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摘要 #:n:3]t
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AUvUk<a 衍射式分束器被广泛用于光学应用中，以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件，但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中，我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化，其性能在不同入射角下被评估，并计算出相应的衍射图案。之后，针对不同的入射角对设计进行了优化，例如通过改变微结构的高度。 o?l9$"\sqb /kKF|Hg`c
建模任务 ",gWO 8T
AqHH^adzA:
 iO_6>&( %qf ?_2v 微结构 b _#r_`
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 ^dF?MQA<@ pa@@S $( 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到： chr^>%Q_
vw/L|b7G 衍射光学元件（DOE）和微结构组件 W<AxctId
vUU)zZB ~ 微结构组件的配置 } JeP Emj
N-O"y3W}
 lQSKY}h ^k7`:@
z0U - Microstructure组件由一个平面组成，在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 +jP s0? }s - 在Channel Operator的设置中，微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的，要么是理想的，要么是包含真实结构的Stack，也就是高度轮廓。 eJ3w}"?9s - 在这个用例中，Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓，并应用在基面的背面。 %kRQ9I". - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中，为了对表面进行充分的采样，使用了一个2的系数。 K PcOW#.T
,xeJf6es 总结-组件… .0b $mSV[
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 .7|kxJq Pf Re)JuB  RZ#~^5DiO 1>BY:xZr 监测器平面上的衍射图案 J XKqQxZ[X
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 MvLmEmKb}\ \q0wY7w 监测器平面上的衍射图案 )Zcw G(o0
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 y)B>g/Hoh e{"r3* 分光器是在正入射下设计的，对于小角度（<10°），它提供了均匀的分光阶数。然而，如果𝜃增加到15°，由于路径长度的差异，零阶的效率超过了其他阶。在实践中，如果这样的设备用于更高的角度，微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 ;MH<T6b
drr n&y 高度缩放调制
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 xElHYh(\ l^B PTg)X@ 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 CSC
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!fF= VirtualLab Fusion技术 f ;[\'_.*
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