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摘要 \V2,pi8'v ~|wos-nM
Pv<FLo%u< o{*ay$vA] 衍射式分束器被广泛用于光学应用中,以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件,但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中,我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化,其性能在不同入射角下被评估,并计算出相应的衍射图案。之后,针对不同的入射角对设计进行了优化,例如通过改变微结构的高度。 5]1leT /D_+{dtE 建模任务 ^MD;"A< Aa?I8sbc
fqs]<qi kl1Y] ?z} 微结构 @c'|Iqy` TP1S[`nR
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xjdw'v+qZo cgC\mM4Nla 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到: /w]&t\]* %o?IsIys 衍射光学元件(DOE)和微结构组件 rVQX7l# YI +*&cz 微结构组件的配置 i.iio- %lr|xX
.Qt4&B O`cu_ - Microstructure组件由一个平面组成,在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 @\(v X ] - 在Channel Operator的设置中,微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的,要么是理想的,要么是包含真实结构的Stack,也就是高度轮廓。 OlxX.wP - 在这个用例中,Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓,并应用在基面的背面。 [O-sVYB - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中,为了对表面进行充分的采样,使用了一个2的系数。 ,]Zp+>{
&jV_"_3n 总结-组件… ,/&Zw01dGN YEYY}/YX
A%Z)wz{ ZF#Rej? |'HLz=5\ kvsA]tK. 监测器平面上的衍射图案 FM^9}* Gie@JX
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_{@Z 监测器平面上的衍射图案 ~3WL)% 5 HV)[us
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3@cLCe- U[_8WJ7+ 分光器是在正入射下设计的,对于小角度(<10°),它提供了均匀的分光阶数。然而,如果𝜃增加到15°,由于路径长度的差异,零阶的效率超过了其他阶。在实践中,如果这样的设备用于更高的角度,微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 m4ApHM2 oB c@]T5> 高度缩放调制 h.
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ySdN;d:q j!#OG 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 >tRHNB_ `T!#@&+
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