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摘要 ]sqp^tQ`e i x_a 超构光栅通常由具有空间变化参数的纳米柱组成,与传统光栅相比,它具有优越的性能。可以借助支柱介质在 VirtualLab Fusion 中设置此类光栅,在本例中,我们将展示如何正确配置超构光栅设置。这包括介质、材料的配置、支柱的几何形状以及支柱的空间分布。还给出了有关空间频率数量设置的附加提示。 '<h@h*R GPAz#0p
b{,vZhP- @9g!5dcT 超构光栅结构和建模 0C717 7 .xejz
XeozRfk%J| 0Hr)h{!F" VirtualLab Fusion提供: /4 .]L~ Pillar Medium (General),用于构建超构光栅和其他类似结构,以安排圆形/矩形纳米柱的分布; GFZx[*+%%z Fourier modal method (FMM)用于严格分析由此配置的超构光栅在衍射效率,偏振灵敏度等方面的性能。 zTze% G 'CYvV 光栅周围介质 >+S* Wtm5 ;zo?o t/
mZ.E;X& ,* 9QkIMJf0e • 光栅前后的介质在光学设置编辑器中设置。 ; zfBe%Uf • 这些介质必须根据调查的实际 情况进行配置。 TZ:dY x • 作为光栅效率分析的惯例,衬底与周围介质之间的菲涅耳损耗通常被忽略(即结构衬底的介质与其背后的介质应相同)。 pXe]hnY NTSKmCvQG 光栅堆栈内部材料 %/wfY Rp* yF1^/y!@
[,qb)
&_ @"`{Sh`Y$ • 超构光栅堆栈由Pillar Medium(General)和从两侧夹入介质的两个平面接口组成。 8;P_KRaE • Pillar Medium(General)的配置对话框中,有两种材料需要配置:柱子的材料和填充柱子间空间的材料。 p+R8Mo;I • 这两种材料的配置都独立于系统中的任何其他材料。这意味着实现对物理现实的正确描述(即嵌入介质与填充柱子之间空间的介质一致)是用户的责任。 BYs^?IfW =_d-MJy~6 单柱几何配置 !7anJl |y2cI,&
$]iRfXv,l! ]I0(_e|z} 柱子的分布 2
Xc,c*r #e;\Eap ,lw<dB@7"5 • 各柱子在分布(超构结构周期)中的横向位置(x, y)和直径可以自由配置。 ^i~'aq • 有几种方法可以做到这一点: 2@f E! • 逐个柱子,手动; S?m4 • 一次性定义在等距网格; {%z}CTf# • 使用导入的数组,其中包含定义每个柱子的横向位置和直径的数据。 !_[^%7"S1 • 柱子的位置可以任意变化,无论是直接,或偏离其原始位置。 cH$Sk %LZf=`:( 数值参数设置 \J^|H@;(@ vM2\tL@"
oNBYJ]t :#p!&Fi • 为了从FMM/RCWA模拟中获得收敛的结果,必须使用足够多的空间频率。 zf^F.wW • 对于超构光栅(通常由阵列,1D或2D柱组成),我们建议执行收敛测试,以确保算法的数值收敛。 atWAhN • 对于1D超构光栅(例如,blazed超构光栅),应分别检查x和y方向所需的空间频率数量。 $kk!NAW 4S#q06=Xe 例1:一维Blazed 超构光栅 Ic&Jhw;]z |/AY!Y3 材料和介质的配置 9S[Tan| =9vmRh?8
{!vz 6QDS see the full Application Use Case SwPc<Z?P o*WI*Fb' 柱子几何及分布 qbe9 CF'@_ ni x1_Wo; \muC_9ke FzGla} ) 空间频率数 @VcSK` K|LS VN?K t Sf` j8gi/07l UZ+FV;< 例2:二维光束分离超构光栅
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y Ju7nvxC 材料和介质的配置 JRj%d&^} MM%c
`Z0#IeX= !]k $a 柱子几何及分布 `&yUU2W K)"cwk- Tfl4MDZb
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