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摘要 ]K?;XA3 dZ R2Es~T
5{/uHscwLa CbGfVdw/c 衍射式分束器被广泛用于光学应用中,以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件,但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中,我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化,其性能在不同入射角下被评估,并计算出相应的衍射图案。之后,针对不同的入射角对设计进行了优化,例如通过改变微结构的高度。 (1EtC{
m W4;/;[/L 建模任务 (E;+E\E fj|b;8_}l
7|5X> yt JDJ"D\85 微结构 rJZR8bo dI%?uk
"uli~ {IU
3
,zW6 -} "(r%`.l=I 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到: u,V_j|(e Rk,'ujc 衍射光学元件(DOE)和微结构组件 5JHWt<n{P FsO_|r 微结构组件的配置 t"zi'9$t ZNVrja*
yR?./M! lEgjv, - Microstructure组件由一个平面组成,在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 SJ91(K - 在Channel Operator的设置中,微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的,要么是理想的,要么是包含真实结构的Stack,也就是高度轮廓。 qA;Gl"HF - 在这个用例中,Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓,并应用在基面的背面。 Kt](| - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中,为了对表面进行充分的采样,使用了一个2的系数。 ]#Cc7wa
eTFep^[ 总结-组件… $ay!'MK0d -)Bvx>8fq-
xP_/5N=f C6EGM/m8 ufCpX>lNF %&_^I* 监测器平面上的衍射图案 /o%VjP"< ^B0Qk:%P^N
Ui!l3_O K-~g IlbQ` 监测器平面上的衍射图案 4(sHUWT V3#ms0
#CPLvg# Q?;Tc.O"/ 分光器是在正入射下设计的,对于小角度(<10°),它提供了均匀的分光阶数。然而,如果𝜃增加到15°,由于路径长度的差异,零阶的效率超过了其他阶。在实践中,如果这样的设备用于更高的角度,微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 YGC%j q\}+]|nGs 高度缩放调制 i^e8.zgywF /2zan}
6F!B*lr qC{JsX`~ 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 Nf^<pT[* b~}$Ch3ymW
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D2G; xI1{Wo*2C} VirtualLab Fusion技术 *
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