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摘要 U$T
(R2@ eLyaTOZadu 超构光栅通常由具有空间变化参数的纳米柱组成，与传统光栅相比，它具有优越的性能。可以借助支柱介质在 VirtualLab Fusion 中设置此类光栅，在本例中，我们将展示如何正确配置超构光栅设置。这包括介质、材料的配置、支柱的几何形状以及支柱的空间分布。还给出了有关空间频率数量设置的附加提示。 _`q ei0
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06t 超构光栅结构和建模 # {|F2A M
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 Wup%.yT~Ds p$bR M`R&s VirtualLab Fusion提供： }ygxmb^@Z Pillar Medium (General)，用于构建超构光栅和其他类似结构，以安排圆形/矩形纳米柱的分布; :y(HOUB Fourier modal method (FMM)用于严格分析由此配置的超构光栅在衍射效率，偏振灵敏度等方面的性能。
6 +x>g 5=9gH 光栅周围介质 {^SHIL
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 c`4i#R %XK<[BF • 光栅前后的介质在光学设置编辑器中设置。 9$e6?<` (Y • 这些介质必须根据调查的实际 情况进行配置。 S9@)4|3C|p • 作为光栅效率分析的惯例，衬底与周围介质之间的菲涅耳损耗通常被忽略(即结构衬底的介质与其背后的介质应相同)。 0vi\o`**Mj C4
@"@kbr 光栅堆栈内部材料 e?eX9yA7F
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 oM)4""| J-+p]xG • 超构光栅堆栈由Pillar Medium(General)和从两侧夹入介质的两个平面接口组成。 !Zma\Ip • Pillar Medium(General)的配置对话框中，有两种材料需要配置:柱子的材料和填充柱子间空间的材料。 h?`'%m?_b • 这两种材料的配置都独立于系统中的任何其他材料。这意味着实现对物理现实的正确描述(即嵌入介质与填充柱子之间空间的介质一致)是用户的责任。 g)#.|d+ 8i'EO6 单柱几何配置 YztW1GvI
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 SoJ'y 6 ZsepTtY 柱子的分布 ck\gazo~q R.B3
 Jb"0P`senY • 各柱子在分布(超构结构周期)中的横向位置(x, y)和直径可以自由配置。 fN {JLp • 有几种方法可以做到这一点: !ie'}|c • 逐个柱子，手动; wf=M|
#}_ • 一次性定义在等距网格; t A6x • 使用导入的数组，其中包含定义每个柱子的横向位置和直径的数据。 !' T,%8'] • 柱子的位置可以任意变化，无论是直接，或偏离其原始位置。 ql
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u k&8& D 数值参数设置 VA0p1AD
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 ryt aC( !$|h[ct • 为了从FMM/RCWA模拟中获得收敛的结果，必须使用足够多的空间频率。 Wo8.tu-2 • 对于超构光栅(通常由阵列，1D或2D柱组成)，我们建议执行收敛测试，以确保算法的数值收敛。 NgPY/R> • 对于1D超构光栅(例如，blazed超构光栅)，应分别检查x和y方向所需的空间频率数量。 @&Lt IN# A%dI8Z, 例1:一维Blazed 超构光栅 FW7@7cVoF +axpIjI' 材料和介质的配置 wUBug
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 vynchZ+g] see the full Application Use Case e# j kp'
($A0u mW1% 柱子几何及分布 #_}r)q
U>jLh57  #+]-}v3 o\7 q! 空间频率数 M ~k2Y$}R bTN0 n  *dE5y S`H r%DaBx!x8 JK@"
& 例2:二维光束分离超构光栅 tfb_K4h6, o(_~
s t< 材料和介质的配置 #>/s tU- 4|[)D/N
 F;@A2WD cw)'vAE 柱子几何及分布 q
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