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    [技术]反射式5×5衍射光束分束器的分析 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-07
    摘要 /bNVgK`L5  
    Z#cU#)`y1  
     @R-~zOv  
     EH!EyNNb  
    衍射式分束器被广泛用于光学应用中，以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件，但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中，我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化，其性能在不同入射角下被评估，并计算出相应的衍射图案。之后，针对不同的入射角对设计进行了优化，例如通过改变微结构的高度。 .}hZ7>4-  
    HU'`kimWb  
    建模任务 B,VSFpPx  
    ^)0{42!]  
     kmwrv -W  
    6'sFmC  
    微结构 <GFB'`L  
    -m x3^  
    ;~1/eF  
     W!Ct[t  
    C;:1CK  
    反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到： t+)GB=C  
     WCfe!P?g  
    衍射光学元件（DOE）和微结构组件 Q]?J%P.  
     &LxzAL,3!  
    微结构组件的配置 d[Fr  
     ?Ge*~d  
     CR<pB)F?a  
    j BQqpFH9  
    - Microstructure组件由一个平面组成，在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 g7Q*KA+  
    - 在Channel Operator的设置中，微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的，要么是理想的，要么是包含真实结构的Stack，也就是高度轮廓。 MPEBinE?  
    - 在这个用例中，Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓，并应用在基面的背面。 ,E8>:-boL  
    - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中，为了对表面进行充分的采样，使用了一个2的系数。 2.&V  
     wM&x8 <  
    总结-组件… uxJiec`&  
    A[,"jh  
     ?yM/j7Xn  
    2mp>Mn~K^  
    [t=+$pf(-  
    ORPl^n-  
    监测器平面上的衍射图案 u$/2XO  
    8Carg~T@  
     d@`:9 G3  
    om39;nk!}  
    监测器平面上的衍射图案 0}C}\1  
    ^d $e^cU  
     x 3co?  
    mS;Q8Crh  
    分光器是在正入射下设计的，对于小角度（<10°），它提供了均匀的分光阶数。然而，如果𝜃增加到15°，由于路径长度的差异，零阶的效率超过了其他阶。在实践中，如果这样的设备用于更高的角度，微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 |/Q."d  
     3UtXxL&L`  
    高度缩放调制 mt]YY<l  
    EsxTBg  
     "=TTsxyM6P  
    Oy`\8*Uy__  
    探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 8;BwzRtgT  
    9 v3Nba  
     (>lqp%G~  
    CpdY)SMSL  
    VirtualLab Fusion技术 EBE>&{%$^  
    QS?9&+JM|  
     :< 3;7R'5  
    (S 3kP5:F  
     
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