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摘要 v9$!v^U"D
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 D28`?B9 (
2h E(h 衍射式分束器被广泛用于光学应用中，以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件，但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中，我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化，其性能在不同入射角下被评估，并计算出相应的衍射图案。之后，针对不同的入射角对设计进行了优化，例如通过改变微结构的高度。 q2GW3t FhE{khc#
建模任务 &y[NC AeA
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x 6|TSH$w_ 微结构 1GY2aZ@
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 K %^n. )Q)qz$h@ 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到： tAX* CMW
*bkb-n Kw 衍射光学元件（DOE）和微结构组件 U=>S|>daR
? R RO 微结构组件的配置 <hT\xBb:
PnsBDf%v
 @=J|%NO | HazM9= - Microstructure组件由一个平面组成，在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 $ {Z0@G+ - 在Channel Operator的设置中，微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的，要么是理想的，要么是包含真实结构的Stack，也就是高度轮廓。 }5 o?7} ? - 在这个用例中，Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓，并应用在基面的背面。 {]vD@)k - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中，为了对表面进行充分的采样，使用了一个2的系数。 cHFi(K]|1
"S#F I 总结-组件… Tc2.ciU
QFh1sb)]d)
 v=`yfCX-qX V\~.  ^aFm6HS1 {.Tx70kn 监测器平面上的衍射图案 &&ioGy}1
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 UA[`{rf 5 *0zI\ 监测器平面上的衍射图案 ,'#TdLe
kmB!NxF>)F
 jU,Xlgz(A $JE,u' JQ 分光器是在正入射下设计的，对于小角度（<10°），它提供了均匀的分光阶数。然而，如果𝜃增加到15°，由于路径长度的差异，零阶的效率超过了其他阶。在实践中，如果这样的设备用于更高的角度，微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 -(VJ, )8t2
@ sXFu[!U 高度缩放调制 8\"<t/_
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 U 'jt'( 1/_g36\l$ 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 Aoa8Q
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 %idBR7?`g ju~$FNt8R VirtualLab Fusion技术 MDMd$] CW
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