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摘要 L*]E`Xxd9 z REJ#r 超构光栅通常由具有空间变化参数的纳米柱组成，与传统光栅相比，它具有优越的性能。可以借助支柱介质在 VirtualLab Fusion 中设置此类光栅，在本例中，我们将展示如何正确配置超构光栅设置。这包括介质、材料的配置、支柱的几何形状以及支柱的空间分布。还给出了有关空间频率数量设置的附加提示。 k ~6- cx
9( VRq^Z1
 VTe.M[: w! q& 超构光栅结构和建模 \k&1*b?h
T% CxvZ
 ;MTz]c wFlV=!>, VirtualLab Fusion提供： dU;upS_- Pillar Medium (General)，用于构建超构光栅和其他类似结构，以安排圆形/矩形纳米柱的分布; & QZV q" Fourier modal method (FMM)用于严格分析由此配置的超构光栅在衍射效率，偏振灵敏度等方面的性能。 jv}=&d -a) T6:e 光栅周围介质 }_4 6y*o8
+?N}Y {Y&
 )}X5u%woV oP$kRfXS!< • 光栅前后的介质在光学设置编辑器中设置。 (M% ;~y\ • 这些介质必须根据调查的实际 情况进行配置。 _C+DB A • 作为光栅效率分析的惯例，衬底与周围介质之间的菲涅耳损耗通常被忽略(即结构衬底的介质与其背后的介质应相同)。 Rlc$; Z9K U |fTb0fB 光栅堆栈内部材料 s j9 D
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 $@87?Ab k0&lu B% • 超构光栅堆栈由Pillar Medium(General)和从两侧夹入介质的两个平面接口组成。 kHU"AD}. • Pillar Medium(General)的配置对话框中，有两种材料需要配置:柱子的材料和填充柱子间空间的材料。 V;[p438o • 这两种材料的配置都独立于系统中的任何其他材料。这意味着实现对物理现实的正确描述(即嵌入介质与填充柱子之间空间的介质一致)是用户的责任。 %RFYm y U`: IMz 单柱几何配置 tjb/[RQ
lIDl1Z@Z
 VJ1*|r, 8gpB z'/, 柱子的分布 FP;": i RL .98.G4J>  0^\/ERK • 各柱子在分布(超构结构周期)中的横向位置(x, y)和直径可以自由配置。 1KJZWZy • 有几种方法可以做到这一点: dM|g`r r
E • 逐个柱子，手动; T7GQ^WnA • 一次性定义在等距网格; t Bl#o ^ • 使用导入的数组，其中包含定义每个柱子的横向位置和直径的数据。 Z ps&[;R$- • 柱子的位置可以任意变化，无论是直接，或偏离其原始位置。 rdI]\ UH 2NR7V*A 数值参数设置 ?Y !U*& 7
p+D=}O
 "#XtDpGk ?Y!^I2Y6 • 为了从FMM/RCWA模拟中获得收敛的结果，必须使用足够多的空间频率。 y*KC*/'" • 对于超构光栅(通常由阵列，1D或2D柱组成)，我们建议执行收敛测试，以确保算法的数值收敛。 4hNwKe"Ki • 对于1D超构光栅(例如，blazed超构光栅)，应分别检查x和y方向所需的空间频率数量。 )H+h ;U |F~8 8j{VN 例1:一维Blazed 超构光栅 8m7ea Z X<K9L7/* 材料和介质的配置 ("F)
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 :C }H y see the full Application Use Case nhT;b,G.Z
Mryn>b`c B 柱子几何及分布 #L1>dHhat u[mY!(>nQ  8}K"IW !Ud:?U 空间频率数 d
q p gf@ Z%;)@0~f  9i[4"&K uri*lC ^cb)f_90 例2:二维光束分离超构光栅 o#dcD?^ 7%tR&F -u 材料和介质的配置 i ha9!kf 8vO;IK]9b^
 ~%KM3Vap EJ8I[( 柱子几何及分布 `+fk`5Y )DRkS,I  Ik-oI=>.
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