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摘要 -q}c;0vL-a n.a55uy 超构光栅通常由具有空间变化参数的纳米柱组成,与传统光栅相比,它具有优越的性能。可以借助支柱介质在 VirtualLab Fusion 中设置此类光栅,在本例中,我们将展示如何正确配置超构光栅设置。这包括介质、材料的配置、支柱的几何形状以及支柱的空间分布。还给出了有关空间频率数量设置的附加提示。 9\aR{e,1 <A_L Zi
r@XH=[: jYv`kt 超构光栅结构和建模 aIA9rn ;ZSJ-r
YXdd=F BJ]4j-^o VirtualLab Fusion提供: k!^Au8Up? Pillar Medium (General),用于构建超构光栅和其他类似结构,以安排圆形/矩形纳米柱的分布; ];vEj*jCX Fourier modal method (FMM)用于严格分析由此配置的超构光栅在衍射效率,偏振灵敏度等方面的性能。 S"/M+m+ ] k6pXc<]8 光栅周围介质 <yxEGjm qNH=
W?T8.
[KT'aGK$ |BO!q9633V • 光栅前后的介质在光学设置编辑器中设置。 ?0U.1N • 这些介质必须根据调查的实际 情况进行配置。 8w:A"" • 作为光栅效率分析的惯例,衬底与周围介质之间的菲涅耳损耗通常被忽略(即结构衬底的介质与其背后的介质应相同)。 5$(qnOi :dZq!1~t 光栅堆栈内部材料 |#6B<'e' *G<K@k
?dJ[?<aG W[dK{?RB • 超构光栅堆栈由Pillar Medium(General)和从两侧夹入介质的两个平面接口组成。 XJs*DK • Pillar Medium(General)的配置对话框中,有两种材料需要配置:柱子的材料和填充柱子间空间的材料。 }i"\?M • 这两种材料的配置都独立于系统中的任何其他材料。这意味着实现对物理现实的正确描述(即嵌入介质与填充柱子之间空间的介质一致)是用户的责任。 '`/Qr~] `<0{U]m 单柱几何配置 Y6>@zznk K%+[2Hj2
8:x{ .%.bIT 柱子的分布 l;N?*2zm[ oi@/H\7j yc#0c[ZQu • 各柱子在分布(超构结构周期)中的横向位置(x, y)和直径可以自由配置。 ifA)Ppt<` • 有几种方法可以做到这一点: ypCarvQT • 逐个柱子,手动; B.e3IM0 • 一次性定义在等距网格; !`3q9RT3." • 使用导入的数组,其中包含定义每个柱子的横向位置和直径的数据。 hzT,0<nw • 柱子的位置可以任意变化,无论是直接,或偏离其原始位置。 ?k5m1,fHW )2Ru}
-H 数值参数设置 0gR!W3dh b6@(UneVM
~^&]8~m*d ^7qqO% • 为了从FMM/RCWA模拟中获得收敛的结果,必须使用足够多的空间频率。 @w8MOT$ • 对于超构光栅(通常由阵列,1D或2D柱组成),我们建议执行收敛测试,以确保算法的数值收敛。 lK}W%hzU • 对于1D超构光栅(例如,blazed超构光栅),应分别检查x和y方向所需的空间频率数量。 d".Xp4}f %Sgdhgk1 例1:一维Blazed 超构光栅 ?89K
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' 材料和介质的配置 :`pgdn !|G 8b'
=i`#0i2( see the full Application Use Case j>OuNeo@4 *!~jHy8F 柱子几何及分布 #RJFJb/ 7U@;X~c W)RCo}f #QWG5 空间频率数 5._=m"Pl ,KfBG<3 ZwC\n(_y 1 2Lc$\3P SR+<v=i 例2:二维光束分离超构光栅 ls^|j%$J 82EH'C 材料和介质的配置 q1|! oQ /C'dW
8[z<gxP`? |uT&M`7\{ 柱子几何及分布 B%.XWW$ O%>FKU>(? f|U
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