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    [技术]反射式5×5衍射光束分束器的分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-07
    摘要 ULiRuN0 6  
    - l X4;  
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     L-+g`  
    衍射式分束器被广泛用于光学应用中，以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件，但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中，我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化，其性能在不同入射角下被评估，并计算出相应的衍射图案。之后，针对不同的入射角对设计进行了优化，例如通过改变微结构的高度。 nI6 gd%C  
    tp`1S+'~j  
    建模任务 ?t YZ/  
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    微结构 lcl|o3yQ  
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    反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到： %u!=<yn'  
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    衍射光学元件（DOE）和微结构组件 )JzY%a SP  
     w0!$ow.l  
    微结构组件的配置 >._d2.Q'  
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     N,TV?Q5l7  
    ! JA;0[;l=  
    - Microstructure组件由一个平面组成，在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 Gd!-fqNa'x  
    - 在Channel Operator的设置中，微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的，要么是理想的，要么是包含真实结构的Stack，也就是高度轮廓。 ~&RTLr#\*M  
    - 在这个用例中，Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓，并应用在基面的背面。 x*Z'i<;B  
    - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中，为了对表面进行充分的采样，使用了一个2的系数。 dJR[9T_OF  
     irQ'Rm [  
    总结-组件… r,;ca6>5H  
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     8 #4K@nm5  
    [NSslVr  
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    监测器平面上的衍射图案 yz68g?"  
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    i >3`V6  
    监测器平面上的衍射图案 * BM|luYL  
    e)uC  
     L"ho|v9:  
    v_XN).f;  
    分光器是在正入射下设计的，对于小角度（<10°），它提供了均匀的分光阶数。然而，如果𝜃增加到15°，由于路径长度的差异，零阶的效率超过了其他阶。在实践中，如果这样的设备用于更高的角度，微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 -K/+}4i3N  
     mn@1&#c4y  
    高度缩放调制 vzS b(  
    vx9!KWy}  
     G!j9D  
    LhO\a  
    探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 AQZ<,TE0,  
    ?("O.<  
     t2,II\K l  
    4|PWR_x  
    VirtualLab Fusion技术 u[)X="-e#  
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     kgo#JY-4  
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