-
UID：317649
-
- 注册时间2020-06-19
- 最后登录2024-06-11
- 在线时间1278小时
-
-
访问TA的空间加好友用道具
|
摘要 <`WcI`IA b a%5/Oc[[ 超构光栅通常由具有空间变化参数的纳米柱组成，与传统光栅相比，它具有优越的性能。可以借助支柱介质在 VirtualLab Fusion 中设置此类光栅，在本例中，我们将展示如何正确配置超构光栅设置。这包括介质、材料的配置、支柱的几何形状以及支柱的空间分布。还给出了有关空间频率数量设置的附加提示。 )KOIf{
$g),|[ x+(
 [_:
GQ AcHeZb8b 超构光栅结构和建模 ;9LOeH?
e'->S g
 J~C=o(r i8S=uJ]n VirtualLab Fusion提供： {W HK|l Pillar Medium (General)，用于构建超构光栅和其他类似结构，以安排圆形/矩形纳米柱的分布; }G<~Cx5[ Fourier modal method (FMM)用于严格分析由此配置的超构光栅在衍射效率，偏振灵敏度等方面的性能。 D@kf^ 1G {C0Y8:"` 光栅周围介质 u:^sEk"Lk'
*K BaKS
 } }Z2@} RFX{]bQp9 • 光栅前后的介质在光学设置编辑器中设置。 /E uH2cy$l • 这些介质必须根据调查的实际 情况进行配置。 [s{[
.0P]+ • 作为光栅效率分析的惯例，衬底与周围介质之间的菲涅耳损耗通常被忽略(即结构衬底的介质与其背后的介质应相同)。 MBAj.J ?!O4ia3nFk 光栅堆栈内部材料 LqNyi
M6GiohI_"P
 z rf
tF2U RhC|x,E • 超构光栅堆栈由Pillar Medium(General)和从两侧夹入介质的两个平面接口组成。 | AiMx2 • Pillar Medium(General)的配置对话框中，有两种材料需要配置:柱子的材料和填充柱子间空间的材料。 RC?vU • 这两种材料的配置都独立于系统中的任何其他材料。这意味着实现对物理现实的正确描述(即嵌入介质与填充柱子之间空间的介质一致)是用户的责任。 F) v UmY{2 nzY 单柱几何配置 ;#9ioG x
;e < TEs
 p$uPj*
}kP<zvAaw 柱子的分布 D c;k)z= +bT[lJ2O>G  tG ZMI G_ • 各柱子在分布(超构结构周期)中的横向位置(x, y)和直径可以自由配置。 uP(t+}dQ+3 • 有几种方法可以做到这一点: $HtGB] • 逐个柱子，手动; gA%
A}) • 一次性定义在等距网格; fI1
9p Q • 使用导入的数组，其中包含定义每个柱子的横向位置和直径的数据。 ZCV i ZWo • 柱子的位置可以任意变化，无论是直接，或偏离其原始位置。 p_X{'=SQ1 Y B,c =Wx 数值参数设置 aO S,%J^ ?
y#th&YC_b
 n oM=8C&U E@yo/S • 为了从FMM/RCWA模拟中获得收敛的结果，必须使用足够多的空间频率。 7?{y&sf • 对于超构光栅(通常由阵列，1D或2D柱组成)，我们建议执行收敛测试，以确保算法的数值收敛。 P$Oj3HD LM • 对于1D超构光栅(例如，blazed超构光栅)，应分别检查x和y方向所需的空间频率数量。 iQS, @ 6 ZhoV,/\+ 例1:一维Blazed 超构光栅 F-oe49p5e j9l32<h7] 材料和介质的配置 P+= m.
I N.g
 LrT EF
j see the full Application Use Case szb@2fK
<i]0EE}% 柱子几何及分布 j--byk6PB j>B* 8*Ss  RV);^, b nj1o!+9>$ 空间频率数 <o V[[wl [0aC]XQZ  8>Cf}TvErx +:4>4= &$
"J\v m 例2:二维光束分离超构光栅 =&,T@5&-= N kO+ )= 材料和介质的配置 DBL@Mp[< X^ K^az&L
 d;]m wLB0 p6K ~ b 柱子几何及分布 &)gc{(4$ 6 /5,n0  6<$.Z-,
|
