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摘要 hYNY"VB VE{3} S 超构光栅通常由具有空间变化参数的纳米柱组成,与传统光栅相比,它具有优越的性能。可以借助支柱介质在 VirtualLab Fusion 中设置此类光栅,在本例中,我们将展示如何正确配置超构光栅设置。这包括介质、材料的配置、支柱的几何形状以及支柱的空间分布。还给出了有关空间频率数量设置的附加提示。 _R13f@NWB: T;y>>_,
au+kNF|Q %GA"GYL9' 超构光栅结构和建模 P.;aMRMR pU%n]]qF
?DQsc9y ]#l/2V1 VirtualLab Fusion提供: LO khjHR Pillar Medium (General),用于构建超构光栅和其他类似结构,以安排圆形/矩形纳米柱的分布; 4@n1Uk Fourier modal method (FMM)用于严格分析由此配置的超构光栅在衍射效率,偏振灵敏度等方面的性能。 (ehK?6[ MVTMwwO \[ 光栅周围介质 &d+Kg0 : E2@65b$
dWUm\t'# zHL@i0>^ • 光栅前后的介质在光学设置编辑器中设置。 oe
|)oTv • 这些介质必须根据调查的实际 情况进行配置。 w' OXlR • 作为光栅效率分析的惯例,衬底与周围介质之间的菲涅耳损耗通常被忽略(即结构衬底的介质与其背后的介质应相同)。 m~P CB_ifW o-{[|/)Tk 光栅堆栈内部材料 P+PR<ZoI{f =Ja] T~0A
CBOi`bEf Z
X(z;|l45 • 超构光栅堆栈由Pillar Medium(General)和从两侧夹入介质的两个平面接口组成。 qnJt5 • Pillar Medium(General)的配置对话框中,有两种材料需要配置:柱子的材料和填充柱子间空间的材料。 6@e+C;j= • 这两种材料的配置都独立于系统中的任何其他材料。这意味着实现对物理现实的正确描述(即嵌入介质与填充柱子之间空间的介质一致)是用户的责任。 c5l.B#-lY VsgE!/>1 单柱几何配置 jN>{'TqW4 ?hM>mL
)5%'.P> fA<[f 柱子的分布 *4xat:@{{ XZJ+h,f ,^;)<[ • 各柱子在分布(超构结构周期)中的横向位置(x, y)和直径可以自由配置。 QP)pgAc • 有几种方法可以做到这一点: L
ugn3+ • 逐个柱子,手动; feNdMR7eM • 一次性定义在等距网格; AW_(T\P:u • 使用导入的数组,其中包含定义每个柱子的横向位置和直径的数据。 S\5bmvqP" • 柱子的位置可以任意变化,无论是直接,或偏离其原始位置。 04'~ta(t (TwnkXrR, 数值参数设置 "
'6;/N OQT;zqup
t!x5 fNo) }L3 oR • 为了从FMM/RCWA模拟中获得收敛的结果,必须使用足够多的空间频率。 T[uiPs/xD • 对于超构光栅(通常由阵列,1D或2D柱组成),我们建议执行收敛测试,以确保算法的数值收敛。 }i`PGx • 对于1D超构光栅(例如,blazed超构光栅),应分别检查x和y方向所需的空间频率数量。 vj\d A2!~ n9A7K$ZD@ 例1:一维Blazed 超构光栅 aj}sc/Qa M^iU;vo 材料和介质的配置 ?-^m` h0-hT
jhu&&==\f see the full Application Use Case Eu-RNrYh# D
<&X_ 柱子几何及分布 NqEA4C 7#U^Dx\yh \XM^oE#G s]mY*@a% 空间频率数 {]_r W/
no]z1D _ozg_E x{,q]u / +$(2:S*r 例2:二维光束分离超构光栅 XC "'Q+ 2@~M4YJf 材料和介质的配置 EG0auzW? f=!VsR2o
o{EC&- ~L_hZso4 柱子几何及分布 'd&0Js$^ 6,LubZFD @qjfZH@
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