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摘要 QiQ_bB!\ ~Y `ldL 超构光栅通常由具有空间变化参数的纳米柱组成,与传统光栅相比,它具有优越的性能。可以借助支柱介质在 VirtualLab Fusion 中设置此类光栅,在本例中,我们将展示如何正确配置超构光栅设置。这包括介质、材料的配置、支柱的几何形状以及支柱的空间分布。还给出了有关空间频率数量设置的附加提示。 _G[g;$< ojafy}
sGi"rg# riUwBiVa?2 超构光栅结构和建模 rx'RSo#1O ]GMe\n
4-?C> lsgh#x VirtualLab Fusion提供: ,g%0`SO Pillar Medium (General),用于构建超构光栅和其他类似结构,以安排圆形/矩形纳米柱的分布; $ZUdT Fourier modal method (FMM)用于严格分析由此配置的超构光栅在衍射效率,偏振灵敏度等方面的性能。 J28M@cn QCD.YFM 光栅周围介质 #pT"BSz] 7TgOK
fX(3H1$" ]}Mj)J" m • 光栅前后的介质在光学设置编辑器中设置。 %<)2/|lCd • 这些介质必须根据调查的实际 情况进行配置。 BHIRHmM<Y • 作为光栅效率分析的惯例,衬底与周围介质之间的菲涅耳损耗通常被忽略(即结构衬底的介质与其背后的介质应相同)。 ^?-:'<4q$ 9/{(%XwX 光栅堆栈内部材料 "LHcB]^< ?L5zC+c!
18)'c?^. :iK(JE` • 超构光栅堆栈由Pillar Medium(General)和从两侧夹入介质的两个平面接口组成。 qaqBOHI6G • Pillar Medium(General)的配置对话框中,有两种材料需要配置:柱子的材料和填充柱子间空间的材料。 rDD:7*z • 这两种材料的配置都独立于系统中的任何其他材料。这意味着实现对物理现实的正确描述(即嵌入介质与填充柱子之间空间的介质一致)是用户的责任。 LSm$dK J &o|QG 单柱几何配置 ",p;Sd |+"<wEKI
bo,_&4? 0m7Y>0wC6T 柱子的分布 % "kPvI3Y O#n8=B4 Bz_^~b7 • 各柱子在分布(超构结构周期)中的横向位置(x, y)和直径可以自由配置。 _A M*@|p, • 有几种方法可以做到这一点: r [9x • 逐个柱子,手动; &X`C%h • 一次性定义在等距网格; $CxKuB( • 使用导入的数组,其中包含定义每个柱子的横向位置和直径的数据。 teOe#* • 柱子的位置可以任意变化,无论是直接,或偏离其原始位置。 <m!h&_eg -<c=US 数值参数设置 j>*S5y.{ 4qN{n#{+]
K#l:wH_ @:;)~V • 为了从FMM/RCWA模拟中获得收敛的结果,必须使用足够多的空间频率。 d4m=0G` • 对于超构光栅(通常由阵列,1D或2D柱组成),我们建议执行收敛测试,以确保算法的数值收敛。 `Y+J-EQ • 对于1D超构光栅(例如,blazed超构光栅),应分别检查x和y方向所需的空间频率数量。 W$QcDp]#p} G
!<Z.] 例1:一维Blazed 超构光栅 =Ee&da^MB 'WMh8) 材料和介质的配置 JHW"-b 4]rnY~
'UkxS b see the full Application Use Case &w 4?)# }Dp*}=?E 柱子几何及分布 lackB2J9 A [N FFB96 8{Q<N%Jnu >@BnV{ d 空间频率数 d]`CxI]
9 ^o-EC!_ H12Fw'2 lNNv|YiL Dw|}9;5:A 例2:二维光束分离超构光栅 fTzvmC:g7 I\hh8abAp 材料和介质的配置 vrl;"Fm+ tWo{7) Eb
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P -T!f,g3vW 柱子几何及分布 PEN\-*Pv o-;E>N7t YW-usvl&
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