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    [技术]反射式5×5衍射光束分束器的分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-07
    摘要 Z*}5M4  
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     a19yw]hF5  
     l.#iMi(@p~  
    衍射式分束器被广泛用于光学应用中，以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件，但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中，我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化，其性能在不同入射角下被评估，并计算出相应的衍射图案。之后，针对不同的入射角对设计进行了优化，例如通过改变微结构的高度。 t_-1sWeA!  
    yj6o533o  
    建模任务 3=reN6Q  
    {g:I5 A#  
     ;<JyA3i^V,  
    .KA){_jBp  
    微结构 )jh4HMvmC  
    7g}lg8M  
    N6"b Ox J(  
     ~i4h.ZLj  
    6[dLj9 G%  
    反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到： FJ|6R(T_  
     z"b}V01F#  
    衍射光学元件（DOE）和微结构组件 ]"jJgO^  
     Ye'=F  
    微结构组件的配置 oJcDs-!  
    L8&$o2+07r  
     { *"I4  
    Hl,.6 >F?  
    - Microstructure组件由一个平面组成，在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 z$VA]tI(  
    - 在Channel Operator的设置中，微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的，要么是理想的，要么是包含真实结构的Stack，也就是高度轮廓。 VOkEDH  
    - 在这个用例中，Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓，并应用在基面的背面。 |a(%a43fC  
    - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中，为了对表面进行充分的采样，使用了一个2的系数。 TTS.wBpR,  
     Oie0cz:>:  
    总结-组件… K8sgeX|  
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     nhfHY-l} 7  
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    )%4%Uo_Xm  
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    监测器平面上的衍射图案 2VrO8q(  
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     xQ[~ c1  
    Hh_Yd)  
    监测器平面上的衍射图案 )jM' x&Vg  
    1@&i ju5  
     y"Fp4$qb  
    i'GBj,:  
    分光器是在正入射下设计的，对于小角度（<10°），它提供了均匀的分光阶数。然而，如果𝜃增加到15°，由于路径长度的差异，零阶的效率超过了其他阶。在实践中，如果这样的设备用于更高的角度，微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 uQwKnD?F+e  
     5B&#Sh`r  
    高度缩放调制 1Na*7|  
    Y:GSjq  
     )ZU)$dJ>V  
    v99gI%TA'  
    探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 FKTdQg|NZ  
    N$8do?  
     uSeRn@  
    qSB]Zm<  
    VirtualLab Fusion技术 pvCf4pf~  
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