切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • 1267阅读
    • 0回复

    [技术]超构光栅构建——实例讨论 [复制链接]

    上一主题 下一主题
    离线infotek
     
    发帖
    7176
    光币
    30021
    光券
    0
    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-09-05
    摘要                                                                             ]sqp^tQ`e  
    i x_a  
    超构光栅通常由具有空间变化参数纳米柱组成,与传统光栅相比,它具有优越的性能。可以借助支柱介质在 VirtualLab Fusion 中设置此类光栅,在本例中,我们将展示如何正确配置超构光栅设置。这包括介质、材料的配置、支柱的几何形状以及支柱的空间分布。还给出了有关空间频率数量设置的附加提示。 '<h@h*R  
    GPAz#0p  
    b{,vZhP-  
    @9g!5dcT  
    超构光栅结构和建模 0C717  
    7 .xejz  
                                                                            
    XeozRfk%J|  
    0Hr)h{!F"  
    VirtualLab Fusion提供: /4 .]L~  
     Pillar Medium (General),用于构建超构光栅和其他类似结构,以安排圆形/矩形纳米柱的分布; GFZx[*+%%z  
     Fourier modal method (FMM)用于严格分析由此配置的超构光栅在衍射效率,偏振灵敏度等方面的性能。 zTze %  
    G 'CYvV  
    光栅周围介质   >+S* Wtm5  
    ;z o?o t/  
                                                                            
    mZ.E;X& ,*  
    9QkIMJf0e  
    • 光栅前后的介质在光学设置编辑器中设置。 ; zfBe%Uf  
    • 这些介质必须根据调查的实际  情况进行配置。 TZ:dY x  
    • 作为光栅效率分析的惯例,衬底与周围介质之间的菲涅耳损耗通常被忽略(即结构衬底的介质与其背后的介质应相同)。 pXe]hnY  
    NTSKmCvQG  
    光栅堆栈内部材料 %/wfYRp*  
    yF1^/y!@  
                                                                          
    [,qb) &_  
    @"`{Sh`Y$  
    • 超构光栅堆栈由Pillar Medium(General)和从两侧夹入介质的两个平面接口组成。 8;P_KRaE  
    • Pillar Medium(General)的配置对话框中,有两种材料需要配置:柱子的材料和填充柱子间空间的材料。 p+R8Mo;I  
    • 这两种材料的配置都独立于系统中的任何其他材料。这意味着实现对物理现实的正确描述(即嵌入介质与填充柱子之间空间的介质一致)是用户的责任。 BYs^?IfW  
    =_d-MJy~6  
    单柱几何配置 !7anJl  
    |y2cI,&   
                                                                        
    $]iRfXv,l!  
    ] I0(_e|z}  
    柱子的分布                                                                           2 Xc,c*r  
    #e;\Eap  
    ,lw<dB@7"5  
    • 各柱子在分布(超构结构周期)中的横向位置(x, y)和直径可以自由配置。 ^i~'aq  
    • 有几种方法可以做到这一点: 2@ f E!  
    • 逐个柱子,手动;   S?m4  
    • 一次性定义在等距网格; {%z}CTf#  
    • 使用导入的数组,其中包含定义每个柱子的横向位置和直径的数据。 !_[^%7"S1  
    • 柱子的位置可以任意变化,无论是直接,或偏离其原始位置。 cH$Sk  
    %LZf= `:(  
    数值参数设置 \J^|H@;(@  
    vM2\tL@"  
                                                                          
    oNBYJ]t  
    :#p!&Fi  
    • 为了从FMM/RCWA模拟中获得收敛的结果,必须使用足够多的空间频率。 zf^F.wW  
    • 对于超构光栅(通常由阵列,1D或2D柱组成),我们建议执行收敛测试,以确保算法的数值收敛。 atWAhN  
    • 对于1D超构光栅(例如,blazed超构光栅),应分别检查x和y方向所需的空间频率数量。 $kk!NAW  
    4S#q06=Xe  
    例1:一维Blazed 超构光栅 Ic&Jhw;]z  
    |/AY!Y3  
    材料和介质的配 9S[Tan|  
    =9vmRh? 8  
                                                                        
    {!vz 6QDS  
    see the full Application Use Case SwPc<Z?P  
    o*WI*Fb'  
    柱子几何及分布                                                                           qbe9 CF'@_  
       ni x1_Wo;  
    \muC_9ke  
                                                                                     FzGla})  
    空间频率数                                                                             @VcSK`  
                                                                               K|LS VN?K  
    t Sf`  
    j8gi/07l  
    UZ+FV;<  
    例2:二维光束分离超构光栅 :V#W y  
    Ju7nvxC  
    材料和介质的配置                                                                             JR j%d&^}  
    MM%c   
    `Z0#IeX=  
    !]k$a  
    柱子几何及分布                                                                           `&yUU2W  
    K) "cwk-  
    Tfl4MDZb  
     
    分享到