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摘要 %VzCeS9
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ew6\Z$1c~ 衍射式分束器被广泛用于光学应用中，以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件，但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中，我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化，其性能在不同入射角下被评估，并计算出相应的衍射图案。之后，针对不同的入射角对设计进行了优化，例如通过改变微结构的高度。 9|LV
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建模任务 [=KA5c<
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 L+$9 ,<'[ -D30(g{O 微结构 y@Ga9bI7
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 [n;GP@A ]R 6`hHx=L 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到： O'<cEv'B*
n42X qR 衍射光学元件（DOE）和微结构组件 SXf Aw)-n
92K#xM/ 微结构组件的配置 qx3`5)ef
ZA/:\6gm
 )o@-h85"; WscNjWQ^TD - Microstructure组件由一个平面组成，在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 q`DilZ]S - 在Channel Operator的设置中，微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的，要么是理想的，要么是包含真实结构的Stack，也就是高度轮廓。 SPK%
' s - 在这个用例中，Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓，并应用在基面的背面。 C'j E'B5b - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中，为了对表面进行充分的采样，使用了一个2的系数。 ~Uw<E:?v
#}{1>g{sXt 总结-组件… jZvQMW
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 [>tyx{T Ye PE-P(T3s[8  MX{p)(HW C 9:5c@G 监测器平面上的衍射图案 hJ1: #%Qe.
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 92HxZ*t7km b!Z-HL6 监测器平面上的衍射图案 ;/phZ$ l
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 ;^j 2>Azn ^Q$U.sN? R 分光器是在正入射下设计的，对于小角度（<10°），它提供了均匀的分光阶数。然而，如果𝜃增加到15°，由于路径长度的差异，零阶的效率超过了其他阶。在实践中，如果这样的设备用于更高的角度，微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 g0 BJj=
SXx2 高度缩放调制 J3B]JttU
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 M4 :}`p=
K qt,sJ 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 <U ?_-0
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