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摘要 sAlgp2- bnQO}G 超构光栅通常由具有空间变化参数的纳米柱组成,与传统光栅相比,它具有优越的性能。可以借助支柱介质在 VirtualLab Fusion 中设置此类光栅,在本例中,我们将展示如何正确配置超构光栅设置。这包括介质、材料的配置、支柱的几何形状以及支柱的空间分布。还给出了有关空间频率数量设置的附加提示。 X_l,fu^C#$ $0t
%}DE
ic#drpl, lh5d6VUA 超构光栅结构和建模 1[]cMyV 4[q *7m
JM%#L *; ?2;G_P+ VirtualLab Fusion提供: A[bxxQSP\H Pillar Medium (General),用于构建超构光栅和其他类似结构,以安排圆形/矩形纳米柱的分布; XQ8Imkc Fourier modal method (FMM)用于严格分析由此配置的超构光栅在衍射效率,偏振灵敏度等方面的性能。 a06DeRCej .YRSd 光栅周围介质 =
xk@ Q7$ y"ck;OQD
i\G3
u# k_B^2= • 光栅前后的介质在光学设置编辑器中设置。 'CX
KphlWs • 这些介质必须根据调查的实际 情况进行配置。 D6WsEd> • 作为光栅效率分析的惯例,衬底与周围介质之间的菲涅耳损耗通常被忽略(即结构衬底的介质与其背后的介质应相同)。 #v-!GK_< ?Dm&A$r 光栅堆栈内部材料 p'*UM%@SIY |z%,W/Ef
,+&j/0U =qRVKz • 超构光栅堆栈由Pillar Medium(General)和从两侧夹入介质的两个平面接口组成。 e)kf;Hkf • Pillar Medium(General)的配置对话框中,有两种材料需要配置:柱子的材料和填充柱子间空间的材料。 8h97~$7) • 这两种材料的配置都独立于系统中的任何其他材料。这意味着实现对物理现实的正确描述(即嵌入介质与填充柱子之间空间的介质一致)是用户的责任。 )EoG@:[ 0"N %Vm 单柱几何配置 xo$ZPnf(zv "6i9 f$N
E_oe1C: O}Jb,?p 柱子的分布 6X7_QBC) ?x@khzk )[1m$> • 各柱子在分布(超构结构周期)中的横向位置(x, y)和直径可以自由配置。 =j0V/= • 有几种方法可以做到这一点: LHb{9x • 逐个柱子,手动; 1yu!:8=ee • 一次性定义在等距网格; xcig'4L • 使用导入的数组,其中包含定义每个柱子的横向位置和直径的数据。 xph60T • 柱子的位置可以任意变化,无论是直接,或偏离其原始位置。 H &JKja}` ? &O$ayG77 数值参数设置 t>xV]W< *u}):8=&R
(`xc3-, ARE~jzakg • 为了从FMM/RCWA模拟中获得收敛的结果,必须使用足够多的空间频率。 5IMH G%W7 • 对于超构光栅(通常由阵列,1D或2D柱组成),我们建议执行收敛测试,以确保算法的数值收敛。 "{k3~epYaN • 对于1D超构光栅(例如,blazed超构光栅),应分别检查x和y方向所需的空间频率数量。 ( nh!tC S,H{\c 例1:一维Blazed 超构光栅 gT.-Cf{ S%@$J~\rx 材料和介质的配置 j*5VJ: 2Y+*vN s3
TO.NCO\x see the full Application Use Case m{*l6`dF /y 0 )r.R 柱子几何及分布 !4E:IM63 n>HN py ZZTV
>: M Pt7 / 空间频率数 F,sT[C A-W7!0
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