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摘要 9f(0
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5taR[ukM 衍射式分束器被广泛用于光学应用中，以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件，但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中，我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化，其性能在不同入射角下被评估，并计算出相应的衍射图案。之后，针对不同的入射角对设计进行了优化，例如通过改变微结构的高度。 rCK UC
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建模任务 Ob ~7w[n3
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 &9+] {jXF [ Xa,| 微结构 o*k.je1
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 `e`}dgf0S| R\a6 #u3 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到： <<=.;`( /v
DX2_} |$! 衍射光学元件（DOE）和微结构组件 ]Cc3}+(s
@$Xl*WT7 微结构组件的配置 bmOK 8
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 cv{icz,%w bcR";cE - Microstructure组件由一个平面组成，在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 t !8(I R - 在Channel Operator的设置中，微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的，要么是理想的，要么是包含真实结构的Stack，也就是高度轮廓。 ; Sd== * - 在这个用例中，Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓，并应用在基面的背面。 /~(T[\E< - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中，为了对表面进行充分的采样，使用了一个2的系数。 ~xa yGk
7z2Q!0Sz 总结-组件… '^n,)oA/G
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 sck.2 -f" HUFm@?  :[:*kbWN- tP:ER 监测器平面上的衍射图案 rNK<p3=7)
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 4 <j 7F4 D03QisH= 监测器平面上的衍射图案 s v.?C pE
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'[O 分光器是在正入射下设计的，对于小角度（<10°），它提供了均匀的分光阶数。然而，如果𝜃增加到15°，由于路径长度的差异，零阶的效率超过了其他阶。在实践中，如果这样的设备用于更高的角度，微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 zH 13 ~\
A-eR L` 高度缩放调制 ~} 02q5H
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 H %D cp#k h]]B @~ 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 #AR$'TE#
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