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    [技术]超构光栅构建——实例讨论 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-05
    摘要                                                                             hYNY"VB  
    VE {3}S  
    超构光栅通常由具有空间变化参数纳米柱组成,与传统光栅相比,它具有优越的性能。可以借助支柱介质在 VirtualLab Fusion 中设置此类光栅,在本例中,我们将展示如何正确配置超构光栅设置。这包括介质、材料的配置、支柱的几何形状以及支柱的空间分布。还给出了有关空间频率数量设置的附加提示。 _R13f@NWB:  
    T;y>>_,  
    au+kNF|Q  
    %GA"GYL9'  
    超构光栅结构和建模 P.;aMRMR  
    pU%n]]qF  
                                                                            
    ?DQsc9y  
    ]#l/2V1  
    VirtualLab Fusion提供: LO khjHR  
     Pillar Medium (General),用于构建超构光栅和其他类似结构,以安排圆形/矩形纳米柱的分布; 4@n1Uk  
     Fourier modal method (FMM)用于严格分析由此配置的超构光栅在衍射效率,偏振灵敏度等方面的性能。 (ehK?6[  
    MVTMwwO\[  
    光栅周围介质   &d+Kg0:  
    E2@65b$  
                                                                            
    dWUm\t'#  
    zHL@i0>^  
    • 光栅前后的介质在光学设置编辑器中设置。 oe |)oTv  
    • 这些介质必须根据调查的实际  情况进行配置。 w' OXlR  
    • 作为光栅效率分析的惯例,衬底与周围介质之间的菲涅耳损耗通常被忽略(即结构衬底的介质与其背后的介质应相同)。 m~P CB_ifW  
    o-{[|/)Tk  
    光栅堆栈内部材料 P+PR<ZoI{f  
    =Ja]T~0A  
                                                                          
    CBOi`bEf  
    Z X(z;|l45  
    • 超构光栅堆栈由Pillar Medium(General)和从两侧夹入介质的两个平面接口组成。 qnJt5  
    • Pillar Medium(General)的配置对话框中,有两种材料需要配置:柱子的材料和填充柱子间空间的材料。 6@e+C;j =  
    • 这两种材料的配置都独立于系统中的任何其他材料。这意味着实现对物理现实的正确描述(即嵌入介质与填充柱子之间空间的介质一致)是用户的责任。 c5l.B#-lY  
    VsgE!/>1  
    单柱几何配置 jN>{'TqW4  
    ?hM>mL  
                                                                        
    )5%'.P>  
     fA<[f  
    柱子的分布                                                                           *4xat:@{{  
    XZJ+h,f  
     , ^;)<[  
    • 各柱子在分布(超构结构周期)中的横向位置(x, y)和直径可以自由配置。 QP)pgAc  
    • 有几种方法可以做到这一点: L ugn 3+  
    • 逐个柱子,手动; feNdMR7eM  
    • 一次性定义在等距网格; AW_(T\P:u  
    • 使用导入的数组,其中包含定义每个柱子的横向位置和直径的数据。 S\5bmvqP"  
    • 柱子的位置可以任意变化,无论是直接,或偏离其原始位置。 04'~ta(t  
    (TwnkXrR,  
    数值参数设置 " '6;/N  
    O QT;zqup  
                                                                          
    t!x5fNo)  
    }L3oR  
    • 为了从FMM/RCWA模拟中获得收敛的结果,必须使用足够多的空间频率。 T[uiPs /xD  
    • 对于超构光栅(通常由阵列,1D或2D柱组成),我们建议执行收敛测试,以确保算法的数值收敛。 }i`PGx  
    • 对于1D超构光栅(例如,blazed超构光栅),应分别检查x和y方向所需的空间频率数量。 vj\dA2!~  
    n9A7K$ZD@  
    例1:一维Blazed 超构光栅 aj}sc/Qa  
    M^iU;vo  
    材料和介质的配 ?-^m`  
    h0-hT   
                                                                        
    jhu&& ==\f  
    see the full Application Use Case Eu-RNrYh#  
    D <&X_  
    柱子几何及分布                                                                           NqEA4C  
       7#U^Dx\yh  
    \XM^oE#G  
                                                                                     s]mY*@a%  
    空间频率数                                                                             {]_r W/  
                                                                               no] z1D  
    _ozg_E  
    x{,q]u /  
    +$(2:S*r  
    例2:二维光束分离超构光栅 XC "'Q+  
    2@~M4YJf  
    材料和介质的配置                                                                             EG0auzW?  
    f=!VsR2o  
    o{EC&-  
    ~L_hZso4  
    柱子几何及分布                                                                           'd&0Js$^  
    6,LubZFD  
    @qjfZH@  
     
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