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摘要 0eUsvzz15 -ud!j
bNc=}^ a&y%|Gs^f 衍射式分束器被广泛用于光学应用中,以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件,但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中,我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化,其性能在不同入射角下被评估,并计算出相应的衍射图案。之后,针对不同的入射角对设计进行了优化,例如通过改变微结构的高度。 !FO||z(vb F;MFw2G 建模任务 >nTGvLOq ?rr%uXQjH
m\jp$ Pb[wysy 微结构 (wbG0lu Lww0 LH
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'f5,%e2# W%Ky#!\- 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到: !@*Ac$J>$ \UN7lDH 衍射光学元件(DOE)和微结构组件 )8LCmvQ ot,<iE#za 微结构组件的配置 *+Q,b ^N vsES`
xT=|Uc0 Fdvex$r& - Microstructure组件由一个平面组成,在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 5$zC,g*# - 在Channel Operator的设置中,微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的,要么是理想的,要么是包含真实结构的Stack,也就是高度轮廓。 B23R9.FK - 在这个用例中,Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓,并应用在基面的背面。 nc l-VN - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中,为了对表面进行充分的采样,使用了一个2的系数。 #x"pG zXMIDrq 总结-组件… !&19%C4 yQCfn1a)
h4.ZR={E N5oao'7|A 4d6F4G4U Yo:>m*31 监测器平面上的衍射图案 nc&V59*
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(MbI8B> <PJwBA %{ 监测器平面上的衍射图案 RQ|!?\a= V&NOp
g!aM-B^C t5e% "}>7H 分光器是在正入射下设计的,对于小角度(<10°),它提供了均匀的分光阶数。然而,如果𝜃增加到15°,由于路径长度的差异,零阶的效率超过了其他阶。在实践中,如果这样的设备用于更高的角度,微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 QbS w<V | F:? 高度缩放调制 Xt9?7J#\T eK3J9;X
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3u! :2 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 %'t~+_ v#D9yttO{
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