>n - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中，为了对表面进行充分的采样，使用了一个2的系数。 W69
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u 总结-组件… iq$edq[
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 Ojj:YLlY> =G9%Hz5~:  sGIY\% zHi+I 7 监测器平面上的衍射图案 ,eq[X\B>
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 zI/)#^ SQ 6zs&DOB 监测器平面上的衍射图案 P;[5#-e
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 @AUx%:}0Y: ^.Cfa 分光器是在正入射下设计的，对于小角度（<10°），它提供了均匀的分光阶数。然而，如果𝜃增加到15°，由于路径长度的差异，零阶的效率超过了其他阶。在实践中，如果这样的设备用于更高的角度，微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 &fA`Od6l"
>E^?<}E~. 高度缩放调制 K7}EL|Kx
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 ~Nf0 1,F AfKJa DKf 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 ($*bwqp]}
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