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摘要 F|K4 z hK Bx!` UdRn 超构光栅通常由具有空间变化参数的纳米柱组成，与传统光栅相比，它具有优越的性能。可以借助支柱介质在 VirtualLab Fusion 中设置此类光栅，在本例中，我们将展示如何正确配置超构光栅设置。这包括介质、材料的配置、支柱的几何形状以及支柱的空间分布。还给出了有关空间频率数量设置的附加提示。 W)~.o/;
C7_T]e <
 0>MI*fnY" c9@jyq_H? 超构光栅结构和建模 . O.R
@h,$&=HY
 <5}du9 @ 4^^rOi0 VirtualLab Fusion提供： GLF"`M /g Pillar Medium (General)，用于构建超构光栅和其他类似结构，以安排圆形/矩形纳米柱的分布; yE9.]j Fourier modal method (FMM)用于严格分析由此配置的超构光栅在衍射效率，偏振灵敏度等方面的性能。 *03/ :q ^(
)fL*Ws6 光栅周围介质 PCfs6.*5Mf
5z>\'a1U
 B9-[wg#0G 04d$_1:}a • 光栅前后的介质在光学设置编辑器中设置。 w8ld* z • 这些介质必须根据调查的实际 情况进行配置。 -y.AJ~ T • 作为光栅效率分析的惯例，衬底与周围介质之间的菲涅耳损耗通常被忽略(即结构衬底的介质与其背后的介质应相同)。 _?c.3+;s ,e_# 光栅堆栈内部材料 wO%:WL$5
/CE d 14.
 `{_PSzM (W!$6+GT • 超构光栅堆栈由Pillar Medium(General)和从两侧夹入介质的两个平面接口组成。 &/?j MyD@ • Pillar Medium(General)的配置对话框中，有两种材料需要配置:柱子的材料和填充柱子间空间的材料。 uy:=V } p • 这两种材料的配置都独立于系统中的任何其他材料。这意味着实现对物理现实的正确描述(即嵌入介质与填充柱子之间空间的介质一致)是用户的责任。 tY=TY{ RY 2f4 c;YS 单柱几何配置
RZ%X1$
0z#kV}wE
 Af<>O$$6 8E[`H 柱子的分布 :n9^:srGZH ;P~S/j[ 8  #wiP{+%b • 各柱子在分布(超构结构周期)中的横向位置(x, y)和直径可以自由配置。 &Qjl| 2 • 有几种方法可以做到这一点: 2GzpWV( • 逐个柱子，手动; j@ !}r|-T • 一次性定义在等距网格; < z)G& h@ • 使用导入的数组，其中包含定义每个柱子的横向位置和直径的数据。 G'f"w5%qZv • 柱子的位置可以任意变化，无论是直接，或偏离其原始位置。 e 8 bJ ] 3>Snd9Q 数值参数设置 >6+K"J-@
&N0| tn
 NM.B=<Aw* ,&G
M\FTeb • 为了从FMM/RCWA模拟中获得收敛的结果，必须使用足够多的空间频率。 qKC*j DW • 对于超构光栅(通常由阵列，1D或2D柱组成)，我们建议执行收敛测试，以确保算法的数值收敛。
%'z3es0 • 对于1D超构光栅(例如，blazed超构光栅)，应分别检查x和y方向所需的空间频率数量。 _6
`4_<c= Jo <6M' 例1:一维Blazed 超构光栅
*xP:7K UV.9 KcN. 材料和介质的配置 T@.D5[q0:
5zOSb$;
 koZp~W- see the full Application Use Case "cM5= ;
BH a>2N 柱子几何及分布 K/cK6Yr F JhVbAMd  w}q"y+=Z: EQC 空间频率数 =i?,y +< F DX+  @x
+#ZD( e~? ]F 0/ G. TX1 例2:二维光束分离超构光栅 \'*`te:{ cyg>h X{U 材料和介质的配置 ku8c ) V" iLeC
 ~7'.{VrU H_nJST<v` 柱子几何及分布 TVwY FX P^W47
SO  tb3fz")UC
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