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    [技术]超构光栅构建——实例讨论 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-05
    摘要                                                                             <cj}:H *  
    6`Lcs  
    超构光栅通常由具有空间变化参数纳米柱组成,与传统光栅相比,它具有优越的性能。可以借助支柱介质在 VirtualLab Fusion 中设置此类光栅,在本例中,我们将展示如何正确配置超构光栅设置。这包括介质、材料的配置、支柱的几何形状以及支柱的空间分布。还给出了有关空间频率数量设置的附加提示。 \+9;!VWhl  
    k/@Tr :  
    &y\igX1  
     ni<[G0#T  
    超构光栅结构和建模 9OfU7_m  
    50 *@.!^*  
                                                                            
    a MsJO*;>  
    yuv4*  
    VirtualLab Fusion提供: uRpBeH]Z"  
     Pillar Medium (General),用于构建超构光栅和其他类似结构,以安排圆形/矩形纳米柱的分布; ;P8(Zf3wJb  
     Fourier modal method (FMM)用于严格分析由此配置的超构光栅在衍射效率,偏振灵敏度等方面的性能。 sjn:O'  
    >8(jW  
    光栅周围介质   )'t&q/Wn  
    },s_nJR:8  
                                                                            
    8O9Gs  
    =W<[Fe3  
    • 光栅前后的介质在光学设置编辑器中设置。 pZjpc#*9N  
    • 这些介质必须根据调查的实际  情况进行配置。 8jNOEM(0Y+  
    • 作为光栅效率分析的惯例,衬底与周围介质之间的菲涅耳损耗通常被忽略(即结构衬底的介质与其背后的介质应相同)。 ]VDn'@uM  
    7 OWsHlU  
    光栅堆栈内部材料 TaWaHf  
    =+\$e1Mb*  
                                                                          
    qX?[mdCHZ  
    !=y Q)l2  
    • 超构光栅堆栈由Pillar Medium(General)和从两侧夹入介质的两个平面接口组成。 /?U!y?t&@  
    • Pillar Medium(General)的配置对话框中,有两种材料需要配置:柱子的材料和填充柱子间空间的材料。 %N1"* </q  
    • 这两种材料的配置都独立于系统中的任何其他材料。这意味着实现对物理现实的正确描述(即嵌入介质与填充柱子之间空间的介质一致)是用户的责任。 }/"4|U  
    V)h y0_  
    单柱几何配置 tgB=vIw?3  
    *6P'q4 )  
                                                                        
    h1-Gp3#  
    }1@E"6kF  
    柱子的分布                                                                           cJ/4G l  
    /B[}I}X  
    6KO(j/Gwp  
    • 各柱子在分布(超构结构周期)中的横向位置(x, y)和直径可以自由配置。 xl,ryc3J  
    • 有几种方法可以做到这一点: . pP7"E4]  
    • 逐个柱子,手动; | k}e&Q_/G  
    • 一次性定义在等距网格; ?Sw /(}|m  
    • 使用导入的数组,其中包含定义每个柱子的横向位置和直径的数据。 A_F0\ EN*  
    • 柱子的位置可以任意变化,无论是直接,或偏离其原始位置。 ?BsH{Q RYQ  
    _Jy,yMQ^[_  
    数值参数设置 |]tZ hI"3<  
    37jQ'O U  
                                                                          
    }LQ\a8]<  
    bvp)r[8h  
    • 为了从FMM/RCWA模拟中获得收敛的结果,必须使用足够多的空间频率。 ]5)"gL%H`  
    • 对于超构光栅(通常由阵列,1D或2D柱组成),我们建议执行收敛测试,以确保算法的数值收敛。 `M0YAiG  
    • 对于1D超构光栅(例如,blazed超构光栅),应分别检查x和y方向所需的空间频率数量。 v2=/[E@  
    ,5. <oDH  
    例1:一维Blazed 超构光栅 6klD22b2$  
    ZPvf-Pq Jl  
    材料和介质的配 yzg9I  
    p&O8qAaO  
                                                                        
    :q;R6-|.  
    see the full Application Use Case Gk 6fO  
    ?Q?598MC  
    柱子几何及分布                                                                           xEC 2@J  
       [S)G$JW  
    kC31$jMC3!  
                                                                                     2rmNdvvrk  
    空间频率数                                                                             O{u[+g  
                                                                               *v&*% B  
    =]d^3bqN  
    wHWma)}-z  
    ~QCA -Yud  
    例2:二维光束分离超构光栅 xU:4Y0y8  
    wE4;Rk1  
    材料和介质的配置                                                                             v8  
    Ko+al{2  
    6%UY1Q.?  
    2NYi-@mr  
    柱子几何及分布                                                                           ZMJ3NN]F  
    o X@nP?\  
    >j:|3atb  
     
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