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    [技术]超构光栅构建——实例讨论 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-05
    摘要                                                                             S"!nM]2L  
    |0vY'A)]  
    超构光栅通常由具有空间变化参数纳米柱组成,与传统光栅相比,它具有优越的性能。可以借助支柱介质在 VirtualLab Fusion 中设置此类光栅,在本例中,我们将展示如何正确配置超构光栅设置。这包括介质、材料的配置、支柱的几何形状以及支柱的空间分布。还给出了有关空间频率数量设置的附加提示。 NFDi2L>Ba  
    !}9k @=[  
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    g|9' Lk  
    超构光栅结构和建模 `9(TqcE  
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    NJ/6_e  
    yxf|Njo0  
    VirtualLab Fusion提供: RnE=T/VZJ  
     Pillar Medium (General),用于构建超构光栅和其他类似结构,以安排圆形/矩形纳米柱的分布; 5sao+dZ"|  
     Fourier modal method (FMM)用于严格分析由此配置的超构光栅在衍射效率,偏振灵敏度等方面的性能。 Eyxw.,rB/  
    Egi<m   
    光栅周围介质   JpvE c!cli  
    razVO]]E  
                                                                            
    V)mRG`L  
    w`bojM@e1  
    • 光栅前后的介质在光学设置编辑器中设置。 'gxSHqeI2  
    • 这些介质必须根据调查的实际  情况进行配置。 6#MIt:#  
    • 作为光栅效率分析的惯例,衬底与周围介质之间的菲涅耳损耗通常被忽略(即结构衬底的介质与其背后的介质应相同)。 ; dPyhR  
    X|{TwmHd  
    光栅堆栈内部材料 *r6+Vz  
    ^%@(> :)0  
                                                                          
    $VvL  
    C_rlbl;T  
    • 超构光栅堆栈由Pillar Medium(General)和从两侧夹入介质的两个平面接口组成。 ZZL.&Ho  
    • Pillar Medium(General)的配置对话框中,有两种材料需要配置:柱子的材料和填充柱子间空间的材料。 zF[kb%o  
    • 这两种材料的配置都独立于系统中的任何其他材料。这意味着实现对物理现实的正确描述(即嵌入介质与填充柱子之间空间的介质一致)是用户的责任。 _n,Ye&m  
    6Z]* ce<r  
    单柱几何配置 ;?"]S/16,  
    _Y4%Fv>@  
                                                                        
    Vahfz8~w/  
    *,.WI )@  
    柱子的分布                                                                           bF;g.-.2  
    OGw =e{  
    HFu#-}iNV  
    • 各柱子在分布(超构结构周期)中的横向位置(x, y)和直径可以自由配置。 2%y}El^+_  
    • 有几种方法可以做到这一点: YDE;mIW  
    • 逐个柱子,手动; ]R~K-cN`  
    • 一次性定义在等距网格; *.#d'~+  
    • 使用导入的数组,其中包含定义每个柱子的横向位置和直径的数据。 .uG|Vq1v  
    • 柱子的位置可以任意变化,无论是直接,或偏离其原始位置。 ~5<-&Dyp7  
    9^h0D}#@  
    数值参数设置 `rzgC \  
    &k*sxW'  
                                                                          
    %e.tAl"!$  
    8@^=k.5IK  
    • 为了从FMM/RCWA模拟中获得收敛的结果,必须使用足够多的空间频率。 ;N6Euiz  
    • 对于超构光栅(通常由阵列,1D或2D柱组成),我们建议执行收敛测试,以确保算法的数值收敛。 vY&[=2=  
    • 对于1D超构光栅(例如,blazed超构光栅),应分别检查x和y方向所需的空间频率数量。 2fM*6CaS  
    'gHa3:US  
    例1:一维Blazed 超构光栅 @iWql*K;m  
    8x#SpDI  
    材料和介质的配 _]E H~;  
    ^"WrE(3  
                                                                        
    } QVREj  
    see the full Application Use Case N=]2vyh  
    ,_?P[~1  
    柱子几何及分布                                                                           dr#g[}l'H  
       Z+! ._uA  
    \yP\@cpY{  
                                                                                     x8 YuX*/I  
    空间频率数                                                                             MwMv[];I  
                                                                               :Lu=t3#  
    @}k5rcQ*/  
    ltRvNXx+]  
    Qxr&zT7f  
    例2:二维光束分离超构光栅 (!`TO{!6P  
    7<;87t]]  
    材料和介质的配置                                                                             zXWf($^&E  
    rvrv[^a(  
    1 ;Bgtv$  
    ^GMM%   
    柱子几何及分布                                                                           &o@IMbJ8  
    `R]B<gp  
    Y|$3%t  
     
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