-
UID:317649
-
- 注册时间2020-06-19
- 最后登录2025-08-07
- 在线时间1825小时
-
-
访问TA的空间加好友用道具
|
摘要 >yT:eG ~C[R%%Gu 超构光栅通常由具有空间变化参数的纳米柱组成,与传统光栅相比,它具有优越的性能。可以借助支柱介质在 VirtualLab Fusion 中设置此类光栅,在本例中,我们将展示如何正确配置超构光栅设置。这包括介质、材料的配置、支柱的几何形状以及支柱的空间分布。还给出了有关空间频率数量设置的附加提示。 .*v8*8OJ& R`/nsou
A 8&%G8d cT." 超构光栅结构和建模 B9+oI cO l&E- H@Pe
`kFxq<?aK >j\zj] -" VirtualLab Fusion提供: 3}XUYF; Pillar Medium (General),用于构建超构光栅和其他类似结构,以安排圆形/矩形纳米柱的分布; Ei}B9 &O Fourier modal method (FMM)用于严格分析由此配置的超构光栅在衍射效率,偏振灵敏度等方面的性能。 =#uXO< RN!oflb 光栅周围介质 ^2Op?J LkJ3 :3O
^W'\8L UD"e:O_ • 光栅前后的介质在光学设置编辑器中设置。 m3.d!~U\ • 这些介质必须根据调查的实际 情况进行配置。 I'J=I{p* • 作为光栅效率分析的惯例,衬底与周围介质之间的菲涅耳损耗通常被忽略(即结构衬底的介质与其背后的介质应相同)。 R1?g6. Mq p2tBF98 光栅堆栈内部材料 %#"uK:(N .lRO;D
|L0 s ()XL}~I{!A • 超构光栅堆栈由Pillar Medium(General)和从两侧夹入介质的两个平面接口组成。 00<iv"8 • Pillar Medium(General)的配置对话框中,有两种材料需要配置:柱子的材料和填充柱子间空间的材料。 |9}G • 这两种材料的配置都独立于系统中的任何其他材料。这意味着实现对物理现实的正确描述(即嵌入介质与填充柱子之间空间的介质一致)是用户的责任。 KWU#Swa` < R0c=BZ> 单柱几何配置 Q +qN` 6`F_js.a
1G$kO90 HQTB4_K\ 柱子的分布 !MQo=k `} Q+: ~"{Kjr#R • 各柱子在分布(超构结构周期)中的横向位置(x, y)和直径可以自由配置。 4l[f}Z • 有几种方法可以做到这一点: 0Ac]&N d` • 逐个柱子,手动; 5Sk87o1E(d • 一次性定义在等距网格; b Kv9F@ • 使用导入的数组,其中包含定义每个柱子的横向位置和直径的数据。 fv#e 8y • 柱子的位置可以任意变化,无论是直接,或偏离其原始位置。 Zj!S('hSY 7?/ Fr(\ 数值参数设置 Ge|caiH1I =3""D{l
f+ J<sk c~z{/L • 为了从FMM/RCWA模拟中获得收敛的结果,必须使用足够多的空间频率。 \ tU91VIj • 对于超构光栅(通常由阵列,1D或2D柱组成),我们建议执行收敛测试,以确保算法的数值收敛。 hA)3Ah* • 对于1D超构光栅(例如,blazed超构光栅),应分别检查x和y方向所需的空间频率数量。 N2=gSEY eDIjcZ 例1:一维Blazed 超构光栅 Nqewtn9n 0Tg/R4dI 材料和介质的配置 q4lL7@_ 9A)(K,
W<k) '| see the full Application Use Case 8`9!ocrM e-\J!E'1F 柱子几何及分布 aFd
, @(&ki~+ - C8h$P ; #e-pkV 空间频率数 }Geip@Ot )vhHlZ *+ lOcvRF Fg`r:,(a
{.;MsE 例2:二维光束分离超构光栅 R&=Y7MfZ O. @_2 材料和介质的配置 .kvuI6H 6^}GXfJAc
//f[%j*> Xy=|qu 柱子几何及分布 w,9$*=k
p*n$iroy_{ ?cowey\m
.
|