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摘要 S"!nM]2L |0vY'A)] 超构光栅通常由具有空间变化参数的纳米柱组成,与传统光栅相比,它具有优越的性能。可以借助支柱介质在 VirtualLab Fusion 中设置此类光栅,在本例中,我们将展示如何正确配置超构光栅设置。这包括介质、材料的配置、支柱的几何形状以及支柱的空间分布。还给出了有关空间频率数量设置的附加提示。 NFDi2L>Ba !}9k
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{-PD3 [f" g|9'Lk 超构光栅结构和建模 `9(TqcE )|x)KY
NJ/6_e yxf|Njo0 VirtualLab Fusion提供: RnE=T/VZJ Pillar Medium (General),用于构建超构光栅和其他类似结构,以安排圆形/矩形纳米柱的分布; 5sao+dZ"| Fourier modal method (FMM)用于严格分析由此配置的超构光栅在衍射效率,偏振灵敏度等方面的性能。 Eyxw.,rB/ Egi<m 光栅周围介质 JpvE c!cli razVO]]E
V)mRG`L w`bojM@e1 • 光栅前后的介质在光学设置编辑器中设置。 'gxSHqeI2 • 这些介质必须根据调查的实际 情况进行配置。 6#MIt:# • 作为光栅效率分析的惯例,衬底与周围介质之间的菲涅耳损耗通常被忽略(即结构衬底的介质与其背后的介质应相同)。 ;dPyhR X|{TwmHd 光栅堆栈内部材料 *r6+Vz ^%@(>:)0
$VvL C_rlbl;T • 超构光栅堆栈由Pillar Medium(General)和从两侧夹入介质的两个平面接口组成。 ZZL.&Ho • Pillar Medium(General)的配置对话框中,有两种材料需要配置:柱子的材料和填充柱子间空间的材料。 zF[kb%o • 这两种材料的配置都独立于系统中的任何其他材料。这意味着实现对物理现实的正确描述(即嵌入介质与填充柱子之间空间的介质一致)是用户的责任。 _ n,Ye&m 6Z] * ce<r 单柱几何配置 ;?"]S/16, _Y4%Fv>@
Vahfz8~w/ *,.WI )@ 柱子的分布 bF;g.-.2 OGw =e{ HFu#-}iNV • 各柱子在分布(超构结构周期)中的横向位置(x, y)和直径可以自由配置。 2%y}El^+_ • 有几种方法可以做到这一点: YDE;mIW • 逐个柱子,手动; ]R~K-cN` • 一次性定义在等距网格; *.#d'~+ • 使用导入的数组,其中包含定义每个柱子的横向位置和直径的数据。 .uG|Vq1v • 柱子的位置可以任意变化,无论是直接,或偏离其原始位置。 ~5<-&Dyp7 9^h0D}#@ 数值参数设置 `rzgC \ &k*sxW'
%e.tAl"!$ 8@^=k.5IK • 为了从FMM/RCWA模拟中获得收敛的结果,必须使用足够多的空间频率。 ;N6Euiz • 对于超构光栅(通常由阵列,1D或2D柱组成),我们建议执行收敛测试,以确保算法的数值收敛。 vY&[=2= • 对于1D超构光栅(例如,blazed超构光栅),应分别检查x和y方向所需的空间频率数量。 2fM*6CaS 'gHa3:US 例1:一维Blazed 超构光栅 @iWql*K;m 8x#SpDI 材料和介质的配置 _]E H~; ^"WrE(3
} QVREj see the full Application Use Case N=]2vyh ,_?P[~1 柱子几何及分布 dr#g[}l'H Z+!._uA \yP\@cpY{ x8YuX*/I 空间频率数 MwMv[];I :Lu=t3#
@}k5rcQ*/ ltRvNXx+] Qxr&zT7f 例2:二维光束分离超构光栅 (!`TO{ !6P 7<;87t]] 材料和介质的配置 zXWf($^&E rvrv[^a(
1;Bgt v$ ^GMM% 柱子几何及分布 &o@IMbJ8
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