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摘要 B$3 ?K 8(g:HR*;
-~[9U, AmPMY:1i" 衍射式分束器被广泛用于光学应用中,以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件,但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中,我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化,其性能在不同入射角下被评估,并计算出相应的衍射图案。之后,针对不同的入射角对设计进行了优化,例如通过改变微结构的高度。 u=F+(NE" hf/2vt
m 建模任务 []R? ViG /M~!sPW&?
Zv_.na/^K X=JmF97 微结构
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NgCuFL(Ic aJL^AG 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到: o}Odw; TC~Q
G$NW 衍射光学元件(DOE)和微结构组件 W6T|iZoV"r FsB^CxVg 微结构组件的配置 )Au6Nf
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xqXDxJlns 5J)=} e - Microstructure组件由一个平面组成,在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 do-ahl, - 在Channel Operator的设置中,微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的,要么是理想的,要么是包含真实结构的Stack,也就是高度轮廓。 f'I z
G.R - 在这个用例中,Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓,并应用在基面的背面。 [XRCLi} - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中,为了对表面进行充分的采样,使用了一个2的系数。 [3l*F [ xOzzp4 总结-组件… bPD`+:A_ cfox7FmW
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|4mpohX 监测器平面上的衍射图案 9][(Iu]h7 fP
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S-31-Zjw -LDCBc" 监测器平面上的衍射图案 |py6pek| 7"7rmZ
$@d9<83= W"{v2x i 分光器是在正入射下设计的,对于小角度(<10°),它提供了均匀的分光阶数。然而,如果𝜃增加到15°,由于路径长度的差异,零阶的效率超过了其他阶。在实践中,如果这样的设备用于更高的角度,微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 /(.6bv ms($9 Lv/ 高度缩放调制 ]sz3]"2 kt[:@Nda9
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F3 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 JGC=(; 1:NrP'W^
!3mA0-!+ 5qg2Zc~ VirtualLab Fusion技术 B63pgPX 8ul&x~2;X
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