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摘要 E*h0#m |)
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'T6B_9GQ8 衍射式分束器被广泛用于光学应用中，以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件，但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中，我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化，其性能在不同入射角下被评估，并计算出相应的衍射图案。之后，针对不同的入射角对设计进行了优化，例如通过改变微结构的高度。 Wn2Ny jX _T_PX$B
建模任务 ,o4r,.3[s
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 &Jrq5 Q C 3zk:59 微结构 XryQ)x(
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 9@ kc K 8+=p8e~An 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到： i Xt4|0
ScM} m 衍射光学元件（DOE）和微结构组件 _-g-'Hr+N
n$nne6|O 微结构组件的配置 |^
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 tU8g(ep,o Z $ p^v*y - Microstructure组件由一个平面组成，在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 de*,MkZN - 在Channel Operator的设置中，微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的，要么是理想的，要么是包含真实结构的Stack，也就是高度轮廓。 f 0:EQYYZ - 在这个用例中，Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓，并应用在基面的背面。 eTLI/?|+N - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中，为了对表面进行充分的采样，使用了一个2的系数。 W HZe)|n
C}t+t 总结-组件… d#X&Fi
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 \VoB=Ac& wghFGHgw  > #Grf)@"6 Ak<IHp^Q 监测器平面上的衍射图案 'YBLU )v[
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监测器平面上的衍射图案 i{ %z
XHwZ+=v
 ph}wnIW] 9q@ z[+X 分光器是在正入射下设计的，对于小角度（<10°），它提供了均匀的分光阶数。然而，如果𝜃增加到15°，由于路径长度的差异，零阶的效率超过了其他阶。在实践中，如果这样的设备用于更高的角度，微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 }I`
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> 高度缩放调制 hfl% r9o
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 *DPTkMQN 1t~S3Q||>] 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度
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 eG[umv.9b ~@)- qV^~ VirtualLab Fusion技术 nr<}Hc^f-
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